【課題】半導体レーザの駆動電流および冷却電力を最小化する。レーザ出力を安定にする。
【解決手段】縦モードおよび横モード共にシングルモードの半導体レーザ（１）を用いる。固体レーザ媒質（３）の吸収率が最大となる波長を含み且つ吸収率の変動が小さい波長範囲内に半導体レーザ（１）の縦モードが３本以上存在するようにする。
【効果】縦モードおよび横モード共にシングルモードの半導体レーザは、発振閾値が低く電気−光変換効率が高いので、駆動電流および冷却電力を最小化でき、乾電池駆動によるポータブル使用が可能になる。波長範囲内に存在する３本の縦モード間でモードホップしても、固体レーザ媒質の吸収率の変動が小さいため、駆動電流制御回路により出力を安定化できる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光をパルス状に出力する際のスパイキング現象の発生を防止する。
【解決手段】レーザ出力オフの期間は、半導体レーザがレーザ光を出力する閾値電流値Ｉｈ以上であって且つ固体レーザ媒質が発振する発振電流値Ｉｏ未満の電流値Ｉｓの駆動電流を半導体レーザに供給し、レーザ出力オンの期間は、閾値電流値Ｉｈ以上であって且つ発振電流値Ｉｏ以上の電流値Ｉｃの駆動電流を半導体レーザに供給する。
【効果】レーザ光を出力しない期間でも、半導体レーザからレーザ光が固体レーザ媒質に入射され固体レーザ媒質を励起しているから、スパイキング現象の発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】所望の光量をより早い時間で得る、レーザ光源の駆動方法、レーザ光源装置、画像表示装置、モニタ装置、照明装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源２と、レーザ光源２から射出された光を波長変換する波長変換素子３と、レーザ光源２との間で共振器構造をなす共振器ミラー４と、を備えたレーザ光源装置１の駆動方法である。レーザ光源２に投入される電流が初期駆動時に対し経時的に小さくなるように、レーザ光源２を駆動させる。 （もっと読む）

【課題】狭帯域発振段レーザからのシード光のほとんどを増幅段レーザの注入光とすることができる露光装置用レーザ装置を提供すること。
【解決手段】狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と共振器を配置した増幅段レーザ（ＰＯ）２０とからなる注入同期式放電励起レーザ装置において、狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と増幅段レーザ（ＰＯ）２０の間にビーム線状集光装置５を設ける。ビーム線状集光装置５は、シード光を線状に集光して、増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内の注入部（共振器ミラー面を含む平面上、もしくは共振器ミラー間に設けられた注入用ミラー面）に集光させる。これにより、狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０からのシード光のほとんどを増幅段レーザ（ＰＯ）への注入光として使用することができ、シード光の注入効率を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】発振段レーザ（ＭＯ）から出力されたビームを効率よく増幅段レーザ（ＰＯ）に注入することができるようにすること。
【解決手段】狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と共振器を配置した増幅段レーザ（ＰＯ）２０とからなる注入同期式放電励起レーザ装置において、狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と増幅段レーザ（ＰＯ）２０の間にＭＯビーム転写器５を設ける。ＭＯビーム転写器５は、狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０のＭＯレーザ光の出口近傍におけるビームを転写して、このビーム転写像を増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器の注入部に結像させる。これにより、発振段レーザ（ＭＯ）からのシード光を効率よく増幅段レーザ（ＰＯ）に注入することができ、また、上記シード光の方向に変動があっても注入効率は変動を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】無偏光ビームスプリッタを用いなくても外部出力が温度変動に対して安定になる固体レーザ装置を製造するための方法および装置を提供する。
【解決手段】固体レーザ装置（１００）の外部出力強度（Ｐｏ）を直接的に測定しながら温度掃引し、外部出力強度（Ｐｏ）の変動が少なく且つ外部出力強度（Ｐｏ）の値が大きい温度を求めて目標温度ｔに設定する。
【効果】外部出力強度（Ｐｏ）が温度変動に対して安定な固体レーザ装置（１００）を製造することが出来る。無偏光ビームスプリッタを用いていない固体レーザ装置に対しても適用でき、外部出力強度（Ｐｏ）を温度変動に対して安定にすることが出来る。 （もっと読む）

【課題】温度変化などが生じても出力光のパワー低下を効率よく抑えて光利用効率が高く、出力が安定したレーザ光源装置、および利用効率が向上した画像表示装置を提供する。
【解決手段】第１の波長の光を射出する光源３１１と、光源から射出された光を反射して共振器を形成する多層膜ミラー３１４と、光源と多層膜ミラーとの間に形成された光路ＬＷ上に設けられた、第１の波長の光のうち一部の光の波長を第２の波長に変換する波長変換素子３１３、および第１波長近傍でバンドパス特性を有するバンドパスフィルタ３１２と、多層膜ミラーを透過した光を光路ＬＷと第２光路に分離する反射ミラー３１５と、分離された光の出力を測定するレーザ出力測定部３１６とを備え、多層膜ミラーは第１波長の光を反射し、第２波長の光を透過する誘電体多層膜を有し、レーザ出力測定部の出力信号に基づいてバンドパスフィルタの傾斜角度θの調節が行われる。 （もっと読む）

【課題】光出力を安定に維持し且つ総消費電流を抑制する。
【解決手段】環境温度（Ｔｓ）を検出し、環境温度（Ｔｓ）との差があまり大きくならないように、光出力を安定に維持できる温度範囲（２５℃〜４５℃）内で制御温度（Ｔｃ）を変化させる。
【効果】制御温度を一定にする場合に比べて、半導体レーザの駆動電流は増えるが、ペルチェ電流を小さくすることが出来る。半導体レーザの駆動電流が増える分よりもペルチェ電流を小さく出来る分の方が大きいため、総消費電流を抑制することが出来る。 （もっと読む）

【課題】レーザの発光強度を一定に保ちレーザ光の発振周波数を安定化したレーザ周波数安定化装置、レーザ周波数安定化方法を提供する。
【解決手段】レーザ光を発生させる励起用半導体レーザ１１と、励起用半導体レーザ１１に励起用レーザ光を発生させる励起用レーザ駆動電流生成部４６と、共振器長を変化させるアクチュエータ２５と、アクチュエータ２５を駆動させるアクチュエータ駆動部４４と、光出力信号を検出する光検出部３８と、光出力信号の微分信号を検出する三次微分用ロックインアンプ４２と、励起用半導体レーザ１１を加熱或いは冷却する励起用レーザ加熱冷却部１３と、加熱冷却部により励起用半導体レーザ１１の温度を一定に制御する励起用レーザ温度制御部４７と、光出力信号に基づき励起用半導体レーザ１１の駆動電流を制御する励起用レーザ駆動電流制御部４５と、微分信号に基づき共振器長を制御するアクチュエータ制御部４３とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成でトップハット形状のビームプロファイルに高いピークの発生有無をモニターできるレーザビームのプロファイル測定装置を得ること。
【解決手段】レーザ発振器１から射出されたレーザビームの強度分布をトップハット形状に整形するトップハット光学系２と、トップハット光学系２を通過したレーザビームの光路上に配置され、前記トップハット形状上に発生する高ピーク領域のレーザビームを透過する位置に円弧状の開口部が設けられているアパーチャ１３と、アパーチャ１３を通過したレーザビームの強度を測定して判断する測定手段である光電素子１４及び制御装置１５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光の波長を変換させることによって所望の波長のレーザー光を出力用レーザー光として生成するレーザー光発生装置を提供する。
【解決手段】 第１波長のレーザー光を生成するレーザーダイオード１から生成される第１波長のレーザー光が入射されるとともに該レーザー光の波長を第２波長のレーザー光に変換する波長変換素子３と、前記レーザーダイオード１と波長変換素子３との間に設けられているとともに該レーザーダイオード１との協働により波長変換素子３に入射されるレーザー光の波長を第１波長に安定化する回折格子２を備え、前記レーザーダイオード１から生成されるレーザー光の波長が温度変化に起因して変化するとき、そのレーザー光のスペクトルが前記回折格子２にて規定される第１波長のレーザー光のスペクトルと重なるようにレーザーダイオードの発振スペクトル幅を広げる。 （もっと読む）

【課題】温度変化などが生じても出力光のパワー低下を効率よく抑えて光利用効率が高く、出力が安定したレーザ光源装置、および利用効率が向上した画像表示装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源装置３１は、第１波長の光を射出する光源３１１と、第１の波長の光を選択的に反射して光源の方に向かわせる多層膜ミラー３１５と、光源と多層膜ミラーとの間に形成された第１光路Ｏ１上に、バンドパスフィルタ３１２と、偏光ビームスプリッタ３１３と、第１の波長の光を第２波長に変換する波長変換素子３１４と、分離ミラー３１６を備え、多層膜ミラーで反射され光源の方に向かう過程で波長変換素子で変換された第２の波長の光を、偏光ビームスプリッタと反射ミラー３２０とで第２光路Ｏ２上に取り出して射出する。また、バンドパスフィルタは、分離ミラーで分離された光の出力を測定するレーザ出力測定部３１７の出力信号に基づいて傾斜角度θを変位する。 （もっと読む）

【課題】十分な繰り返し周波数を持つ所定波長のパルスレーザ光を得る。
【解決手段】固体レーザ光源１６から射出された所定波長のパルスレーザ光ＬＢの時間的な幅が、調整器１７によって実質的に拡張される。この拡張後のパルスレーザ光は、光出力増幅器１８の放電時間との整合性、パルスエネルギ、スペクトル狭帯域化といった点から、満足しなければならないパルスの時間的な幅に近づく。そして、その拡張後のパルスレーザ光がシード光として光出力増幅器１８に入射され、増幅される。この結果、要求されるレベルにパルスの時間的な幅が拡張され、これに応じてスペクトル幅（波長幅）が狭帯域化された、十分な繰り返し周波数を持つ所定波長のパルスレーザ光が、光出力増幅器１８から射出されることとなる。 （もっと読む）

【課題】ビームプロファイラ（ビーム観察装置）により、レーザのビームプロファイルの測定だけではなく、強度の測定も可能とする。
【解決手段】レーザ加工装置３に設けられたビーム観察装置１には、レーザを分岐するビームスプリッタ１７が備えられている。ビームスプリッタ１７で分岐された一方の光がＣＣＤカメラ１５に入射され、他方がパワーディテクタ１６に入射される。そして、ＣＣＤカメラ１５によりレーザのビームプロファイルが計測され、レーザの照射形状が画像モニタ２０に表示される。また、同時にパワーディテクタ１６により、レーザの強度が測定され、出力測定モニタに出力値が表示される。 （もっと読む）

【課題】
熱処理精度を一定に保つことのできるレーザ熱処理装置、ないしレーザ熱処理装置の制御方法を提供する。
【解決手段】
パルスレーザ熱処理装置は、励起源と、ポンピングチャンバと、パルス発振機構と、共振器構造とを有し、パルスレーザ光を発振するパルスレーザ発振器と、パルスレーザ発振器から出射するレーザビームの強度を減衰させるバリアブルアッテネータと、バリアブルアッテネータで強度を調整したレーザビームを熱処理対象物上に照射する光学系と、熱処理対象物を載置するステージと、パルスレーザ光の光強度の時間波形であるパルス波形を計測できる計測器と、計測器が計測したパルス波形のパルス幅に基づき、励起源の励起強度を制御することでパルス幅を調整でき、さらにバリアブルアッテネータの減衰率を制御できる制御装置と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光出力端での損傷がなく出力可能な光のパワーを大きくすることができ製造が容易な光学部品を提供する。
【解決手段】
光学部品１６Ａは、ガラス管６１、光ファイバ６２、ガラスロッド６３および樹脂６４を備える。ガラスロッド６３は、円柱形状のものであって、光ファイバ６２のクラッド６２ｂの外径と等しい外径を有し、光ファイバ６２に対して端面同士で融着接続されている。ガラス管６１は、第１端６１ａと第２端６１ｂとの間に貫通孔を有し、その貫通孔に光ファイバ６２およびガラスロッド６３が挿入されている。ガラス管６１の第１端６１ａの位置において、ガラスロッド６３およびガラス管６１それぞれの端面が同一平面上にある。ガラス管６１の第１端６１ａを含む長手方向に沿った第１範囲６１ｃにおいて、ガラス管６１の内壁面は、ガラスロッド６３の外周面と融着接続されている。 （もっと読む）

【課題】 高精度の計測を行うことができるビームプロファイル計測装置を提供する。
【解決手段】 ビームプロファイル計測装置は、受光面上の光強度分布を測定する光強度分布測定器と、第１の面を通過した光ビームが入射し、光ビームの第１の面上の断面の第１の方向に関する寸法を、第１の倍率で拡大または縮小し、該断面の、第１の方向と交差する第２の方向に関する寸法を、第１の倍率と異なる第２の倍率で拡大または縮小して、該断面を、光強度分布測定器の受光面上に結像させるレンズ光学系とを有する。 （もっと読む）

【課題】構成部品を全て組み合わせる前に固体レーザに入射するレーザ光の波長を容易に確認，調整可能にする。
【解決手段】レーザ発振装置は、半導体レーザ４から出射されたレーザ光の一部をコート面１０において反射することによってレーザ光を半導体レーザ４に戻すことにより固体レーザ発振器２に入射するレーザ光の波長を固定する。 （もっと読む）

【課題】高繰返し化（１０ＫＨｚ以上）、高出力化、超狭帯域化（０．１ｐｍ以下）を実現することが可能な露光装置用レーザ装置を提供すること。
【解決手段】ＬＭＮ３を有する狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と、光安定共振器を配置した増幅段レーザ（ＰＯ）２０とからなる注入同期式レーザ装置において、発振段レーザ光を増幅段レーザ２０の光安定共振器内に注入する高効率な注入装置４を設ける。発振段レーザ１０には放電電極１ａが配置され、放電電極１ａを放電させるための１２ｋＨｚ電源１５が接続され、また、増幅段レーザ２０の光共振器内には複数組のペアの放電電極２ａ，２ｂが配置され、それぞれの電極ペア２ａ，２ｂを放電させるための６ｋＨｚ電源２５ａ，２５ｂが接続される。そして、２組のペア電極２ａ，２ｂに、前記注入光と同期させて交互に放電電圧を印加して放電させる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光発生装置の出力パルスエネルギーを高めることなく反応容器の容積に占める反応領域の割合を大きくすることができるレーザ光照射反応装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るレーザ光照射反応装置１０は、レーザ光Ｌを発するためのレーザ光発生装置１１と、レーザ光Ｌを反応性媒体に照射するための反応容器１４と、部分反射鏡からなる凹面鏡１３１と、凹面鏡１３１に対向配置された全反射鏡からなる凹面鏡１３２と、凹面鏡１３１において透過されたレーザ光発生装置１１からのレーザ光Ｌを多重反射させることにより、当該反射されたレーザ光が反応容器１４内で集光しつつ重なるように凹面鏡１３１，１３２が配置され、凹面鏡１３１，１３２間の距離を調整するための距離調整手段１６と、凹面鏡１３１からの外方への反射光と出射光とが相殺的に干渉するように距離調整手段１６の作動を制御するための制御手段１８と、を備える。 （もっと読む）