【課題】パルス列を発生するレーザー装置において、パルスのピークパワーを計測し評価するために、ピークパワーと平均パワーを的確に分離し計測する手段を提供する。
【解決手段】ピークパワーと平均パワーを区別するための手段とし、非線形光学素子、例えば非線形光学結晶を通過して発生する波長変換されたレーザー光と、元の基本波のレーザー光を別々にかつ同時に検出し、その信号を光検知器により電気信号に変換した後、ＣＰＵ等の演算機能を有する装置を利用し、それぞれの信号からピークパワーを強調する演算を施すことで、高速かつ簡単にピークパワーを検知する。ピークパワー検出装置を用いることにより、レーザーパルスのピークパワーと繰り返し周波数とを一定にすることもできる。 （もっと読む）

【課題】最大パルス繰り返し率をより高くできるように、かつパルス繰り返し率が増大してもパルス長を維持できる、あるいはより短いパルス長を選択できるように、Ｑスイッチレーザを改良すること。
【解決手段】パルスレーザ放射２を生成するレーザは、共振器３と、共振器３内に配置されるレーザ活性媒質６と、共振器３内に配置され、かつ共振器の質を設定するために第１状態と第２状態とに設定可能なＱスイッチ８とを備える。共振器の質は、第２状態よりも第１状態で低い。またこのレーザは、Ｑスイッチ８が第２状態にあるとき、形成中のレーザパルスの強度を測定し、その測定値を強度信号Ｉとして出力する検出部１０と、レーザパルスのパルス形成が完了する前に、所定パルス期間と供給された強度信号Ｉとに応じてＱスイッチ８を第２状態から第１状態に切り替え、Ｑスイッチ８を制御する制御部１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】波長走査型レーザ光源において波長走査範囲を拡大すること。
【解決手段】ゲイン媒体１２を含む光ファイバループ１１、光サーキュレータ１３、光ビーム偏向部及び回折格子２７によって波長走査型レーザ光源を構成する。レーザを発振させ、１走査周期毎にトリガ信号を検出する。トリガ信号を電流コントローラ３４に入力し、電流コントローラ３４よりゲイン媒体１２への注入電流を制御する。このとき波長走査毎に発振レベルに応じて注入電流のレベルを低下させるように制御すれば、ゲイン媒体１２がＣＯＤによって破壊することなく、波長を広い範囲にわたって走査することができる。 （もっと読む）

本発明は、単色Ｘ線を生成するための高速ピコ秒パルス化レーザと共に使用し得る、ファブリーペロ型の増幅光共振器に関する。本発明は、平均出力Ｐ_ＭＯＹで高い安定性を有する強力集束されるポンプ化レーザビームを得るために使用し得るファブリーペロ型の増幅光共振器に関する。本発明は、より具体的には、高速ピコ秒ポンプ化レーザビーム（１２）と同期電子ビームとの間のＣＯＭＰＴＯＮ反応によって単色Ｘ線を生成するためのファブリーペロ型の増幅光共振器（４０）に関し、共振器は真空下に配置し得る閉塞囲壁（４２）を含み、閉塞囲壁を通じて電子ビーム管（４６）が延び、囲壁（４２）は、レーザビーム入力手段と、２つの平面光反射器（Ｍ１，Ｍ２）を維持し且つ位置決めするための手段と、相互作用地点で電子ビームと集束し得る２つの球面光反射器（Ｍ３，Ｍ４）を維持し且つ位置決めするための手段とを含む。光反射器（Ｍ１乃至Ｍ４）を維持し且つ位置決めするための手段は、光反射器（Ｍ１乃至Ｍ４）が四面体の頂点を実質的に定めるよう配置される。

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【課題】和周波混合により、例えば２００ｎｍ程度以下の波長域のレーザ光を、安定して、かつ狭い波長幅で出力することが可能なレーザ光発生装置を提供する。
【解決手段】エルビウム（Ｅｒ）をコアに含むダブルクラッドファイバーにより、波長λ₁のレーザ光Ｌ１を出力するファイバーレーザ光源１０と、イッテルビウム（Ｙｂ）またはネオジム（Ｎｄ）をコアに含むダブルクラッドファイバーにより、波長λ₂のレーザ光Ｌ２を出力するファイバーレーザ光源１１と、外部共振器１４Ａ，１４Ｂ，１５Ａ〜１５Ｃと、非線形光学素子１７とを備える。レーザ光Ｌ１は、外部共振器１４Ａ，１４Ｂを経て波長変換され、レーザ光Ｌ２は外部共振器１５Ａ〜１５Ｃを経て波長変換され、それぞれ同時に非線形光学素子１７に入射して、和周波としての波長λ₃のレーザ光Ｌ３を発生する。 （もっと読む）

【課題】波長可変レーザモジュールの構成を複雑にすることなく、発振波長が不連続に変化する不連続点を検出し、この不連続点及びその近傍を避けて確実に動作点を設定・更新できるようにして、安定した単一モード発振を実現する。
【解決手段】波長可変レーザモジュール１を、利得媒質８と、発振波長の不連続な変化をもたらす周期的な特性を持つ一の波長フィルタ１０とを備える波長可変レーザ部２と、波長可変レーザ部２の発振波長に応じて周期的に変化するモニタ信号を出力するモニタ部３とを備えるものとし、モニタ部３を、モニタ信号を規定する周期を持つモニタ用波長フィルタ１６を備えるものとし、一の波長フィルタ１０の周期及びモニタ用波長フィルタ１６の周期の関係を、発振波長が不連続に変化した場合にモニタ信号が変化するように設定する。 （もっと読む）

【課題】回路規模を大きくすることなく適切に信号光を再生させる。
【解決手段】光ループ再生回路２０のＰＢＳ１６は、信号光とポンプ光との合成光から、第１の偏波成分と、第１の偏波成分と直交する第２の偏波成分とを、２つの出力ポートに出力する。２つの出力ポートの間をループ状に接続した伝送路である光再生ループ上には、再生回路１８が設けられ、再生回路１８は第１の偏波成分および第２の偏波成分を、パラメトリック増幅する。光再生ループ中を伝搬し、ＰＢＳ１６において、再度合波され、ＰＢＳ１６の入力ポートから出力された合成光は、信号光の波長λｓの光を通過させるＢＰＦ１９を通過し、ＢＰＦ１９から再生された信号光が出力される。 （もっと読む）

【課題】ファイバレーザを用いたパルス駆動方式のＳＨＧレーザにおいて、ドライバ回路のオフセットに起因したサージ光の発生を防止する。
【解決手段】レーザ駆動装置１００は、パルス駆動される励起用の半導体レーザ１１１と、励起光の波長と異なる波長の光を発光するファイバレーザ１１３と、波長を変換する非線形光学結晶１１５と、非線形光学結晶１１５からのレーザ出力に対する指令パルス信号を入力処理する指令パルス入力部１３０と、バイアス信号を発生するバイアス発生回路１４０と、バイアス信号を指令パルス信号に加算する加算器１５０と、バイアス信号が加算された指令パルス信号に応じて、半導体レーザ１１１を駆動するパルス電流を発生するドライバ回路１２０とを有する。バイアス発生回路１４０は、半導体レーザ１１１の駆動時におけるドライバ回路１２０の出力と反対極性のバイアス信号を発生する。 （もっと読む）

【課題】高速なレーザ出力に対応し、かつ、安定した加工特性を得ることができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】本発明のレーザ加工装置１は、レーザ受光部４２、ピークパワー測定部３、平均パワー測定部４、制御部６２を備える。ピークパワー測定部３は、レーザ受光部４２から得たレーザ光ＦＢの出力信号に基づいてピークパワー値を測定する。平均パワー測定部４は、レーザ受光部４２から得たレーザ光ＦＢの出力信号に基づいて平均パワー値を測定する。制御部６２は、ピークパワー値および平均パワー値に基づいてレーザ光ＦＢのピークパワーまたは平均パワーがピークパワー基準値または平均パワー基準値になるように、レーザ光ＦＢの出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒーレンスを低くした半導体露光装置用に適した２ステージレーザ装置を提供する。
【解決手段】露光用２ステージレーザ装置において、発振段レーザ５０として発振レーザ光に発散を有するものが用いられ、増幅段レーザ６０は入力側ミラー１と出力側ミラー２とからなるファブリペローエタロン型共振器を備え、その共振器は安定共振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】励起用半導体レーザーから出射された励起光を転送用光ファイバーにより転送して固体レーザー媒質に入射するようにした固体レーザー装置において、転送用光ファイバーの配置に依存することなく常に効率的にレーザー光を発振することができるようにする。
【解決手段】半導体レーザーから出射された励起光を転送用光ファイバーにより転送し、転送用光ファイバーにより転送した励起光をレーザー共振器内に配置された異方性結晶たる固体レーザー媒質に入射して、固体レーザー媒質を励起する固体レーザー装置であって、転送用光ファイバーにおける励起光を出射する出射側端部と固体レーザー媒質を配置したレーザー共振器との間に配置された１／２波長板と、１／２波長板の回転角度を制御可能な回転機構とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒーレンスを低くした半導体露光装置用に適した２ステージレーザ装置を提供する。
【解決手段】発振段レーザ５０と増幅段レーザ６０とからなる露光用２ステージレーザ装置であって、発振段レーザ５０として発振レーザ光に発散を有するものが用いられ、増幅段レーザ６０は入力側ミラー１と出力側ミラー２とからなるファブリペローエタロン型共振器を備え、その共振器は安定共振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】励起半導体レーザ、ファイバーレーザ、ＳＨＧ結晶（光波長変換素子）からなるＳＨＧレーザをパルス駆動する際、立ち上がり時にファイバーレーザで発生するサージによりＳＨＧ結晶が破損するのを防止すること。
【解決手段】ＳＨＧレーザ２を駆動するＰＷＭ信号の立ち上がりエッジにおいて、半導体レーザ２１が発光を始めるしきい値の前後に相当する信号レベルの区間の立ち上がりに傾斜をつけ、この傾斜の値を立ち上がり制御手段６で調整できるようにする。立ち上がり制御手段６は、光出力検出手段３の光出力を受けて、サージ検出手段４でサージが検出されない時は、調整信号発生手段５で一定周期、一定割合で大きくしていく傾斜値を生成し、サージが検出されるとサージ検出直前の傾斜値を出力するように動作する。 （もっと読む）

【課題】レーザ出力を基準波形に一致させることが出来るレーザ発振器の出力補正方法を提供することを目的とする。
【解決手段】励起用ランプ（１）を駆動する投入電流駆動回路（１３）に入力する電流信号：Ｉ（ｎ）を、基準光量値：Ｌｓ（ｎ）とレーザ出力光量値：Ｌｂ（ｎ）との差に応じた量：ΔＰ（ｎ）と、積算基準光量値：ΣＬｂ（ｎ）と積算レーザ出力光量値：ΣＬｓ（ｎ）の差に応じた量：ΔＪ（ｎ）と、あらかじめ定めた形状の基準電流値：Ｉｓ（ｎ＋１）に基づいて演算することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】入力ＡＣ電圧が変化した場合に変圧用のトランスを変更することなく、立上がり特性が常に同一である一定の設定駆動電圧を出力するＬＤ用電源を提供する。
【解決手段】ＡＣ電源２からの入力電圧を整流して直流電圧を出力する一次側整流回路３と、一次側整流回路３から出力された直流電圧に基づいて形成された一次側充電電圧に対して一段目デューティーに基づいてスイッチングを施してパルス電圧を出力する一段目スイッチング素子６と、一段目スイッチング素子６から一次側に入力されるパルス電圧を変圧して二次側に出力するトランス７と、トランス７から入力される二次側パルス電圧を整流する二次側整流回路８と、二次側整流回路８から出力された二次側パルス電圧に基づいて形成された二次側充電電圧に対して二段目デューティーに基づいてスイッチングを施して高出力ＬＤに設定されている設定駆動電圧を出力する二段目スイッチング素子１１とを有する。 （もっと読む）

【課題】使用環境温度が変化する場合に、総消費電流を抑制する。
【解決手段】使用環境温度（Ｔｓ）を検出し、使用可能な少なくとも２つの半導体レーザの制御温度の中から、使用環境温度（Ｔｓ）との差が小さくなるような制御温度（Ｔｃ）に切り替える。
【効果】制御温度（Ｔｃ）を一定にする場合に比べて、半導体レーザの駆動電流は増えるが、ペルチェ電流（Ｉｐ）を小さくすることが出来る。半導体レーザの駆動電流が増える分よりもペルチェ電流（Ｉｐ）を小さく出来る分の方が大きいため、総消費電流を抑制することが出来る。電池寿命を延ばすことが出来る。 （もっと読む）

【課題】液体の噴流中に導光させたレーザ光を被加工物に照射して加工を行うレーザ加工機において、そのレーザ光出力を直接計測する。
【解決手段】噴流４を遮蔽しかつレーザ光５を透過し得る遮蔽材１を設けてその後背に計測手段２を配し、レーザ光５を遮蔽材１越しに計測手段２に入射させて計測するようにした。これにより、例えば射出ノズル３３の劣化に伴うレーザビーム６の透過率の変動等の、レーザ光出力の問題点を事前に察知することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】レーザ発振効率の更なる改善と第２高調波レーザ光の高出力化を実現し、グリーンレーザの加工能力を向上させる。
【解決手段】このレーザ加工装置のレーザ発振部１０は、一対の終端ミラー１２，１４の間の直線的な光路上に、１／４波長板１６、活性媒質１８、高調波分離出力ミラー２０、収束レンズ２２、非線形光学結晶（波長変換結晶）２４が所定の距離間隔を空けて一列に配置している。光学レンズ２２は、その焦点ｆが第１終端ミラー１４の反射面１４ａ付近に設定されており、第１終端ミラー１４の反射面１４ａから非線形光学結晶２４を挟んで焦点距離Ｄ_fにほぼ等しい距離を隔てて光共振器の光路上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 レーザダイオードに導電接続されたスイッチ素子を複数個配設してなるレーザダイオード用電源において、簡単且つ安価な構成で、スイッチ素子の冷却性能が高く、その絶縁性も担保することができるレーザダイオード用電源と、そのレーザダイオード用電源を用いたレーザ装置を提供する。
【解決手段】 第１ヒートシンク３と第２ヒートシンク５との間に放熱絶縁シート４を介在させて絶縁性を担保する。 （もっと読む）

【課題】レーザパワーの波形制御における波形変調機能を改善してレーザ加工能力の向上をはかる。
【解決手段】このレーザ加工装置は、ファイバレーザ発振器１０、レーザ電源１２、レーザ入射部１４、ファイバ伝送系１５、レーザ出射部１６、制御部１８、タッチパネル２０等を有している。制御部１８は、ハードウェア的には、ＣＰＵ（マイクロコンピュータ）、ＦＰＧＡ（フィールドプログラマブル・ゲートアレイ）、ディジタル−アナログ（Ｄ／Ａ）変換器，アナログ−ディジタル（Ａ／Ｄ）変換器等を有している。 （もっと読む）