【課題】発振されたレーザー光線の平行度を容易に調整することができる平行度調整機能を備えたレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】パルスレーザー光線発振手段６２と集光器６３の間に配設されたビーム径調整手段６４と、通過したレーザー光線を集光器に向けて光路を変換する光路変換ミラー６５と、レーザー光線を集光器６３に導く作用位置と、検出光路に導く非作用位置に位置付けるミラー位置付け手段６６と、検出光路に導かれたレーザー光線のビーム径を検出する撮像手段６９と、撮像手段６９の光路長を変更する光路長変更手段７０と、撮像手段６９とビーム径調整手段６４および光路長変更手段７０を制御する制御手段とを具備し、撮像手段６９を光路長が異なる２個所に位置付け、２個所においてレーザー光線のビーム径を検出し、検出された２個のビーム径に基づいて２個のビーム径が所定の関係になるようにビーム径調整手段６４を制御する。 （もっと読む）

【課題】周期構造のパターニングの自由度を損なうことなく、作成作業時間の短縮化を図ることができる、生産性に優れる周期構造の作成方法および周期構造の作成装置を提供する。
【解決手段】主走査を行う主走査用偏向器５と副走査を行う副走査用偏向器６とを同時に連続的に動作させながら、パルスレーザ光源１の繰返し周波数と主走査用偏向器５の主走査周波数の関係が、整数比の関係か、整数比の関係から一定数を加減した関係になるように保って、レーザ照射スポットをレーザ照射済みスポットの一部を含むようにオーバーラップ位置を制御して二次元的に走査する。 （もっと読む）

【課題】ビーム伝送系のレーザから直接放出されたレーザ光よりもコヒーレンスが低減された光ビームを供給するビーム伝送系を提供する。
【解決手段】投影露光系のビーム伝送系は、キャビティ内の複数の縦レーザモードからレーザ光ビームを生成するレーザを含む。１つの縦レーザモードによって生成される光は平均線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、ビームの各横位置において、横レーザモードに対応する第２の線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、その断面全体にわたって平均化した場合、複数の横レーザモードに対応する線幅λ_bを有し、λ_m＜λ_lat＜λ_bである。ビーム上に配置される光遅延装置は、光路差ΔＩを与える。但し、λ₀は第１のレーザ光ビームの光の平均波長であり、λ_latは第２の線幅を表している。 （もっと読む）

【課題】スペックルノイズを確実に抑制することが可能な照明装置及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】第１の光を射出する第１光源と、第２の光を射出する第２光源と、第１光源により射出された第１の光を少なくとも反射させる反射ミラーを有するとともに、第２光源により射出された第２の光を反射ミラーによって反射された第１の光と合成する光合成光学系８０と、反射ミラーの反射面の形状が波打つように反射ミラーの反射面の形状を時間的に変動させる駆動装置と、を備え、少なくとも第１光源は第１の光としてレーザー光を射出するレーザー光源である。 （もっと読む）

【課題】スペクトル純度幅Ｅ９５の制御を、中心波長の制御にほとんど影響を与えることなく広い制御範囲で行えるようにし、スペクトル純度幅Ｅ９５を安定化させた狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】光共振器内の出力側、すなわち出力カプラ３１側に波面調整器３２が設けられる。レーザチャンバ１０で発生した光は、レーザチャンバ１０側から波面調整器３２を通過し、出力カプラ３１に達する。波面調整器３２は所望のスペクトル純度幅Ｅ９５が得られるように、凹レンズ３３と凸レンズ３４間の距離を調整することで所望の波面になるように調整する。 （もっと読む）

【課題】ｋＨｚオーダー以上の波面揺らぎに対しても補償可能な、安定で小型な高出力レーザ装置を得る。
【解決手段】光増幅後の各アレイ間の位相誤差を検出する第１の位相誤差検出手段（１１）と、空間伝播後の波面検波を行うことで波面の角度に応じた位置情報を生成する波面センサ（１２）と、位置情報に基づいて空間伝播後の位相誤差を検出する第２の位相誤差検出手段（１３）と、それぞれの位相誤差を補償する第１および第２のフィードバック信号を算出し、いずれか一方を選択して出力する位相制御手段（１４）と、選択後のフィードバック信号に応答し位相誤差の補償を行う光位相変調手段（４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】各サブアレーでの位相差の補正と共に各サブアレーの指向角の補正さらに所望の位置への焦点調整を同一の装置により行うフェーズドアレーレーザ装置を提供する。
【解決手段】基準レーザ光源の出力光をサブアレーに分岐し、サブアレーごとに増幅後、コヒーレント加算を行うフェーズドアレーレーザ装置において、前記各サブアレー毎に、前記サブアレーの１つに基づき生成された参照光とサブアレー出力光の合波光を各象限ごとに電気信号にする４象限光検出器９と、サブアレー出力光をコリメートする光学系のための並進駆動機構１１と、前記４象限光検出器からの信号に基づき、参照光とサブアレー出力光の光位相差を検出しサブアレーのための光位相変調器にフィードバック制御すると共に、サブアレー出力光の指向方向誤差を検出し前記並進駆動機構にフィードバック制御するフィードバック制御手段１０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】多数のモジュールから構成され、モジュール間の光路に光軸調整個所を有する、多段増幅式レーザーシステムなどのレーザーシステムの光軸調整作業を自動化する。
【解決手段】レーザーシステムにおいて、光軸調整個所５１，５２より後段のモジュールからの出力光の強度を検出し、強度の変化に応じて該光軸調整個所５１，５２を調整するフィードバックを設ける。さらにこれらのフィードバック制御をファジイ推論またはメタヒューリスティックなアルゴリズムを用いた制御で行う。レーザーシステムにおいて、複数の光軸調整個所５１，５２があって２つの光軸調整が独立に行えない場合は、フィードバックループの伝達関数が明確に求められないので、ファジイ推論等を用いた制御により、各光軸調整を独立に実施する。 （もっと読む）

【課題】 高出力レーザー光を空間に出射し、目標に照射するレーザ照射装置においては、大気中にレーザ光を伝播させるため、大気の揺らぎの影響を補正する大気補償装置が必要であった。
【解決手段】 照射対象にレーザ光を照射し、照射対象表面にて反射した反射光を反射光受信器にて受信し、大気補償信号処理部にて大気による歪みを受けた光波面を検出する。大気補償信号処理部では検出した波面を反転させた波面形状を出力させるよう制御信号を各光移相器へ出力し、信号を受けた各光移相器が各光路のレーザ光位相を変化させることにより、合成後の高出力レーザ光波面形状が変化し、照射対象へ照射される。この制御を繰り返すことによって大気の影響を補正し、常に照射対象上でレーザ光の集光スポットの拡大を抑制することができ、遠距離における対象にも十分な照射効果を与えることができる。 （もっと読む）

フェムト秒パルス・レーザを構築して動作させる設計態様および技術が提供される。レーザ・エンジンの一例は、フェムト秒の種パルスから成る光線を生成して出力する発振器と、種パルスの存続時間を伸張する伸張器／圧縮器と、伸張済み種パルスを受信し、選択された伸張済み種パルスの振幅を増幅して、増幅済みの伸張済みパルスを生成し、且つ、増幅された伸張済みパルスから成るレーザ光線を、該パルスの存続時間を圧縮してフェムト秒パルスから成るレーザ光線を出力する上記伸張器／圧縮器へと出力する増幅器と、を含んでいる。増幅器は、増幅済みの伸張済みパルスの分散を補償する分散制御器を含むことにより、各処置の間において又は走査の速度に従い上記レーザの繰り返し率を調節可能にする。レーザ・エンジンは、500メートル未満の合計の光路によりコンパクトとされ得ると共に、たとえば50個未満などの少ない個数の光学素子を有し得る。 （もっと読む）

フェムト秒パルス・レーザを構築して動作させる設計態様および技術が提供される。レーザ・エンジンの一例は、フェムト秒の種パルスから成る光線を生成して出力する発振器と、種パルスの存続時間を伸張する伸張器／圧縮器と、伸張済み種パルスを受信し、選択された伸張済み種パルスの振幅を増幅して、増幅済みの伸張済みパルスを生成し、且つ、増幅された伸張済みパルスから成るレーザ光線を、該パルスの存続時間を圧縮してフェムト秒パルスから成るレーザ光線を出力する上記伸張器／圧縮器へと出力する増幅器と、を含んでいる。増幅器は、増幅済みの伸張済みパルスの分散を補償する分散制御器を含むことにより、各処置の間において又は走査の速度に従い上記レーザの繰り返し率を調節可能にする。レーザ・エンジンは、500メートル未満の合計の光路によりコンパクトとされ得ると共に、たとえば50個未満などの少ない個数の光学素子を有し得る。 （もっと読む）

【課題】複数の光源を用いて標本の観察を行う場合に、より簡単に光源からの光の光路調整を行うことができるようにする。
【解決手段】小型レーザユニット３１−１乃至小型レーザユニット３１−３は、ステージ３４−１乃至ステージ３４−３に固定されている。各小型レーザユニット３１から射出された極短パルス光は同一光路に合成され、標本１２に照射されるとともに、位置検出ユニット４０に入射する。位置検出ユニット４０は、入射した極短パルス光を受光し、その受光位置から極短パルス光の光路のずれを検出する。駆動制御部４５は、そのずれの検出結果に基づいてステージ３４を平行移動または回動させることで、極短パルス光の光路を補正する。このように小型レーザユニット３１を動かすことで、他の光学部材を移動させずに簡単に光路調整することができる。本発明は、走査型顕微鏡に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】光出力を正確に制御して長期的に安定した運用が可能な構成のレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、レーザ光をモニタ光と出力光とに分離する部分反射ミラー５７と、部分反射ミラー５７からのモニタ光の強度を検出する光出力モニタ装置６０と、光出力モニタ装置６０の検出値に基づいてレーザ光源の出力を制御して部分反射ミラー５７からの出力光の強度を制御する制御部８０と、所定の校正時期において部分反射ミラー５７からの出力光の強度を検出するパワーメータ装置７２とを備え、制御部８０は、パワーメータ装置７２の検出値に基づいて光出力モニタ装置６０の出力を校正するようになっている。 （もっと読む）

【課題】設置面積を大きくすることなく堅牢で高価な光学系移動機構等を共有することによって廉価なレーザ加工ステーションを構築する。
【解決手段】ソーラパネルモジュールを製造する場合、透明電極層の加工に適した波長（例えば、１０６４［ｎｍ］）のレーザ光を発生する第１のレーザ発生装置と、半導体層及び金属層の加工に適した波長（例えば、５３２［ｎｍ］）のレーザ光を発生する第２のレーザ発生装置とを１のレーザ加工ステーションに設け、ワーク上の成膜層毎に第１及び第２のレーザ発生装置を切り換えて照射する。これによって、透明電極層、半導体層、金属層を成膜する３箇所の成膜ステーションと、１のレーザ加工ステーションを設けるだけでよくなる。 （もっと読む）

光学的撮像のためのスキャニング・パルス・レーザシステムに関し、コヒーレント・デュアル走査型レーザシステム（ＣＤＳＬ）とその幾つかのアプリケーションを開示する。具体例の様々な代替構成が示されている。少なくとも１つの実施例では、ＣＤＳＬは、２つの受動モード同期ファイバ発振器を含んでいる。或る実施例では、高効率ＣＤＳＬは１つのレーザだけ備えて構成している。少なくとも１つの実施例は、時間変動する時間遅延を伴ったパルス対を生成するコヒーレント走査型レーザシステム（ＣＳＬ）を含んでいる。ＣＤＳＬ、高効率ＣＤＳＬ、又はＣＳＬは、光学的撮像、顕微鏡検査、顕微鏡分光、及び／又はＴＨｚ撮像の１つ又は複数のための撮像システムに配置できる。
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空間フィルタは、第１のフィルタ素子及び第１のフィルタ素子とオーバラップする第２のフィルタ素子を含む。第１のフィルタ素子は、第１の距離だけ離れた第１の対の円柱レンズを含む。第１の対の円柱レンズのそれぞれが第１の焦点距離を有する。第１のフィルタ素子は、第１の対の円柱レンズの間に配置された第１のスリットフィルタも含む。第２のフィルタ素子は、第２の距離だけ離れた第２の対の円柱レンズを含む。第２の対の円柱レンズのそれぞれが第２の焦点距離を有する。第２のフィルタ素子は、第２の対の円柱レンズの間に配置された第２のスリットフィルタも含む。 （もっと読む）

【課題】直線偏光レーザ光で異方性を生じない加工を、簡素な構成で実現すること。
【解決手段】偏波面を直線に保持した直線偏光レーザ光を照射する偏波面保持ファイバ２が設けられた加工ヘッド３と、偏波面保持ファイバ２から出射された直線偏光レーザ光が照射される被加工物を載置する加工テーブル４と、直線偏光レーザ光の光軸Ｒに交差する二次元方向に、加工ヘッド３と加工テーブル４とを相対移動させる移動手段８と、直線偏光レーザ光の光軸Ｒを中心に偏波面保持ファイバ２を回転させる回転手段と、移動手段８の駆動に応じて前記回転手段を駆動し、加工ヘッド３と加工テーブル４との相対的な移動方向に対して直線偏光レーザ光の偏光方向を一定に維持する制御手段５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ファイバアンプ出力光による光学部品の損傷を回避するとともに、ファイバアンプ出力光の異常検知後における迅速な復帰が可能なレーザ発生装置を提供する。
【解決手段】複数のレーザダイオードに対して給電する電源ユニット５と、第１レーザダイオードからの第１励起光に基づいてシード光を出力するシード光源ユニット１と、第２レーザダイオードからの第２励起光と第３レーザダイオードからの第３励起光とにより励起されたエネルギーをシード光に付与して増幅して、レーザ光を出力するファイバアンプユニット３と、シード光を遮光するビーム遮蔽ユニット２と、電源ユニット５とビーム遮蔽ユニット２とを制御する制御ユニット６と、ファイバアンプユニット３の出力レーザ光の強度を検知して異常の有無を判断するビームモニタユニット７とを備え、異常と判断された場合には、制御ユニット６は、ビーム遮蔽ユニット２を制御してシード光を遮光させる。 （もっと読む）

【課題】簡明かつ低廉な構成で、和周波発生素子における光パルスの重なりを調整可能な光源装置を提供する。
【解決手段】光源装置１は、パルス光を発生するレーザ光発生部１０と、発生されたパルス光を複数に並列分岐して各パルス光を各々増幅し出射する複数の光増幅器２１〜２３を備えた光増幅部２０と、これらの光増幅器から出射されたパルス光を同軸に重ね合わせて波長変換光学素子に入射させ、和周波発生により高調波を発生させる波長変換部３０とを備える。光増幅器２２，２３の出口部分には、波長変換部３０に出射されるパルス光を平行光にコリメートする光学素子５０と、波長変換部３０に対する光学素子５０の光軸方向の位置を調整設定可能な調整機構６０とが設けられる。 （もっと読む）