【課題】プレートステージを駆動する、高帯域でロバストな駆動システムを設計する。
【解決手段】 操作量に従って駆動されるプレートステージＰＳＴの位置（第１制御量）Ｘ_１を計測する干渉計１８Ｘが設置されたプレートテーブルＰＴＢが示す共振モードに対して逆相の共振モードを示すキャリッジ３０に、プレートステージＰＳＴの位置（第２制御量）Ｘ_２を計測する干渉計１８Ｘ_１が設置される。干渉計１８Ｘ及び干渉計１８Ｘ_１を用いることにより、プレートステージＰＳＴの駆動する、高帯域でロバストな駆動システムを設計することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】伝達系の温度が変化することにより実際の伝達関数が変化したとしても、適応制御に用いる伝達関数の推定値と実際の伝達関数とのずれを抑制することにより、高精度に振動や騒音を抑制できる能動型振動騒音抑制装置を提供する。
【解決手段】推定伝達関数記憶部１６０に、伝達系の温度Ｔを複数に区分した温度範囲毎に、伝達系の伝達関数の推定値Ｇｈを記憶する。そして、フィルタ係数更新部１７０は、検出温度Ｔが含まれる温度範囲における伝達関数の推定値Ｇｈと残留信号ｅとにより算出される更新値に基づいて、制御信号ｙの適応フィルタのフィルタ係数ａ、φを更新する。また、伝達関数同定処理部１８０は、検出温度Ｔがそれぞれの温度範囲に含まれる場合にそれぞれの伝達関数Ｇの同定処理を行い、算出されたそれぞれの伝達関数の推定値Ｇｈを推定伝達関数記憶部１６０に記憶させる。 （もっと読む）

【課題】適応フィルタの発散を抑制して制振制御の安定性を確保しながら伝達特性の位相成分を補正して制振精度を向上させた制振装置を提供する。
【解決手段】発散抑制モードにおいて、評価振動を構成する相殺振動（Ｖｉ４ｒ＋Ｖｉ４ｉ）と所望の相殺振動Ｖｉ４ｉとの位相差βを低減して、適応フィルタ３２ｆの算出が発散することが抑制される。そして、予め定めた伝達特性の位相成分を補正する場合に、位相成分の補正に起因して適応フィルタが発散するおそれのある通常モードから適応フィルタの発散を抑制する発散抑制モードに切り換えて、発散抑制モードにおいて位相成分の補正を実施するので、伝達特性を補正することによって補正後の伝達特性と現実の伝達特性との位相差が著しくかけ離れる場合であっても、適応フィルタの発散を抑制して制御の安定性を確保しながら伝達特性の位相成分を補正して制振精度を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高速応答が求められる制御システムにおいて、ＰＩＤパラメータを自動設定する。
【解決手段】ＰＩＤ制御部１１をＰ制御状態とし、目標値入力を一定とした状態で、オートチューニング部１２はＰＩＤ制御部１１の比例ゲインＫpを徐々に増大させる。Ｋpの増大に伴い、偏差に振動が発生する。ＦＦＴ解析部１３は偏差を周波数解析して振動の周波数を検出する。フィルタ１４は偏差から振動周波数の成分を抽出しＲＭＳ処理部１５に出力する。ＲＭＳ処理部１５は偏差の振動の１周期ごとに実効値を算出し、複数周期連続して増加していることを検出したときに、オートチューニング部１２にトリガー信号を送出し、ＰＩＤ制御部１１のＫpの値を下げる。オートチューニング部１２はトリガー信号を受信すると、そのときの比例ゲインＫpc及び固有振動の周期ＴcからＰＩＤパラメータを決定する。 （もっと読む）

【課題】幅広い振動数帯域において振動低減効果を有する制御ロジック及びフィードバック制御方式を提供する。
【解決手段】畳み込み積分を含みフィルタ係数を更新する制御ロジックにおいて、入力信号として、エラー信号のみを用い、フィルタ係数の更新式を次式
【数１】


のようにして制御を行うことで、幅広い周波数領域で伝達力あるいは振動あるいは騒音を低減する。前記制御ロジックによりフィードバックゲインをサンプリング時間ごとに修正することで、幅広い周波数領域で伝達力あるいは振動あるいは騒音を低減する。 （もっと読む）

【課題】省エネを実現するための具体的な指標を算出する。
【解決手段】センサノード２０として、当該センサで対象者の状態や動作を示す対象者データを検出する対象者センサノード２０Ａと、当該センサで対象者の周囲の環境や物の状態を示す環境データを検出する環境センサノード２０Ｂと、当該センサで対象者が使用する機器で消費しているエネルギーを示す消費エネルギーデータを検出する消費エネルギーセンサノードとを備え、データ処理装置１０において、最適センサデータ選択部１２により、行動パターンデータベース１５に基づいて、制御処理部１１で収集した新たな収集センサデータと対応する行動パターンを認識し、認識した行動パターンのうち当該消費エネルギーデータが最小であるセンサデータの組を、対象者の最適行動パターンを示す最適センサデータとして選択する。 （もっと読む）

【課題】省エネを実現するための具体的な指標を算出する。
【解決手段】センサノード２０として、当該センサで対象者の状態や動作を示す対象者データを検出して送信する対象者センサノード２０Ａと、当該センサで対象者の周囲の環境や物の状態を示す環境データを検出して送信する環境センサノード２０Ｂとを備え、データ処理装置１０において、制御処理部１１により、これらセンサノード２０から通信ネットワーク３０を介して対象者データ、環境データ、および消費エネルギーデータを、センサデータとして収集し、最適値算出部１２により、これらセンサデータに含まれる環境データのうち対象者の周囲の環境や物の状態を制御可能な可制御センサデータについて、これらセンサノードに基づき消費エネルギーデータを最小とする最適値を算出する。 （もっと読む）

【課題】制御性能を低下させることなく、同定対象の動特性を表わすパラメータを同定対象の動作中にオンライン同定する。
【解決手段】アクティブフィードバック制御装置２８は、外乱が入力される制御対象１２、制御対象１２を駆動するアクチュエータ１４、制御対象１２の状態を検出するセンサ１６を含む同定対象１８の動特性を表わすパラメータと、センサ１６からの検出信号と、に基づいて、制御対象１２が目標の状態となるような制御信号を生成して出力するコントローラ２０と、平均値が略ゼロとなる乱数を発生させる乱数発生部２２と、コントローラ２０から出力された制御信号と、発生させた乱数を制御信号に乗算したノイズ付加制御信号と、を加算してアクチュエータ１４に出力する加算部２４と、同定対象１８の動特性を表わすパラメータを制御対象１２の動作中にオンライン同定し、同定したパラメータをコントローラ２０に出力する同定部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 駆動機械の過大慣性振動を検出し、この過大慣性振動を抑制して安定な制御系を実現する駆動制御装置を提供する。
【解決手段】 位置指令信号と位置信号を入力とし駆動機械１の速度指令信号を出力する位置制御手段５と、速度指令信号と速度信号を入力としトルク指令信号を出力する速度制御手段６と、駆動機械１を駆動するトルクがトルク指令信号に一致するよう制御するトルク制御手段２と、開ループ周波数応答のゲイン交差周波数が、周波数の増加に伴い開ループ周波数応答の位相が増加するときの位相交差周波数以下となる状態を検出することにより、慣性設定値に対する駆動機械の慣性が大きいことで制御系が不安定となり発生する過大慣性振動を検出する振動検出手段７と、過大慣性振動が検出された場合に速度制御手段６或いは位置制御手段５のゲインを変更することで振動を抑制する振動抑制手段８を備える。 （もっと読む）

【課題】多入力多出力を扱え、かつ非振動的な除振制御が可能であり、システム変動に頑強な制御を実現する。
【解決手段】搭載物が載置される定盤１を駆動する複数の駆動部３ｂに対応して配置された複数のセンサ３ａにより、定盤１の状態量を計測する。次に、定盤１についての複数の状態量及び定盤１の運動方程式に基づいて、スライディングモード制御により、該当する駆動部３ｂに対する制御量を作成し、出力する。
またカルマンフィルタ９をさらに備え、制御部は、複数のセンサ３ａのうち一部のセンサから取得した状態量をカルマンフィルタ９に入力し、カルマンフィルタ９で推定された他の状態量と一部のセンサから取得した状態量及び定盤１の運動方程式に基づいて、該当する駆動部に対する制御量を算出することが好適である。 （もっと読む）

【課題】周波数が高い領域においても良好な制御特性を維持するとともに、集積回路化が容易なＰＩＤ制御によるサーボ制御回路を提供する。
【解決手段】サーボ制御回路１００において、差分演算部１０は、制御対象から検出された検出信号ｘに比例した量と第１の信号ｆに比例した量との差ｕを出力する。Ａ／Ｄ変換部２１は、差分演算部１０の出力ｕをデジタル変換する。積分部２２は、Ａ／Ｄ変換部２１の出力Ｕをデジタル積分する。Ｄ／Ａ変換部２３は、積分部２２の出力に比例した量Ｆをアナログ変換して、第１の信号ｆとして出力する。加算演算部１５は、Ａ／Ｄ変換部２１の出力Ｕに比例した量と積分部２２の出力Ｆに比例した量との和Ｄを出力する。デジタルＰＩ制御部４０は、加算演算部１５の出力Ｄと目標値Ｒとの偏差Ｅに基づいて比例演算および積分演算を行なうことによって、制御対象を制御する制御信号Ｙを生成する。 （もっと読む）

【課題】 モータ駆動等による多慣性共振特性を持つ機械装置の運動制御において、機械装置の振動を抑制しつつ、適切な指令応答特性を得ることのできる制御装置を提供する。
【解決手段】 モータ制御装置は、モータと負荷及びこれらを結合する結合部とを含む多慣性共振系を制御対象とし、制御指令値と制御対象からフィードバックされる状態量との差に基づいてモータを制御する閉ループ制御系を備え、該閉ループ制御系はモータ速度指令からモータトルク指令を決定する第１の制御手段を含むほか、前記状態量に応じて振動を抑制する制振制御器１０を備える。前記第１の制御手段の第１のゲイン、前記制振制御器の第２のゲインを、閉ループ制御系の感度特性のカットオフ周波数ω_Ｓ、閉ループ制御系の相補感度特性のカットオフ周波数ω_ＣＳを調整パラメータとして決定する。 （もっと読む）

【課題】安定領域を算出する際に近似式ではなく適応制御アルゴリズムに用いる関数そのものを用いることができる適応制御アルゴリズムによる能動型防振適応制御装置を提供する。
【解決手段】誤差信号ｅ（ｔ）などを用いて、正弦成分と余弦成分の相関を利用して、防振対象振動の推定未知関数ｄｈ（ｔ）の振幅ａｈおよび位相φｈを算出する。算出された防振対象振動の推定未知関数ｄｈ（ｔ）の振幅ａｈおよびφｈ、および、伝達関数の推定値Ｇｈ（ｓ）に基づき、制御信号ｕ（ｔ）の振幅Ａｈおよび位相Φｈを算出し、且つ、制御信号ｕ（ｔ）の振幅Ａｈおよび位相Φｈを更新する。 （もっと読む）

【課題】振動システムのための駆動信号を獲得する前述のシステム及び方法はほぼ成功を享受したにも拘わらず、そのようなシステムを改善するための継続した必要性が存在する。特に、物理的システムのモデル、及び駆動信号を獲得するための反復的プロセスを改善する。
【解決手段】入力に応答して選択された出力を生成するよう物理的システム（１０）を制御する方法及び装置は、入力を受け取り実際の出力を与える物理的システムを含む仮想同一性システムを定義することを備える。仮想同一性システムの同一性の質は、少なくとも実際の出力の関数を用いてチェックされる。好適な実施形態において、正しい入力をより効率的かつ正確に与えるため、調整が物理的システムのモデルに対して同一性の質の関数として行われる。 （もっと読む）

【課題】振動機のエネルギー消費を抑制する。
【解決手段】油圧システム７のためのサーボ制御システムは，油圧流体を受ける少なくとも一つの油圧モータによって回転駆動される偏心ウエイトを含む振動機１又は振動システムに，前記流体を供給する，モータ９により駆動されるポンプ８を含む。振動機１により実際に消費されているエネルギーに関連する，油圧ユニット７のモータ９の回転速度の連続的な適応のための適応手段をさらに含む。 （もっと読む）

【課題】対象信号の特徴量が時間の経過に伴って変化する機器に用いても正常・異常について誤判定を生じない異常監視装置を提供する。
【解決手段】機器Ｘから生じる音および振動をセンサ部２で検出し、センサ部２から出力される対象信号から特徴抽出部３において特徴量を抽出する。２台のニューラルネット１ａ，１ｂには、特徴抽出部３で抽出した特徴量が入力される。一方のニューラルネット１ａ，１ｂは検査モードで動作し、特徴量のカテゴリを分類する。他方のニューラルネット１ａ，１ｂは学習モードで動作し、特徴量を学習データに用いて学習する。切換判定部４は、検査モードで動作するニューラルネット１ａ，１ｂについて判定結果の信頼性を評価し、判定結果の信頼性が低下すると、両ニューラルネット１ａ，１ｂの動作の入れ替えを行う。 （もっと読む）

【課題】流量制御型弁を用いて排気流量を抑制するという長所を維持しつつ、従来よりも応答性の高い高精度な制御が可能な気体バネ式除振装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】スプール弁及び圧力微分計を備えた除振装置において、スプール弁の不感帯での動特性を向上させるために、圧力微分値のフィードバック値が、入力電圧と出力流量との関係がゼロ点を通る線形性を備えた規範モデルＧrefに追従するような制御を行い、スプール弁の非線形性を補償する。 （もっと読む）

【課題】演算処理の簡便化を図り、複数の磁気軸受の集中制御に適した多入力多出力ロバスト制御を実現させる磁気軸受の制御装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータ２１、回転体１、増幅器２２、位置センサ２３から成る詳細制御対象２０の第１の数式モデルを導出する。第１の数式モデルの低次元化を行い、ＰＩ制御部１３、減算器１４、ＰＤ制御部１５及び詳細制御対象２０から成る拡大制御対象Ｇａ（ｓ）の第２の数式モデルを、低次元化した第１の数式モデルを用いて導出する。第２の数式モデルの次数を低次元に設定し、その第２の数式モデルにループシェイピング手法を用いて演算式を導出する。その演算式によりロバスト制御を行う。 （もっと読む）

【課題】電動機位置の振幅を用いて機台に検出器を付けることなく前記機台の振動を検出できる振動検出装置を提供する。
【解決手段】位置を入力し位置振幅を出力する位置振幅検出器１０１と、前記位置振幅を入力し機台振動トルク振幅を出力する機台振動トルク振幅検出器１０２と、前記機台振動トルク振幅を入力し機台支配モード固有周波数を検出し出力する共振周波数検出器１０３を備える。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図りつつ確実に加振器１７の不動作異常を検出することができる能動型防振装置１を提供する。
【解決手段】能動型防振装置１は、車両特定部位の振動を能動的に抑制させるように適応制御法により少なくともフィルタ係数ゲインａを更新して、フィルタ係数ゲインａを用いた周期性制御信号ｙを生成する適応制御部１５を備える。さらに、適応制御部１５を非制御状態から制御状態へ切り替えた場合に、適応制御部１５により更新されるフィルタ係数ゲインａの変化率に基づき、加振器１７の不動作異常を判定する異常判定部１９３を備える。そして、フィルタ係数ゲインａの変化率が連続的に小さくなっている場合には、加振器１７は正常と判断し、連続的に小さくなっていない場合には、加振器１７は不動作異常と判定する。 （もっと読む）