【課題】速度指令あるいは位置指令のプロファイルに左右されることが少なく、滑らかな追従性あるいは整定性を発揮するサーボモータを提供する。
【解決手段】速度指令は指令前置フィルタ１０６を通過した後、フィードバックループ１０４に入力される。フィードバックループ１０４は、サーボモータ１０１に接続されたエンコーダ１０３の出力信号に従って、サーボモータ１０１を速度指令あるいは位置指令に追従するように制御する。フィードバックループ１０４に内包される制御パラメータの値は、パラメータ設定手段１０５によって剛性設定に従って設定され、同時に指令前置フィルタ１０６の遮断周波数もパラメータ設定手段１０５によって剛性設定に従って設定される。 （もっと読む）

【課題】 外乱抑圧特性を下げることなくオーバシュートを小さくすることができる位置制御装置を提供する。
【解決手段】 位置指令とモータ位置の位置偏差を比例演算し第１トルク指令を生成する比例演算器（２０）と、位置偏差を積分演算し第２トルク指令を生成する積分演算器（４０）と、位置偏差を微分演算し第３トルク指令を生成する微分演算器（３０）と、第１トルク指令と第２トルク指令と第３トルク指令を加算してトルク指令を生成する加算器（２）とを備えた位置制御装置において、位置指令からフィードフォワード信号を生成するフィードフォワード制御器（１００）と、トルク指令からフィードフォワード信号を減算し新たなトルク指令を生成する差分器（４）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 慣性モーメントが変動しても安定で、制御性が高いモータ制御装置を提供する。
【解決手段】 位置偏差に比例ゲインを乗算し第１速度指令を生成する比例制御器（６）と、位置指令を微分し第２速度指令を生成する速度フィードフォワード制御器（８）と、速度偏差を比例・積分制御処理をし第１トルク指令を生成する比例積分器（１５）と、位置偏差に比例ゲインを乗算し第２トルク指令を生成するトルクＦＦ部（１７）と、位置指令に比例ゲインを乗算し第３トルク指令を生成するトルクフィードフォワード制御器（２１）と、モータ速度と速度偏差から粘性摩擦を同定する粘性摩擦同定器（２０）と、第４トルク指令と粘性摩擦同定値から第５トルク指令を生成する加算器（２４）と、第５トルク指令と速度偏差から慣性モーメント同定値を生成する慣性モーメント同定器（２６）と、第５トルク指令と慣性モーメント同定値からトルク指令を生成する乗算器（２７）とを備えた。 （もっと読む）

【課題】オーバーレイ性能を犠牲にすることなくスループットを向上できるリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、可動オブジェクトと、この可動オブジェクトの位置を制御する制御システムとを有する。制御システムは、可動オブジェクトの位置を測定する位置測定システムと、基準信号から、可動オブジェクトの実際の位置を示す位置信号を減算することによって、サーボエラー信号を生成する比較ユニットと、サーボエラー信号に基づいて第１制御信号を生成する制御ユニットと、基準信号に基づいてフィードフォワード信号を生成するフィードフォワードユニットと、第１制御信号とフィードフォワード信号とを加算することによって、第２制御信号を生成する加算ユニットと、可動オブジェクトを動作させるアクチュエータとを備える。フィードフォワードユニットのゲインは、可動オブジェクトの位置に依存する。 （もっと読む）

【課題】 動作が制限される機械系のイナーシャを同定するモータ制御装置を提供する。
【解決手段】 動作に制限条件がある機械を駆動するモータのモータ制御装置であって、速度指令とモ−タ速度によりトルク指令を生成する速度制御部（２１）と、前記トルク指令からモータを駆動するモータ駆動部（２２）とを備えるモータ制御装置において、イナーシャを同定するイナーシャ同定部（２４）と、前記制限条件に基づいて同定指令を生成する同定指令部（２５）とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 車両用の無段変速機等の制御に好適な、スライディングモード制御を用いた制御に関し、制御のハンチングをより確実に防止することができるようにする。
【解決手段】 無段変速機の目標変速比に応じた可動プーリの第１目標ストロークｘ₁^*を設定し、第１目標ストロークｘ₁^*に、可動プーリの実ストロークｘとこの第１目標ストロークｘ₁^*との偏差ｅ´の大きさに応じた遅れを与えて得られる第２目標ストロークｘ₂^*を用いてスライディングモード制御の切り換え関数σを設計し、この切り換え関数σに基づいてスライディングモード制御の非線形入力ｕ´_nlを演算し、演算した非線形入力を含む制御入力によりスライディングモード制御により可動プーリの位置を制御し、目標変速比状態とする。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク装置において、機構共振をモデル化した簡単なフィードフォワード制御により高速高精度なシーク動作を行わせること。
【解決手段】磁気ディスク装置は、磁気ディスク、磁気ヘッド、磁気ヘッドを支持して位置決めするヘッドアクチュエータ、磁気ヘッドが所定位置にあるように制御する制御装置を備える。制御装置は、ヘッド位置信号を生成する手段と、磁気ヘッドの目標位置までの目標位置軌道１０１を生成する手段と、目標位置軌道１０１からヘッドアクチュエータの近似逆モデル１０５Ａを用いてフィードフォワード制御入力を生成する手段とを有する。フィードフォワード制御入力を生成する手段は、ヘッドアクチュエータの近似逆モデル１０５Ａに共振逆モデル１を追加してヘッドアクチュエータの機構系の共振を含む周波数帯までモデル化している。 （もっと読む）

【課題】制御軸を回転駆動することで、機関バルブのリフト量を連続的に変化させる可変動弁機構において、最小リフト位置を定めるストッパ位置に対応するセンサ出力を学習させるときに、センサ取り付け部の撓みにより学習精度が低下することを防止する。
【解決手段】最小リフト位置の学習条件が成立すると、目標リフト量を徐々に最小リフトに向けて変化させ、該目標リフト量に実際のリフト量が追従するように前記制御軸の角度を変化させることで、ストッパに突き当たるときの慣性力を小さくし、センサ取り付け部の撓みを防止する。更に、制御軸を回動させるモータの電流を制限することで、ストッパの押し付け力が過大になって、センサ取り付け部の撓むことを防止する。 （もっと読む）

【課題】トルクフィードフォワード信号を滑らかにし、モータ動作時の異音を小さくし、制御対象の振動を抑えることができるディジタルサーボ制御装置を提供する。
【解決手段】指令信号あるいは速度フィードフォワード制御器５の出力信号の微分信号に、トルクフィードフォワードゲインＴＦＦを乗じた今回乗算値を保存する遅延器６４を有し、前記今回乗算値と１サンプリング前の前回乗算値のいずれか一方に基づいて、トルクフィードフォワード信号を生成するトルクフィードフォワード制御器６を備える。 （もっと読む）

【課題】 ＦＦ＋ＰＩＤ制御を行いオーバーフローすることなく迅速に目標値に達成するための制御パラメータを求めることのできる制御パラメータ決定装置を提供すること
【解決手段】 初期操作量ゲイン学習部３は、操作量を複数の区分に分割し、実際の制御中に取得した操作量以下の区分の存在時間を求め、閾値以上の存在時間の区分の中で最も大きい区分の操作量の下限値を求める。ＦＦゲイン学習部４は、目標値に達した際の操作量と、制御終了時の操作量に基づいてＦＦゲインを求める。そして、初期操作量ゲインは、上記求めた下限値に最大操作量を掛けたものを目標値で割って得られた値と、ＦＦゲインを比較し、大きい値を初期操作量ゲインに決定する。これにより、ＦＦ＋ＰＩＤ制御するコントローラにおける初期操作量ゲインとＦＦゲインを設定する。 （もっと読む）

本発明は次の方法ステップを有する機械の移動可能な機械要素（１８）の移動案内のための方法に関する。ａ）機械要素（１８）の所望の移動経過を表す案内目標量（ｘ_soll）が予め与えられるステップ、ｂ）モデル（２）に基づいて案内目標量（ｘ_soll）からフィードフォワード制御実際量（Ｍ_vor）および／または案内実際量（ｘ_ist）が求められ、モデル（２）が移動に関与する要素（１６，１８）の動特性を模擬する部分モデル（３）を有する。更に、本発明は方法に対応する装置に関する。本発明は機械の移動可能な機械要素（１８）の最適な移動案内を可能にする。
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【課題】 簡単な代数計算でフィードフォワードゲインを決定することができる位置制御装置を提供する。
【解決手段】 位置偏差分に比例演算を施して速度指令を出力する位置制御手段２１と、速度偏差分に比例、積分演算を施して出力する速度制御手段２２を含み、トルク指令を生成して制御対象を駆動する速度フィードバック制御系２２〜２７と、速度フィードバック制御系の遅れを補償する速度指令補償分を出力して速度制御手段に加えるフィードフォワード制御手段３０とを備えるとき、フィードフォワード制御手段は、位置指令を微分して出力する微分手段３１と、微分手段の出力を入力して低域の成分のみを出力する低域フィルタ手段３２と、速度フィードバック制御系の伝達関数の逆数を低域フィルタ手段の出力に乗算して出力するフィードフォワード補償手段３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 デジタル制御でフィードフォワードを用いる場合も過補償にならず位置決め時の偏差を最小にする。
【解決手段】 位置指令を用いて速度フィードフォワード信号とトルクフィードフォワード信号を作成し、前記位置指令を微分して指令速度を計算し、前記指令速度の値が予め設定した閾値より大きいサンプリング時は、前記トルクフィードフォワード信号をそのまま用い、前記指令速度の値が予め設定した閾値以下のサンプリング時は、前記トルクフィードフォワード信号の値を０とするという手順で処理する。 （もっと読む）

【課題】既存の制御システムの制御特性は変更せずに実機において操縦者の所望の操縦特性を容易に実現する操縦システムを提供する。
【解決手段】制御対象である実機システム１１にフィードバック制御器１２を組み込んだ拡大実機システム１０の入力として、拡大実機システム１０のＨ_∞ノルム定義型右逆システムであるフィードフォワード制御器２０を結合し、そのフィードフォワード制御器２０の入力に対し操縦者の所望の操縦特性を模擬したオーダモデル３０を結合したフライト操縦システム１００を構築する。なお、フィードバック制御器１２およびフィードフォワード制御器２０はデジタル変換され計算機内部に先に実装され、オーダモデル３０はデジタル変換され計算機内部または外部に後から実装される。 （もっと読む）

【課題】第１の可動部と第２可動部の相対位置誤差を小さくしたリソグラフィ装置、位置量コントローラ及び制御方法を提供すること。
【解決手段】リソグラフィ装置は、第１の可動要素と、第１の可動要素の位置量を制御するための第１の制御システムとを備える。また、リソグラフィ装置は、第２の可動要素と、第２の可動要素の位置量を制御するための第２の制御システムとを備える。トラッキング誤差即ち第１の可動部と第２の可動部の間の相対誤差を小さくするために、第１及び第２の制御システムに提供される設定値信号に同期してフィードフォワード信号を生成するためのフィードフォワード・テーブル・プログラミングを備えたフィードフォワード・テーブルが提供される。第１の可動要素の位置量を修正し、それにより第１の可動要素の位置量と第２の可動要素の位置量の間の相対誤差を小さくするために、第１の制御システムにフィードフォワードが提供される。 （もっと読む）

【課題】 モータが停止状態から動作する場合の速い外乱を特別な補償器を用いることなく補償すること。
【解決手段】 負荷１０２に作用する外乱を推定する外乱オブザーバ１１０を備え、外乱オブザーバ１１０の推定外乱に基づいて外乱成分を打ち消すように構成されたモータ制御装置において、外乱オブザーバ１１０内に設けられた積分器３０１の初期値を設定する初期値設定手段１１１を設けている。 （もっと読む）

【課題】 各軸の振動特性に差がある場合でも、軌跡制御精度の劣化を招くことなく、制御対象の振動を抑制することができるようにする。
【解決手段】 位置指令に含まれている所定の周波数成分を減衰させる振動抑制フィルタ１と、所定の周波数領域において振動抑制フィルタ１の応答特性と一致する応答特性を有し、第２の軸の位置指令を入力する応答特性補正フィルタ４とを設け、第１の軸の位置検出信号が振動抑制フィルタ１から出力された振動抑制フィルタ信号に追従するように第１の軸を駆動し、第２の軸の位置検出信号が応答特性補正フィルタ４から出力された補正フィルタ信号に追従するように第２の軸を駆動する。 （もっと読む）

【課題】 制御対象を目標位置へ忠実に位置決めすることができる位置決め制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 位置帰還値１ｂ及び位置偏差量に基づいて駆動源１１の加速度目標値２ｃを算出する位置速度補償演算手段３２（位置速度補償演算部３２）と、位置帰還値１ｂの微小な単位時間あたりの変化量から制御対象１４の微小移動量を算出し、この微小移動量から加速度指令値の補正量２ｅを算出する加速度補正手段３４，３５（位置監視部３４，加速度補正部３５など）とを備え、偏差算出手段３１は算出した位置偏差量２ａが所定の範囲内であるときは、この位置偏差量２ａを位置速度補償演算手段３２に出力せず、加速度補正手段３４，３５は偏差算出手段３１により算出された位置偏差量２ａが所定の範囲内であるときは、加速度指令値の補正量２ｅを算出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 手動調整を行わなくとも、機械振動を最小限に抑え、目標応答および外乱応答特性を最適に調整できるモータ制御装置と制御方法を提供する。
【解決手段】 モータ速度またはトルクを基に振動信号を生成する機械振動信号生成部９と、設定された基準機械振動を超えたか判定する機械振動検出部１０と、振動を検出した場合は、機械振動振動信号を所定サンプリング時間で一定時間データを蓄積し、周波数解析をして振動周波数を検出する振動周波数検出部１１と、設定された位置決め完了幅、許容オーバーシュート量および整定時間などから位置決め条件を生成し、位置決め条件を満足するか判定する位置決め判定部１３と、振動を監視し１つのパラメータの値を基に速度制御ゲイン、積分ゲインを調整する速度制御調整部１２と、位置決め条件を満足する範囲でフィードフォワード部の調整ゲインを調整するフィードフォワード調整部１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】サーボ制御方法及びそれに適した装置を提供する。
【解決手段】プラントの所望のレファレンス軌跡を表す多項式及びその導関数を準備するステップと、プラント入力に対するプラント出力をサンプリングするステップと、サンプル間の相対時間を参照してレファレンス信号及びその導関数信号を発生させるステップと、発生したレファレンス信号及びその導関数信号、遅延されたプラント入力、そして遅延されたプラント出力を使用してサンプリング時点でのプラント入力を決定するステップと、を含むことを特徴とするサーボ制御方法である。これにより、レファレンス信号以外にもその導関数信号を利用して、プラントが高い精度でレファレンス軌跡を追従するよう制御できる。 （もっと読む）