【課題】 波動歯車減速機を有するアクチュエータを用いて、インデックス割り出しなどの決まった動作を繰り返し行う場合の位置決め時間の短縮化を達成すること。
【解決手段】 割り出しシステム１はインデックステーブル２の割り出し動作を行うアクチュエータ３を備え、アクチュエータ３は可撓性外歯車を備えた波動歯車減速機３１と、サーボモータ３２を有している。サーボモータ３２のサーボドライバ４の記憶部４１には、割り出し用の定まった動作パターンが予め記憶保持され、上位のコントローラ５から動作開始指令が入力されると、記憶部４１から順次に移動量データを読み出してアクチュエータ３を駆動してインデックステーブル２の割り出し動作を行う。記憶されている動作パターンは、可撓性外歯車の弾性に起因してアクチュエータ３の加減速時に発生する振動を回避あるいは抑制可能なものとしてあるので、位置決めを短時間で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】システムの振動を低減する指令のパラメータを、簡単に決定できるようにする。
【解決手段】サーボ制御装置へ指令のパラメータを出力しモータを制御するモーション制御装置において、移動距離ｄｉｓｔと移動時間ｔｂを入力する動作条件入力部と、振動周期ｔｆを入力する振動入力部と、移動距離と振動周期を入力して振動低減パラメータを導出し、モータ指令計算部に出力する振動低減パラメータ導出部と、振動低減パラメ−タを入力してモータ指令を生成しモータ指令出力部に出力するモータ指令計算部と、モータ指令をサーボ制御装置に出力するモータ指令出力部とを備え、振動低減パラメータ導出部は動作条件と振動周期の比ｘを求め、予め求めておいた関数Ｆ（ｘ）にｘ＝ｔｂ／ｔｆの値を代入して指令のパラメータを決定する。 （もっと読む）

【課題】操作子に適度な操作反力を再現する汎用性の高い技術を提供する。
【解決手段】 操作装置は、人が操作する操作子と、人が操作子に加えている操作力を検出する操作力検出手段と、操作子の速度を検出する手段と、検出した操作子の速度に検出した操作力に起因して生じる加速度から計算する速度変化量を加味して第１速度を算出する手段と、第１速度と反対向きの力を決定する手段と、第１速度に決定した反対力に起因して生じる加速度から計算する速度変化量を加味して第２速度を算出し、算出した第２速度が第１速度と反対向きであれば、算出した第２速度をゼロとする手段と、操作子の速度が第２速度算出手段で算出した第２速度に変化するように、操作子を動作させるアクチュエータとを備える。 （もっと読む）

【課題】 １サンプリング時間以上の大きいむだ時間要素の存在する制御系においても効率よく制御パラメータを演算することができ、所望の制御性能を得ることが可能な自動制御方法を提供する。
【解決手段】 生成した制御信号に基づいて制御対象の角度又は位置を目標値へ向けて閉ループで動作制御する自動制御方法において、制御対象の現時点における角度又は位置の目標値に対する差分に応じた差分信号を生成し、制御対象を動作制御するための制御パラメータを演算するとともに、演算した制御パラメータを用いた制御関数に基づいて、上記生成した差分信号につき所定の演算処理を施すことにより制御信号を生成する。このとき、閉ループにおける閉ループ伝達関数の極から、当該閉ループにおけるむだ時間要素を含む演算式に基づいて、上述の制御パラメータを演算する。 （もっと読む）

【課題】 弾性体アクチュエータで駆動される可動機構を応答性良くかつ位置決め精度良く制御できる弾性体アクチュエータ駆動型可動機構の制御装置及び方法を提供する。
【解決手段】 流体圧駆動アクチュエータ１の内部圧力を圧力計測手段９で計測し、流体圧駆動アクチュエータにより発生する駆動トルクをトルクセンサー７で計測し、可動機構の変位量を計測し、変位の目標値と計測値とが入力されて位置誤差を位置誤差補償手段１２で補償し、位置誤差補償手段の出力と駆動トルクの計測値とが入力されて駆動トルク誤差を駆動トルク誤差補償手段２５で補償し、駆動トルク誤差補償手段の出力と圧力差の計測値とが入力され圧力差誤差を圧力差誤差補償手段１５で補償する。 （もっと読む）

【課題】 位相進み遅れ補償に制限がある中で、できるだけ誤差信号の低周波成分の強調を大きくし、サーボ制御性能の向上、ならびに低周波の位置ズレ抑制を図る。
【解決手段】 光ピックアップのアクチュエータや磁気ヘッドのアクチュエータに制御信号を供給するための制御演算部１１０において、アクチュエータの検出回路から得られる誤差信号に基づいて制御信号を算出する際に、複素零点をもつフィルタ特性をもたせる。これにより、位相進み遅れ補償が制限され、誤差信号の高周波成分の強調を抑えても、低周波成分の強調を相対的に大きくすることができる。もしくは、低周波成分の強調を同程度に設定した場合、高周波成分の強調を小さくして、２次共振周波数でのマージンを大きく取ることができる。 （もっと読む）

【課題】 軸受け内でのガタの発生を抑制することで、移動部材の位置精度を向上させることができる位置制御装置を提供する。
【解決手段】 駆動源（１０）からの駆動力を受けて回転する軸部材（３）と、軸部材を回転可能に支持する第１の軸受け（６）と、軸部材の回転に応じて軸部材の長手方向に移動可能な移動部材（１）とを有する。第１の軸受けは、軸部材に固定された第１の部材（６ｂ）と、第１の部材に対して転動体（６ｃ）を挟んで配置された第２の部材（６ａ）とを有する。第１および第２の部材を転動体に加圧接触させる力を、軸部材を介して第１の部材に作用させる加圧手段（８）を有する。 （もっと読む）

従来の力帰還型あるいは並列型バイラテラルサーボ構成に必要なマスタの位置（回転運動においては角度）センサと力（回転運動においてはトルク）センサを互いに冗長センサとして使用する。力帰還型あるいは並列型バイラテラルサーボにおいて、故障したセンサを他のセンサにより代替してスレーブの目標位置（角度）を決定することができるため、制御動作を継続することができる。また、本来はバイラテラルサーボのために備えたセンサを冗長センサの代わりに活用するので、より低いセンサの冗長度で所定の信頼度を有する制御装置が実現可能となる。 （もっと読む）

【課題】 スライダ部の加速時、減速時、定速移動時の振動発生時にピッチング及びローリングを抑制する機能を具備したＸＹステージを実現する。
【解決手段】 スライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、スライダ部のピッチング角速度を検出するための信号を出力する第１のＺ軸センサと、スライダ部のローリング角速度を検出するための信号を出力する第２のＺ軸センサとを有することを特徴とするＸＹステージである。 （もっと読む）

拡張カルマンフィルタ（３３０）を使用して初期回転子位置を予測し、その後回転子位置および／または速度を様々なタイプの負荷条件下で正確に予測する方法および装置が、電動機（１０６）のための状態オブザーバ制御システム（６００）を提供する。初期回転子位置の様々な設定から、推定回転子位置／速度を出力としてもたらすことができる、制御システムモデル（３００）が生成される。制御システムモデル（３００）は、ＥＫＦ（拡張カルマンフィルタ）推定器（３３０）と、速度コントローラ（３２２）と、電流コントローラ（３２４）と、可変負荷構成要素（３１０）とを含む。動作中、ＥＫＦ推定器（３３０）は、速度および電流コントローラ（３２２、３２４）とフレーム変換（３２６、３２８）からの入力によって生成された基準電圧（４０２、４０４）および基準電流（１３２５）に基づいて、回転子速度（３２７）および位置（３３３）を推定する。さらに、基準電圧および基準電流（４０２、４０４、１３２５）は、システム（６００）内のフィードバック信号（４１８、３４６）として、かつ電動機負荷（６０２）に印加する電力を制御するための駆動信号として使用されるように、フレーム変換される。
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【課題】 リニア増幅器とＰＷＭ増幅器を効率よく組み合わせた出力電流制御装置、この出力電流制御装置を使用したステージ装置および露光装置を提供すること。
【解決手段】 出力電流に応じてリニア増幅器１０５とＰＷＭ増幅器１０４とを使い分け、出力電流検出器Ｒ５、１０７と比較器１０６とを共通に使用する。 （もっと読む）

【課題】 磁気浮上装置を特殊な構造としたり、特殊な加工を施すことなく、且つ特別なメンテナンスを必要とせず、制御対象体の温度を検出できる、装置の安全な運転を確保できる磁気浮上装置を提供すること。
【解決手段】 相対向して配置された一対の電磁石１１、１３と、該一対の電磁石１１、１３の間に配置された制御対象体１５と、相対向して配置され該制御対象体１５の位置変位を検出する位置変位検出センサ１２、１４を具備し、該位置変位検出センサ１２、１４の検出信号を位相補償及びゲイン調整する制御回路部２０に入力し、該制御回路部２０からの制御出力で、一対の電磁石１１、１３の磁気吸引力或いは磁気反発力を制御し、制御対象体１５を該一対の電磁石１１、１３間の任意の位置に非接触で浮上支持制御する磁気浮上装置において、位置変位検出センサ１２、１４の検出信号により、制御対象体１５の外形寸法を検出し該制御対象体の温度を検出する温度演算回路部３０を設けた。 （もっと読む）