【課題】カムテーブルの切り換えを迅速に行なうことが可能なＰＬＣの演算ユニットを提供する。
【解決手段】ＰＬＣのＣＰＵユニットは、モーション制御とシーケンス制御とを実行する。ＣＰＵユニットは、カムテーブルを用いたモーション制御を行なうための制御プログラムと、第１のカムテーブルおよび第２のカムテーブルとを格納している。マイクロプロセッサは、制御プログラムの実行中に予め定められた指示を受け付けると、制御プログラムの実行に用いるカムテーブルを第１のカムテーブルから第２のカムテーブルに切り換える。マイクロプロセッサは、カムテーブルの切り換えに基づき、第２のカムテーブルを用いた制御プログラムの実行結果を制御対象機器に出力する。 （もっと読む）

【課題】装置機差の微調整および電子カム動作中における従軸の動作の変更を容易に実現可能なＰＬＣの演算ユニットを提供する。
【解決手段】ＰＬＣのＣＰＵユニットは、モーション制御とシーケンス制御とを実行する。ＣＰＵユニットは、カムテーブルを用いたモーション制御を行なうための制御プログラムと、カムテーブルとを格納している。マイクロプロセッサは、複数の位相のうちのいずれかの位相および当該位相に対応付けられた変位の少なくともいずれかを変更するための指令を受け付けると、カムテーブルにおける当該位相および変位の少なくともいずれかを当該指令に基づいた値に変更する。マイクロプロセッサは、上記変更が行なわれると、変更された後のカムテーブルを用いて制御プログラムを実行し、当該実行結果を制御対象機器に出力する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で可動部材の位置を高精度に検出するとともに、高精度に停止位置の制御ができる位置制御装置を提供する。
【解決手段】直流電気モータ３９〜４２と、電気モータによって可動部材を移動させる移動手段２と、ブラシとコミュテータとの間の断続によって電気モータへの供給電流に発生するリップル成分を抽出してパルス化したリップルパルスを出力するパルス検出部３８と、可動部材が移動されるときの現在位置を示す現在位置情報をリップルパルスに基づいて演算し記憶する現在位置情報記憶部４４と、電気モータ３９〜４２に供給される電流が０となる前に可動部材が停止するように電流を低下させる電流制御装置４５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ高速に位置決めすることが可能な位置決め装置を提供すること。
【解決手段】本実施形態に係る位置決め装置は、撮像器３による撮像画像データに基づいて追跡誤差信号を算出する画像処理部４０と、追跡誤差信号及び粗動機構のセンサ信号に基づく粗動機構制御信号により粗動機構１を制御する粗動機構制御駆動部１０と、追跡誤差信号及び微動機構のセンサ信号に基づく微動機構制御信号により微動機構を制御する微動機構制御駆動部２０と、粗動機構１の駆動力又は駆動トルクと、粗動機構１のセンサ信号と、機構パラメータ記憶部に記憶された機構パラメータとから、機構の運動方程式に基づいて粗動機構の動作により発生する撮像器の撮像画面内の加速度を算出し、粗動微動機構部の目標物に対する追跡誤差を低減させるために微動機構制御信号へ加算する微動機構追跡補正信号を加速度に応じて生成する補正信号生成部３０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 パターンの重ね合わせ精度の低下及び露光量の均一性の低下を抑制した走査露光装置を提供する。
【解決手段】 原版９と基板８とを走査しながら前記基板の複数のショット領域を露光する走査露光装置は、前記基板を保持して移動するステージ１０と、前記ステージの移動を規定する駆動プロファイルに基づいて前記ステージの移動を制御する制御部１５と、を備える。前記駆動プロファイルのうち少なくとも１つのショット領域の露光中の前記ステージの移動を規定する部分は、前記ステージの制御系における共振周波数よりも低い周波数の正弦波から構成されている。 （もっと読む）

【課題】角度同期方式の長所を生かしつつ、基準角度が与えられない場合でも角度同期方式の学習制御の適用を可能にするサーボ制御システムの提供。
【解決手段】サーボ制御システム１０は、各軸を駆動するＸ軸サーボモータ１２、Ｙ軸サーボモータ１４及びＺ軸サーボモータ１６をそれぞれ制御するＸ軸サーボ制御装置１８、Ｙ軸サーボ制御装置２０及びＺ軸サーボ制御装置２２を有する。またＸ軸サーボ制御装置１８及びＹ軸サーボ制御装置２０は、上位制御装置２４から送られる各軸指令に基づいて、単調増加又は一方向に変化する基準信号θを作成する基準信号生成部２８及び３２をそれぞれ有し、学習制御器２６及び３０は該基準信号に基づいて学習制御を行う。 （もっと読む）

【課題】外乱の影響によって、撮像器の指向方向にずれが発生することを抑制する。
【解決手段】実施形態によれば、撮像部１１にて撮像視野内の目標に関する画像情報を得て、この画像情報を画像処理部にて画像処理することで撮像部の指向方向と目標の方向との差異となる目標方向情報を得て、駆動部１２、１４にて目標方向情報及び当該駆動部の駆動に関するセンサ情報に基づいて撮像部１１の視軸方向を目標の方向に指向させて追跡する目標追跡装置において、センサ情報に基づいて、駆動部自体に内在する外乱の量を算出する外乱量演算手段１４３と、この外乱量演算手段で得られた外乱の量に基づいて、当該外乱が印加された場合に発生する撮像部の指向方向のずれ量を算出するずれ量算出手段１４４と、画像処理部から出力される目標方向情報をずれ量で補正する補正手段とを備えた目標追跡装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 上位コントローラと、該上位コントローラからの起動信号に基づいて被搬送物を搬送するサーボモータと、該サーボモータを可変速駆動するサーボアンプとを用いて形成される位置決め制御装置の省配線を図る。
【解決手段】 フィルム１をローラ２で一定量だけ定寸送りしつつ、カッター４で裁断するときに、ローラ２を駆動するサーボモータ１１を可変速制御するサーボアンプ４０を位置指令生成部４１、移動量メモリ部４２、位置・速度・電流制御部４３、位置ラッチ部４４、状態監視フラグ部４５、位置決め完了判定部４６で形成することにより、フィルム１上に印刷されたマーク１ａ，１ｂ，・・・をその都度通過したタイミングで発生する信号がオンされると状態監視フラグ部４５の状態監視フラグをセットし、この状態監視フラグの状態を上位コントローラ３１に出力する。 （もっと読む）

【課題】 複数のモータで同一方向の座標軸を駆動する機械に対して、汎用的な電機品を用いて各軸間相互に加わる無効反力を抑制すると共に、作業位置に対する同期制御を高精度に行なう同期制御装置を提供する。
【解決手段】 位置指令１２１を生成する位置指令生成部２１と、２台の位置情報１３１，１４１に基づいてＸＹ軸座標系である作業位置１２２を演算し、位置指令１２１と作業位置の一方の軸座標系位置１２２との差に基づいて新たな位置指令１２５を演算する第１の位置制御系を有する指令装置２と、新たな位置指令１２５と位置情報１３１，１４１との差に基づいてモータを駆動する指令を演算する第２の位置制御系をそれぞれ有する２台のモータ制御装置３，４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度位置決めを実現できるステージ装置，それを用いた荷電粒子線装置及び縮小投影露光装置，およびステージ制御方法を提供することにある。
【解決手段】ステージ装置は、ステージ１０を駆動するモータ３０と、モータにより駆動されるステージの位置が最終目標位置となるような前記アクチュエータの駆動量を算出するステージ制御演算器１００を有する。ステージ制御演算器１００は、ステージの目標位置とステージの位置の差分に基づいて、ＰＩＤ制御する補償演算器１２０を有する。また、ステージの特性を同定するモデル同定器１３０と、モデル同定器によって得られた情報を基に、補償演算器におけるステージ制御用補償パラメータを演算する制御ゲイン演算器１４０を備える。 （もっと読む）

【課題】対環境性能が高く最低限の発電量を確保して発電量の低下や変動を抑えることができるとともに、大電力を確保するために多数の太陽電池モジュールを設置する必要がある場合においてもコストを抑えることができる太陽光発電装置を提供する。
【解決手段】複数の太陽電池モジュールと、複数の太陽電池モジュールが設置された場所の環境条件を測定する環境測定装置５と、環境測定装置５により測定された環境条件に基づいて、複数の太陽電池モジュールの各々がなすべき目標仰角を算出する演算装置６と、演算装置６により算出された目標仰角に基づいて、複数の太陽電池モジュールの各々の仰角を制御する方向制御装置７とを備える。 （もっと読む）

【課題】フルクローズ位置制御において、極低速域の送りで発生するスティックスリップを抑制することができる位置制御装置を提供する。
【解決手段】加算器５および加算器２４が、実速度偏差Ｅｌに比例ゲインＰｌを乗算して得られた出力と、実速度偏差Ｅｌを積分補償器２５に入力して得られた実速度偏差の積分成分Ｔｉｌと、モータ速度偏差Ｅｍに比例ゲインＰｍを乗算して得られた出力と、モータ速度偏差Ｅｍを積分補償器９に入力して得られたモータ速度偏差の積分成分Ｔｉｍと、を加算しトルクフィードバック指令Ｔｆｂとして出力する。このとき、積分補償器２５と積分補償器９は、積分ゲインＫｌと積分ゲインＫｍを速度フィードフォワード指令Ｖｒまたは速度指令Ｖｃの値に応じて調節するために、０から１の間で可変できる係数可変器を備え、ロストモーションの影響が小さい極低速域において積分ゲインＫｌを大きく設定することで静摩擦トルクから動摩擦トルクへの切換応答速度を早め、スティックスリップを抑制する。 （もっと読む）

【課題】処理対象物の特定箇所に処理部を位置決めさせることを、コストを抑制しつつ、より簡易的に実施可能な位置決め制御装置及びその方法を提供する。
【解決手段】位置決め制御装置のコントローラ１７は、可動体８の検知部９が処理対象物を検知することにより出力されるセンサ信号及びサーボモータ１５の駆動に用いられるパルス信号を受信する手段と、可動体８を処理対象物の横断方向に移動させてセンサ信号が出力される間におけるパルス信号に関する情報と処理対象物のタイプとの関係を定めたテーブルを用いて、処理対象物のタイプを特定する手段と、特定した処理対象物のタイプに基づき、処理対象物のタイプと被処理部の位置との関係を定めたテーブルを用いて、処理対象物の被処理部の位置を特定する手段と、当該特定に基づくパルス列を生成してモータドライバ１６に送信する手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】移動体を高精度に位置決め制御することができる制御装置などを提供する。
【解決手段】制御装置１は、与えられた目標移動位置及び移動速度を基に指令移動位置を生成し、生成した指令移動位置を基に送り装置５０の駆動モータ７３を制御する制御信号生成部１２と、学習制御部１６と、移動体５２を往復動させたときに生じる送り装置５０の転動体に起因した摩擦力又はこれと等価な力で定義される外力と移動体５２の移動位置との相対データを基に、移動体５２を目標移動位置に移動させた際に生じると推定される外力と移動体５２の移動位置との相対データを推定するデータ推定部２２、推定された相対データを基に推定外力を算出して各指令移動位置における移動誤差量を推定する誤差推定部２３、及び推定された移動誤差量を基に補正量を算出して学習制御の初期値として設定する補正量設定部２４から構成される初期値設定部２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ポインティング・デバイスを用いて、顕微鏡システムにおけるステージなどの操作対象を位置制御する情報処理装置、位置制御方法、プログラムおよび記録媒体を提供すること。
【解決手段】 本発明の情報処理装置１１０は、ポインティング・デバイス１１４により指し示される操作画面上の座標値を取得する手段１７２と、この座標値から操作対象の位置の目標値を算出する手段１７４と、操作対象の位置の目標値と現在値との差分を算出する手段１７６と、座標値の取得時間間隔内に操作対象を差分だけ移動させるために必要な速度から、予め設定された平滑化係数に応じて減速した値として、操作対象を駆動する同期モータのパルススピードの目標値を算出する手段１８０と、差分が有り、かつ、順方向の駆動信号が出力されている場合に、算出されたパルススピードの目標値を設定し、このパルススピードの目標値に向けた加減速制御を指令する手段１８４とを含む。 （もっと読む）

【課題】象限突起の補正量を運転状況に応じて適正に定めるとともに、補正のタイミングや補正形状のズレを極小にし、象限突起の補償を十分に行う。
【解決手段】送り駆動系の制御方法は、サーボモータにより送り運動される移動体の位置検出信号と位置指令信号とが一致するように速度指令信号を生成し、サーボモータの速度検出信号と速度指令信号とが一致するように駆動力信号を生成し、この駆動力信号に基づいてサーボモータの駆動力を制御する。位置指令信号を先読みし、位置及び送り速度から送り駆動系に作用する摩擦力を推定する摩擦力推定工程２１と、位置指令信号の入力から実際に移動体位置が駆動されるまでの制御系をモデル化し、このモデルの摩擦力と位置指令との関係から、上記摩擦力推定工程で推定した摩擦力に相当する補正指令を算出し、この補正指令を位置指令に加算して摩擦力の補償を行う摩擦力補償工程２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 複数のモータで同一方向の座標軸を駆動する機械に対して、汎用的な電機品を用いて各軸間相互に加わる無効反力を抑制すると共に、作業位置に対する同期制御を高精度に行なう同期制御装置を提供する。
【解決手段】 位置指令１２１を生成する位置指令生成部２１と、２台の位置情報１３１，１４１に基づいてＸＹ軸座標系である作業位置１２２を演算し、位置指令１２１と作業位置の一方の軸座標系位置１２２との差に基づいて新たな位置指令１２５を演算する第１の位置制御系を有する指令装置２と、新たな位置指令１２５と位置情報１３１，１４１との差に基づいてモータを駆動する指令を演算する第２の位置制御系をそれぞれ有する２台のモータ制御装置３，４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】太陽光パネル上の個々の太陽電池セルを動かすようにすることで、すべての太陽電池セルが太陽光を垂直に受ける向きになるように保つことができるようにした太陽光発電システムにおいて、個々の電池パネルが風圧に弱いという問題を解消することができる太陽光発電システムを提供する。
【解決手段】駆動可能な支持部０１２０で支持される複数の太陽電池セル０１１０と、各太陽電池セル０１１０の支持部０１２０を太陽追尾のために姿勢駆動する駆動部０１３０と、風速を検知する風速検知部０１４０と、検知した風速が、太陽電池セル耐風圧許容度を超えるか判断する判断部０１５０と、判断結果が耐風圧許容度を超えるとの判断結果である場合に太陽電池セル０１１０が風圧に対して安全となる姿勢となるように駆動部０１３０を制御する制御部０１６０とからなる強風退避型太陽光発電システム。 （もっと読む）

【課題】短時間でかつ正確に抵抗値の変化点の探索を行い、移動体の基準位置決定を行い、制御性の向上をはかる。
【解決手段】形状記憶合金ワイヤ１０と、移動可能な移動体１１と、弾性部材１２と、第１の規制部材１５と、第２の規制部材１６とを有する形状記憶合金アクチュエータと、形状記憶合金ワイヤ１０の抵抗値を検出する検出部と、印加電流値を算出する演算部と、出力部と、検出部、演算部、出力部を制御する制御部とを有する抵抗制御回路により、形状記憶合金アクチュエータの位置制御を行う形状記憶合金アクチュエータシステムにおいて、抵抗制御回路は、基準抵抗値演算部を有し、単位時間変化に対する抵抗変化の割合が第１の割合から第１の割合と異なる第２の割合に変化する第１抵抗値を算出し、形状記憶合金ワイヤ１０を弛緩させる場合には第１抵抗値で位置制御する。 （もっと読む）

【課題】 平面に略沿った受光面を有する複数の太陽電池パネル全ての受光面を、太陽の移動に追従し太陽光の照射方向に略垂直に向けることができる簡単な構造の太陽発電装置を提供する。
【解決手段】複数の太陽電池パネルを第１直線に略平行なパネル回動軸を中心に受光面が互いに略平行な状態を保ちつつそれぞれ回動可能に支持するパネル支持手段と、パネル支持手段を固定物に対し、第１直線と交わる第２直線に略平行な支持手段回動軸を中心に回動可能に支持する回動支持手段と、複数の太陽電池パネルをパネル回動軸を中心に連動して回動させるパネル回動手段と、パネル支持手段を支持手段回動軸を中心に回動させる支持手段回動手段と、を備えてなり、支持手段回動手段によるパネル支持手段の回動と、パネル回動手段による複数の太陽電池パネルの回動と、の両回動のみにより、太陽の移動に追従し、複数の太陽電池パネル全ての受光面を太陽光の照射方向に略垂直に向けるものである、太陽発電装置である。 （もっと読む）