【課題】高速かつ高精度に位置決めすることが可能な位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置は、粗動機構１と、粗動機構１より単位変位量が小さい微動機構２と、粗動機構１の位置、角度、速度及び角速度のうち少なくとも１つに関するセンサ信号に基づく粗動機構制御信号により粗動機構１を制御する粗動機構制御部１０と、微動機構２の位置、角度、速度及び角速度のうち少なくとも１つに関するセンサ信号に基づく微動機構制御信号により制御する微動機構制御部２０と、粗動機構１及び微動機構２に関するパラメータを記憶する記憶部と、粗動制御信号及び粗動機構のセンサ信号と、記憶部に記憶された粗動機構及び微動機構に関するパラメータとから、粗動機構１の動作により発生する前記微動機構の加速度又は角加速度を算出し，前記加速度又は角加速度に応じた微動機構追跡補正信号を生成して前記微動制御信号に加算する追跡補正信号生成部３０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ＣＰＵの演算時間が短く、かつ、使用するメモリの個数が少ない位置決め用関数発生装置と位置決め用関数発生方法、更には、それを利用した電動機を提供する。
【解決手段】目標位置入力と、速度指令入力と、加速時間入力と、減速時間入力と、サンプリング時間とを入力し、位置指令を生成して出力すると共に、減速時においては、減速演算回数と減速時移動量とにより導出される位置指令減速パタン補正値により、位置指令単調減速パタンに対して、順次、補正を行うことにより、減速時位置指令を出力し、減速時位置指令を生成する際には、減速時移動量に対して、減速演算回数により、前回剰余加算割算を実行することにより、位置指令減速パタン補正値を導出する。 （もっと読む）

【課題】減速機構軸の減速後軸の回転角度を検出する必要がある場合、角度検出器の選定は減速機構の構造、被回転体により左右される。その結果角度検出器の大型化、重量化により位置決め装置全体が高額となる。
【解決手段】減速機構２の減速前軸４の角度より減速後軸３の角度を推定計算するようにすることで、減速機構２、被回転体の構造に左右されずに角度検出器７を選定できるようになり、位置決め装置全体の軽量化、低価格化を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】稼動状態を停止させる必要なく反射鏡の向きを容易に調整することが可能な太陽光集光システム及び太陽光集光システムの反射鏡調整方法を提供する。
【解決手段】太陽光集光システム１０１は、地表面に設けられ、太陽光線を反射させる反射鏡と、地表面上方に配置され、反射鏡により反射された太陽光線が入射する入射部を有する受光手段と、該受光手段の入射部の外縁に、少なくとも互いに対向する二箇所に設けられた光量センサ４５と、反射鏡を少なくとも一軸回りに回転自在とする回転機構５２と、該回転機構５２を駆動させて反射鏡を回転させながら互いに対向する光量センサ４５それぞれで検出される光量を取得し、該光量に基づいて反射鏡の角度を調整する方向制御部６２とを備える。 （もっと読む）

【課題】太陽光集光器を大規模化する為に、各部材の応力と曲げモーメントを低減化する。太陽光集光器は小さな基礎モデルで成り立つ構成でも、大規模化すると構成部材の強度に支障が生じがちである。
【解決手段】反射板重量負荷を支える支持点を反射板列の中心線近傍に複数設ける事によって、各構成部材にかかる重量負荷を分散化させる事を、解決手段とする。主な構成物である反射板１を支えるには、反射板１の中心点で支持するのが最適である。さらに支持点が増えれば増えるほど太陽光集光器全体の重量は分散されるので、大規模化しても重量負荷がかさむことがない。 （もっと読む）

【課題】振動に応じたアンテナその他の部材の姿勢の変位を物理的にあるいは実効的に抑制する制振装置に関し、構成の大幅な簡略化や小型化に併せて、低廉化を実現し、その部材の姿勢の変動や偏差を安定に吸収する。
【解決手段】所望の部材の互いに直交する３つの軸に対する角速度を監視する角速度監視手段と、前記監視された角速度に基づいて前記３つの軸に対する前記部材の回転角を求める回転角算出手段と、前記求められた回転角の偏差を補償する第一の補償手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 システムの固有振動角周波数をωｎとした場合、指令の払い出し時間がπ／ωｎ以下、且つ、振動を励起しない指令を容易に生成でき、更に、機械を高速に位置決めすることができる指令を生成するモーションコントロール装置を提供する。
【解決手段】 任意の第１の時間幅と正規化された振幅とを有する第１の基本波形ｐ１と、任意の第２の時間幅と正規化された振幅とを有する第２の基本波形ｐ２と、を発生する波形発生器１，２と、前記第１の基本波形の振幅に第１の所定ゲインＡ１を乗じて出力し、前記第２の基本波形の振幅に第２の所定ゲインＡ２を乗じて出力する振幅調整器３，４と、前記第２の所定ゲインを乗じた信号に所定遅延時間を加えて出力する遅延器６と、前記第１の所定ゲインを乗じた信号から前記遅延器の出力信号を減算する減算器５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度に位置決めすることが可能な位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置は、粗動機構１と、粗動機構１より単位変位量が小さい微動機構２と、粗動機構１の位置、角度、速度、角速度等に関するセンサ信号に基づく粗動機構制御信号により粗動機構１を制御する粗動機構制御部１０と、微動機構２の位置、角度、速度、角速度等に関するセンサ信号に基づく微動機構制御信号により制御する微動機構制御部２０と、粗動機構１及び微動機構２に関するパラメータを記憶する記憶部と、粗動制御信号及び粗動機構のセンサ信号と、記憶部に記憶された粗動機構及び微動機構に関するパラメータとから、粗動機構１の動作により発生する微動機構２の位置決め誤差を算出し、誤差を相殺させるための外乱相殺信号を生成して微動制御信号に加算する外乱相殺信号生成部３０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セットテーブルの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができるＸＹテーブルの制御方法を提供することを課題としている。
【解決手段】仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブル２の各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、取得した実座標データに基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高性能のカウント器やそれに代わるＡＩＳＣを用いることなく、現在位置Ｘｄｅｔを把握する。
【解決手段】エンコーダー９１０から出力される２相のパルス信号をそれぞれ検出して計数処理を行う２相カウンタ９０６と、そのうちのＡ相パルス信号だけを検出して計数処理を行う１相カウンタ９０７とを設け、目標位置Ｘｔｇｔと、それらカウンタによって把握した現在位置との差である位置誤差Ｘｅを算出し、位置誤差Ｘｅに応じた目標速度Ｖｔｇｔを増幅手段９０３から出力する一方で、位置誤差Ｘｅについて、比較的小さい値であるのか、比較的大きい値であるのかを誤差判定手段９０５によって判定し、比較的小さい値である場合には、２相カウンタ９０６によって現在位置ｘ２を求める一方で、比較的大きい値である場合には、１相カウンタ９０７によって現在位置ｘ１を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】 速度制御や位置制御調整後、円弧半径縮小量、最大速度と位置制御ゲインより最大速度フィードフォワードゲインを設定し、最大速度でオーバシュートしない範囲で速度フィードフォワードゲインを調整することができる、サーボ制御装置の軌跡追従の位置決め調整方法を、提供する。
【解決手段】 円弧半径縮小量と最大送り速度に基づいて位置追従遅れ量を算出する追従遅れ算出部と、前記位置追従遅れ量に基づいて最大フィードフォワードゲインを算出する最大フィードフォワードゲイン設定部と、前記追従遅れ量と最大フィードフォワードゲインに基づいて最大移動速度でフィードフォワードゲインを調整するフィードフォワードゲイン調整部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】位置指令や速度指令が急激に変化しても大きな躍度が発生することなく位置や速度を高応答に制御可能なアクチュエータの制御装置を得ることを目的とする。
【解決手段】アクチュエータ１の位置検出値θと位置指令θ＊との位置偏差Δθが零になるように位置偏差Δθを増幅して速度指令ω＊を出力する位置偏差増幅手段４、および速度指令ω＊に一致するようにアクチュエータ１の速度を制御するアクチュエータ速度制御手段５を備え、この位置偏差増幅手段４は、位置偏差Δθの絶対値が所定の位置偏差境界値以下の第１の範囲では位置偏差Δθに比例させて速度指令ω＊を出力し、位置偏差Δθの絶対値が所定の位置偏差境界値以上の第２の範囲では第１の範囲での出力と連続するとともに位置偏差Δθの（１／２）乗に比例させて速度指令ω＊を出力する。 （もっと読む）

【課題】本発明は内部にカメラを搭載するジンバル装置に関し、簡単な構成でたわみ振動の影響を排除して高い空間安定性を確保することを課題とする。
【解決手段】カメラが搭載されると共にトルクモータ２４０で駆動させるジンバル部２００と、視軸鉛直方向軸回りの角速度u[1]とカメラの視軸背面方向軸回りの角速度u[2]と視軸俯角軸方向回りの角速度を検出する角速度検出部２１０と、この角速度検出部２１０の検出結果に基づきトルクモータ２４０の駆動制御を行う制御手段とを有する。また、制御手段は、視軸鉛直方向軸回りの角速度u[1]を用いてたわみを補正する視軸俯仰軸方向の角速度u[3]を求める第１視軸演算器１１０Ａ、カメラの視軸背面方向軸回りの角速度u[2]を用いてたわみを補正するＡＺ軸回りの角速度u[4]を求める第２視軸演算器１１０Ｂと、視軸の俯角（θEl）に基づき視軸俯仰軸方向の角速度u[3]又はＡＺ軸回りの角速度u[4]のいずれを出力するかを決定する切換え処理器１６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】包装機械などに好適なサーボシステムを提供する。
【解決手段】上位コントローラ１０とサーボ制御装置４０とサーボモータ３０とから形成され、サーボ制御装置４０には外部から入力されるパルス列信号を積算演算するためのパルス入力部４０ｃおよびパルス積算処理部４０ｄ、この積算演算されたパルス積算値を外部からのラッチ(保持)信号が入力される毎にラッチするラッチ処理部４０ｅなどを備え、包装機械の加工物のライン速度を制御する基準軸の速度を適宜調整することにより、基準位置での包装／切断を行わせている。サーボ制御装置４０は、パルス入力部４０ｃおよびパルス積算処理部４０ｄは、従来のサーボ制御装置でのシリアルデータの処理機能を転用することにより、ラッチ処理部４０ｅと切換スイッチ部４０ｆとを追加するだけで形成しているので、僅かな価格上昇でこの包装機械に好適なサーボシステムを製作することができる。 （もっと読む）

【課題】誤差の少ない高精度な位置検出が可能な平面モータを実現する。
【解決手段】プラテン上に配置されたスライダをＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する平面モータにおいて、
前記スライダにレーザ光源、レンズおよびイメージセンサを搭載し、前記レーザ光源から出射したレーザ光を前記プラテンで反射させ前記レンズを介して前記イメージセンサで受光するように構成した。 （もっと読む）

【課題】過剰制限による弊害を解消し、フォーカス駆動及び／又はレベリング駆動におけるステージの追従精度及び／又は同期精度を向上する。
【解決手段】原版および基板を移動させながら基板を露光する走査露光装置は、原版からの光を前記基板に投影する投影光学系と、基板を保持して移動するステージと、投影光学系の光軸の方向における基板の位置を計測する計測部とを有する。そして、この走査露光装置は、この光軸に直交する方向に関するステージの駆動状態に基づいて制限値を設定し、計測部によって計測された複数箇所における計測値に基づいてその平均値または基板の傾きを算出し、算出された平均値または傾きから生成される前記ステージの前記光軸の方向の駆動量と制限値を比較し、比較結果に応じて、駆動量が制限値を超えないようにステージの移動を制御する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い絶対位置座標管理を実行する位置決め制御システムおよび位置決め制御装置を得ること。
【解決手段】位置決め制御装置は、自身以外の複数の位置決め制御装置の夫々が基準とする位置指令値と駆動軸の絶対位置座標値との対を夫々バックアップするメモリを備え、絶対位置座標を復元すべき事象が発生した際、複数の位置決め制御装置に夫々バックアップされている絶対位置座標値およびこの絶対位置座標値に対応する位置指令値に基づいて現在の絶対位置座標値を夫々算出し、夫々算出した絶対位置座標値の整合性を確認する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、光学素子駆動装置が高速で高精度かつ安定に駆動可能な最適な制御ゲインを短時間で精度よく算出し、常に最適なゲインで動作させることが可能な閉ループ制御装置、光学素子駆動装置、該駆動装置を備える露光装置を提供することである。
【解決手段】 ウエハ及びレチクル交換時、もしくは露光待機時に、制御量の目標値を変化させる手段と、制御量の目標値と制御量検出手段との差信号を入力信号とした制御装置の最適制御ゲインを算出する調整手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】追尾性能を改善する。
【解決手段】天頂から一定の距離よりも離れた第１範囲に移動体がある場合には、角度と追尾誤差検出値とを使用して、移動体を追尾するように第１回転手段および第２回転手段を駆動する第１角速度指令値を計算する第１計算手段と、天頂から一定の距離以内の第２範囲に移動体がある場合には、角度と追尾誤差検出値とを使用して、移動体の移動方向を推定する推定手段と、角度と追尾誤差検出値と移動方向とを使用して、天頂特異点を回避しながら移動体を追尾するように第１回転手段および第２回転手段を駆動する第２角速度指令値を計算する第２計算手段と、第１範囲に移動体がある場合には第１角速度指令値と角速度との差がなくなるように、移動体が第２範囲にある場合には第２角速度指令値と角速度との差がなくなるように、第１回転手段および第２回転手段を駆動制御する制御手段と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】機械要素の増加を抑えつつバックラッシュによる影響を低減できるサーボ制御システムおよび作業機械を提供する。
【解決手段】サーボ制御システム８０は、回転体４に連結された第１の歯車７１と、第１の歯車７１と噛み合い、第１の歯車７１を駆動する第２の歯車７２と、第２の歯車７２を駆動する旋回用電動機２１と、旋回用電動機２１の動作を制御する旋回駆動制御部４０とを備え、旋回駆動制御部４０は、旋回用電動機２１の出力トルクを制限するための旋回制限部４１を有しており、旋回制限部４１は、旋回用電動機２１の静止状態から回転動作への移行、旋回用電動機２１の回転速度の減速、または旋回用電動機２１の回転方向の変更を行う際に、第１の歯車７１及び第２の歯車７２におけるバックラッシュ幅を第２の歯車７２が移動する際に要する時間に相当する所定時間が経過するまでの間、旋回用電動機２１の出力トルクを制限する。 （もっと読む）