【課題】２自由度制御構成のサーボ制御器において、用いる位置検出器の分解能が低くてもフィードフォワード制御器からフィードバック制御器へ与える操作量に生ずるリップルを確実に低減でき、高い追従性による高精度制御を可能にするサーボ制御器を得ること。
【解決手段】指令生成器１０は入力される位置指令Ａをコントローラ２の分解能から位置検出器５の分解能よりも高い分解能の内部位置指令１５０へ変換する。フィードフォワード制御器１１ａは、内部位置指令１５０を元に微分器１１０、フィルタ１１１を用いて速度フィードフォワード成分１５２を生成し、それを元に微分器１１２、フィルタ１１３を用いてトルクフィードフォワード成分１５４を生成する。内部位置指令１５０の分解能は位置検出器５の分解能よりも高いので、フィードフォワード成分１５２，１５４に生ずるリップルは位置検出器５の分解能を有する内部位置指令を用いる場合よりも低減される。 （もっと読む）

【課題】平面上の任意の位置にスライド操作可能な操作部に対しフォースフィードバック制御を行うことで、汎用性の高い二次元スライド操作タイプのシフト装置を提供する。
【解決手段】シフト装置１は、ＸＹ平面上の任意の位置へスライド操作可能なスライド操作部２０と、スライド操作部の操作状態を検出するＸ軸及びＹ軸リニアエンコーダ１６１，１６２と、スライド操作部に力を付与するＸ軸及びＹ軸ボイスコイルモータ１４，１５とを備える。力覚制御部は、予め定められたシフトチェンジ操作の軌道である操作許容エリアの外縁部に「反力の壁」を生じさせるフォースフィードバック制御を行うことにより、軌道を逸脱するような異常なスライド操作を防止する。 （もっと読む）

【課題】外乱の影響によって、撮像器の指向方向にずれが発生することを抑制する。
【解決手段】実施形態によれば、撮像部１１にて撮像視野内の目標に関する画像情報を得て、この画像情報を画像処理部にて画像処理することで撮像部の指向方向と目標の方向との差異となる目標方向情報を得て、駆動部１２、１４にて目標方向情報及び当該駆動部の駆動に関するセンサ情報に基づいて撮像部１１の視軸方向を目標の方向に指向させて追跡する目標追跡装置において、センサ情報に基づいて、駆動部自体に内在する外乱の量を算出する外乱量演算手段１４３と、この外乱量演算手段で得られた外乱の量に基づいて、当該外乱が印加された場合に発生する撮像部の指向方向のずれ量を算出するずれ量算出手段１４４と、画像処理部から出力される目標方向情報をずれ量で補正する補正手段とを備えた目標追跡装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】距離に依存せずに高い精度で位置制御が可能な位置制御装置を提供する。
【解決手段】位置制御装置１００は、第１情報を取得し、前記第１情報から特定される基準位置Ｂとステージ１との間の距離と所望の距離との差が、所与の範囲に含まれるか否かを判定し、前記所与の範囲に含まれない場合には、前記差が前記所与の範囲に含まれるようにステージ１の位置を制御する第１位置制御処理を行う第１制御手段３１と、前記差が前記所与の範囲に含まれる場合には、前記第２情報を取得し、前記第２情報から特定される基準位置１とステージＢとの間の距離に基づいて、基準位置Ｂとステージ１との間の距離が前記所望の距離となるようにステージ１の位置を制御する第２位置制御処理を行う第２制御手段３２と、を含む。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを提供する。
【解決手段】リニア・エンコーダ２３は、移動式往復台２５の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ２３−１、２３−１’と、移動式往復台２５の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ２３−２、２３−２’とで構成され、このように構成されたリニア・エンコーダ２３が、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのＬトラック、および水平位置［誤差］を補償するためのＴトラックを有するスケールに沿って移動することで、高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現する。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度位置決めを実現できるステージ装置，それを用いた荷電粒子線装置及び縮小投影露光装置，およびステージ制御方法を提供することにある。
【解決手段】ステージ装置は、ステージ１０を駆動するモータ３０と、モータにより駆動されるステージの位置が最終目標位置となるような前記アクチュエータの駆動量を算出するステージ制御演算器１００を有する。ステージ制御演算器１００は、ステージの目標位置とステージの位置の差分に基づいて、ＰＩＤ制御する補償演算器１２０を有する。また、ステージの特性を同定するモデル同定器１３０と、モデル同定器によって得られた情報を基に、補償演算器におけるステージ制御用補償パラメータを演算する制御ゲイン演算器１４０を備える。 （もっと読む）

【課題】 帯状電極が短手方向に並設されているパネル部材に対し、各帯状電極と接触するプローブを設けたプローブユニットが相対的に平行であることの確認・調整を短時間で実行できる装置を提供する。
【解決手段】 本発明の装置は、パネル部材に対するプローブユニットの相対的平行度を調整する傾き調整機構と、プローブユニット及びパネル部材間の距離を検出する複数のセンサと、プローブ及び帯状電極が相対的に接近して接触する前後の各センサからの出力を取り込むセンサ出力取込手段と、取り込んだ各センサの出力に基づいて、プローブユニットの平行度調整において参照する情報を形成する調整参照情報形成手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 安定した精密な位置決め制御により、振動を防止し、高速で搬送することができる搬送装置を実現する。
【解決手段】 搬送装置１０は、移動手段に載置する装置ベース１１と、平行に設けられた１対の柱状部材１２ａと１対の柱状部材１２ａの一端を連結する連結部１２ｂとからなるコアにソレノイドコイル１２ｃを巻いて形成され、装置ベース１１の上面１１ａに立設された電磁石１２と、ソレノイドコイル１２ｃの間に配置された永久磁石１５を備え、電磁石１２により上方に付勢可能に構成された、被搬送物を載置する搬送台１３と、を備えており、搬送台制御変位計測手段２１により計測された搬送台制御変位ｘと装置ベース変位計測手段２２により計測された装置ベース変位ｙとに基づいて、位置制御手段２３により、電磁石１２に供給する電流を制御することにより搬送台１３の位置を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】誤差の少ない高精度な位置検出が可能な平面モータを実現する。
【解決手段】プラテン上に配置されたスライダをＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する平面モータにおいて、
前記スライダにレーザ光源、レンズおよびイメージセンサを搭載し、前記レーザ光源から出射したレーザ光を前記プラテンで反射させ前記レンズを介して前記イメージセンサで受光するように構成した。 （もっと読む）

【課題】ステージの姿勢制御を優先して行う際に、位置決め制御の性能低下を可能な限り防止することができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置１は、Ｘ方向及びＹ方向に推力を発生する平面モータ１１と、平面モータ１１が発生する推力によってＸ方向及びＹ方向への移動及びＺ軸周りの回転が可能なステージ１２と、Ｘ方向及びＹ方向のうちの予め設定された優先方向について、Ｚ軸の周りにステージ１２を回転させる推力を平面モータ１１に優先的に発生させる制御を行う制御装置２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ユーザに繁雑な作業を強いることなく高い位置決め精度を実現することができ、モータの加速度を変えても位置決め精度の悪化を招くことがない位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置１は、平面モータ１０に駆動されてＸＹ面内で移動可能なステージ２０と、平面モータ１０によるステージ２０の駆動を制御するモータ制御装置３０とを備えており、モータ制御装置３０は、ステージ２０が移動している状態における平面モータ１０の電流推力特性に合わせた駆動電流Ｃ１〜Ｃ３を平面モータ１０に供給する。 （もっと読む）

【課題】長尺重量物のアライメント容易に行うことが可能な長尺重量物の位置合せ支援方法、およびアライメント支援システムを提供する。
【解決手段】建屋座標系Ｏで目標位置が定められた長尺重量物のアライメント支援システムであって、前記長尺重量物である電磁石１２に固定され、前記目標位置が設定された計測用ターゲット２６と、前記電磁石１２に配設され、前記長尺重量物を所定の調整軸方向に移動させてアライメントを行う調整機構１４と、前記計測用ターゲット２６の現在位置を測定して現在位置のデータを出力する計測装置１６と、前記現在位置のデータが入力され、前記現在位置のデータと前記目標位置のデータとの偏差を前記計測用ターゲットによって形成される平面を基準として構成された座標軸によるローカル座標系Ｌに変換する演算手段１８と、を有してなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、位置決めの正確性を低下させずに処理速度を迅速化可能なワーク位置決め装置及び円柱状ワークの調芯装置を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明に係わるワーク移動装置は、ワークを一の方向に移動させるためのワーク移動装置であって、ワークを一面に載置する載置手段と、空気圧で押圧され一の方向に移動する推進部材を有するとともに推進部材の先端がワークを望む状態で配置された空気圧アクチュエータと、推進部材に取り付けられた圧電素子と、ワークに当接可能に圧電素子に取り付けられた衝撃体と、ワークの位置を検出する検出手段と、空気圧アクチュエータへ供給される空気の空気圧を調整する空気圧調整手段とを備え、空気圧調整手段は、位置検出手段の検出したワークの位置とワークが位置すべき所望の位置との偏差に基づいて前記一の方向に推進部材を押圧する場合の空気圧を調整することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】自動操作と手動操作が可能な操作子において、自動位置決め完了時の実位置と目標位置との誤差を、その後の手動操作に際して実効的に解消し、違和感のない制御データを発生する。
【解決手段】通常は所定のスケール特性に従う制御データを位置データに応じて発生する。操作子が目標位置Ｐｔに自動位置決めされた直後の手動操作において変更スケール特性を適用する。変更スケール特性においては、位置決め完了時における実位置Ｐｒに対応して前記所定のスケール特性上の目標位置Ｐｔに対応する制御データＤｔが出力されるように起点を設定し、該起点の位置から少なくとも目標位置に達するまでの区間を含む第１の変更区間を設定し、位置検出器１２で検出された位置データに対応して発生される制御データが、起点に対応する制御データＤｔから該第１の変更区間の終点の位置に対応する前記所定のスケール特性上の制御データまで漸次変化するようにする。 （もっと読む）

【課題】特定のエリアでは高い位置決め精度を確保しつつ、全体として比較的安価な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の位置を検出するレゾルバ３０ａ〜３０ｃ（以下レゾルバ３０とする。）と、
プラテン１０の特定のエリアＡにおけるスライダ１の位置をレゾルバ３０よりも高い精度で検出するレーザ干渉計２０ａ，２０ｂ（以下レーザ干渉計２０とする。）と、
スライダ１の位置に応じてレゾルバ３０またはレーザ干渉計２０のいずれかの位置検出装置を選択する切替スイッチ１００ｃと、
位置指令値および切替スイッチ１００ｃで選択された位置検出装置で検出される位置検出値に基づいてスライダ１の位置制御を実行する位置制御部１０２と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】ステージを駆動する際に生じる振動を効果的に抑制する。
【解決手段】所定タイミングで検出された制御対象３０１の位置と所定位置との誤差を、前記タイミングからの時間経過に応じてフィードフォワード制御部１０２による操作量を変更することによって補正するとともに、フィードバック制御部１０３への外部入力をフィードフォワード制御部１０２による補正量に応じて変更する制御部１０４を備える。 （もっと読む）

【課題】指令値に対する移動量の誤差を抑えることができるボール螺子熱変位補正装置を提供する。
【解決手段】軸長方向に沿って延びると共に中心軸心Ｐ１の回りで回転可能なボール螺子２と、ボール螺子２を回転可能に支持する支持部をもつ固定部と、ボール螺子２に接続され前記ボール螺子２を中心軸心の回りで回転させる駆動部５と、ボール螺子２に係合されボール螺子２の回転に伴い軸長方向に沿って移動する可動部６と、可動部６に保持され可動部６と共に軸長方向に沿って移動する可動側衝突子７と、固定部４において可動部６の前進端側に設けられ、可動部６と共に軸長方向に沿って移動する可動側衝突子７と衝突可能な固定側衝突子８と、可動側衝突子７および固定側衝突子８の衝突に基づく衝突変位量を求め、衝突変位量に基づいて可動部を移動させる補正移動量を設定する制御部９とを有する。 （もっと読む）

【課題】制御対象の角度又は位置を目標値へ向けて動作制御する制御系の制御パラメータの適切な値を、より容易に求めることができるようにする。
【解決手段】制御パラメータ生成部１２４は、開ループ周波数特性におけるゼロクロス周波数ｆ_xから位相進み遅れフィルタの制御パラメータの暫定値を決定し、開ループ周波数特性に基づき、ゼロクロス周波数が目標とするｆ_xに一致するよう制御器ゲインＫ_pを設定し、ユーザに、条件安定のゲイン余裕が１２ｄＢとなるように低域ブースタのゲインを決定させ、さらに、位相余裕が３２°以上となるよう位相遅れ周波数を変更させて全体の微調整を行わせる。本発明は、例えば、記録再生装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】
ステージを目標位置に高精度に位置決めを行い、かつ位置決め終了時の残留振動を低減することが可能なステージ位置決め装置を提供する。
【解決手段】
モータ駆動手段からステージの位置を出力するレーザ測長計までを、速度指令入力から位置を出力する一つの制御対象としてみなし、この制御対象に速度指令を入力し、制御対象の周波数特性を取得する。得られた周波数特性から、ステージの固有周波数および除去したい周波数帯域を決定し、速度指令フィルタを設定する。通常時のステージ駆動は、ステージの現在位置と目標位置指令の差分を用いて、制御部により第１の速度指令を算出する。第１の速度指令を速度指令フィルタに通すことで、特定の周波数帯域を除去した第２の速度指令を算出する。この制御対象に第２の速度指令を入力する。 （もっと読む）

【課題】数値制御機械等において、制御部へ正確なデータを伝送する位置測定装置を提供する。
【解決手段】位置測定装置は、位置測定ユニット１０、速度測定ユニット２０、算術ユニット３０、及びインターフェースユニット４０を持つ。位置測定ユニット１０で２つの測定値（Ｐ；Ｐｎ；Ｐｎ−１）が測定され、速度測定ユニット２０で物体の移動値ｖが算出される。算術ユニット３０は測定値（Ｐ；Ｐｎ；Ｐｎ−１）及び移動値ｖが供給されて、シーケンス電子部１００における実際の測定値（Ｐ；Ｐｎ；Ｐｎ−１）の測定間の時間間隔を特定し、移動値ｖの訂正値Ｋを算出する。そのために、訂正値Ｋのデータワード幅が、移動値ｖのデータワード幅より実質的に小さい。 （もっと読む）