【課題】送り軸駆動系の剛性が低下した場合に、低周波の振動が発生せず、安定に動作させる位置制御装置を提供する。
【解決手段】移動平均段数変更器１６は、位置偏差Ｐｄｉｆの変動に基づき、移動平均器３の移動平均段数Ｎ２を変更する。移動平均段数変更器は、位置偏差をＦＦＴ演算器にて周波数解析し、スペクトラム最大値を算出する。算出されたスペクトラム最大値が予め設定した比較値を超えた場合に、移動平均段数変更器は、移動平均段数を増加させる指令を移動平均器３へ出力する。移動平均器３は移動平均段数をＮ２からＮ２’へ変更して移動平均処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 サーボ制御の制御応答性を高め、制御装置の各軸の特性に応じて、制御演算部をサーボアンプ又はサーボコントローラに分配可能なサーボドライブシステムを提供する。
【解決手段】 本発明のサーボドライブシステムは、軸毎にサーボモータを制御するサーボ制御部が、サーボモータの指令を生成するプロファイル生成部と、サーボモータの位置を制御する位置制御部と、サーボモータの速度を制御する速度制御部と、サーボモータのモータ電流を制御する電流制御部と、を有し、プロファイル生成部、位置制御部、速度制御部及び電流制御部は、軸毎にサーボアンプ又はサーボコントローラにそれぞれ分配されている。 （もっと読む）

【課題】精密測定装置に振動等が発生した場合に位置決め制御装置の制御ゲインを調整する際、その調整時間の短縮化、及び、ゲイン調整に掛かる労力の軽減化を図ること。
【解決手段】位置決め制御装置１００は、位置補償部１０、速度補償部２０、電流補償部３０、設定テーブル４０及びゲイン選択手段５０を有する。位置補償部１０は目標位置及び検出位置の位置偏差を得て、これに基づき目標速度を制御する。速度補償部２０は、目標速度及び検出速度の速度偏差を得て、これに比例ゲインＫｐを掛けた値及び速度偏差の積分に積分ゲインＫｉを掛けた値の加算値をモータの目標電流として出力する。電流補償部３０は、目標電流及びモータの検出電流の電流偏差を得て、これに基づいて駆動電流を制御する。ゲインＫｐ、Ｋｉの設定値の組合せが複数通り設定テーブル４０に記憶されており、選択手段５０で選択された組合せに各ゲインが書き換えられるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 サーボモータに同期して稼動する外部装置に対して作動を指示するトリガ信号を高精度に出力することが可能なトリガ発生装置を提供する。
【解決手段】 位置検出器のサンプリング開始からトリガ信号を発生させるタイマ設定時間を算出するまでに要する時間をサーボ側遅延時間とし、トリガ発生装置がトリガ信号を出力してから外部装置が作動を開始するまでに要する時間を外部装置側遅延時間とするとき、本発明のトリガ発生装置は、サーボモータの位置情報から算出された外部装置が作動開始位置に到達するまでの到達所要時間からサーボ側遅延時間及び外部装置側遅延時間を減算してタイマ設定時間を算出するタイマ設定時間算出部と、タイマ設定時間に基づきトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】位置決め精度の向上に有利な技術を提供する。
【解決手段】位置決め装置は、ステージと、ベースと、前記ステージと前記ベースとの間に配置されていて、ばね性を有する支持部で前記ステージを支持する支持機構と、前記ステージを駆動するように前記ステージと前記ベースとの間に配置されたアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御部とを備える。前記制御部は、目標位置に対する前記ステージの位置偏差と、前記ステージと前記ベースとの相対位置の変動量とに基づいて、前記位置偏差が低減され、かつ、前記支持部の前記ばね性によって前記ステージに作用する力の少なくとも一部が打ち消されるように前記アクチュエータを制御する。 （もっと読む）

【課題】新たなハードウェアを必要とせず、タクトタイムを変化させることなく、振動を抑制する。
【解決手段】パラメータ生成部１０２は、基準距離について、予め定めた移動時間毎に、可動部の加速度軌道から共振周波数に対応する周波数成分を除いた軌道を計算するためのパラメータを生成する。データベース１０３は、パラメータ生成部１０２から供給されたパラメータを記憶する。パラメータ決定部１０４は、可動部の加速度軌道から共振周波数に対応する周波数成分を除いた軌道を計算するためのパラメータを決定する。軌道計算部１０５は、決定されたパラメータから軌道を計算する。本発明は、ロボットを制御する制御装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】加減速の影響により送り速度が過渡的に変化するような場合でも軌跡誤差を抑制できる軌跡制御装置を得ること。
【解決手段】軌跡制御装置は、機械の可動部が複数の可動軸により駆動され、前記複数の可動軸を同時制御することにより前記可動部の軌跡を制御する軌跡制御装置であって、与えられた指令経路に対して補間・加減速を行う補間・加減速演算部と、前記補間・加減速された指令経路に応じて、前記複数の可動軸の位置指令を生成する軸分配部と、前記複数の可動軸の位置指令と前記補間・加減速された指令経路とに基づいて、軌跡誤差を補正するための補正ベクトルを演算する補正ベクトル演算部と、前記演算された補正ベクトルを用いて前記複数の可動軸の位置指令を補正する位置指令補正部と、前記複数の可動軸の位置が前記補正された複数の可動軸の位置指令に追従するように、前記複数の可動軸を同時制御するサーボ制御部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】スライディングモード制御により波動歯車装置の非線形特性を補償するアクチュエータの位置決め装置を提案すること。
【解決手段】位置決め装置のスライディングモード制御器は、位置指令θ_ｌ^＊、制御対象を表す状態変数ｘを入力として制御対象への制御入力ｕを生成する。制御対象は次式で規定する。


スライディングモード制御系の切換面は設計変数Ｓで規定する。


制御入力ｕは、σを切換関数、ｋを切換ゲイン、として、線形状態フィードバック制御項ｕ_ｌと非線形制御入力項ｕ_ｎｌの和である。
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【課題】フルクローズド位置制御に於いて、送り軸機構部の剛性が低下した場合でも、低周波の振動が発生することなく、安定に動作させる位置制御装置を提供する。
【解決手段】被駆動体の位置検出値Ｐｌとモータの位置検出値Ｐｍの差分を入力とした１次遅れ回路１７の出力と、モータの位置検出値Ｐｍを加算した位置検出値を位置フィードバック値として使用する位置制御装置において、経年変化補正器３０が被駆動体の振動を検出した場合に、前記１次遅れ回路１７の時定数Ｔｐが大きくなるように可変することで低周波振動の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】少ない演算量で機械の振動を抑制することが可能な指令発生装置の設計方法、指令発生装置の製造方法、指令発生方法、指令発生装置、モータ制御装置の製造方法、及びモータ制御装置を提供する。
【解決手段】指令発生装置２０の設計方法は、関数ａ（ｔ）を設定するステップと、関数ａ（ｔ）をラプラス変換して関数Ａ（ｓ）を求めるステップと、極を定める減衰係数がそれぞれ０、かつ極を定める固有角周波数が、それぞれ関数ａ（ｔ）に含まれるパワーが０の異なる周波数ωｓであり、零点が、それぞれ複数の振動成分をもつシステムの各振動極であり、定常ゲインがそれぞれ１となる複数の２次の伝達関数Ｇ１（ｓ）〜Ｇｎ（ｓ）（ｎは自然数）を設定するステップと、関数Ａ（ｓ）と伝達関数Ｇ１（ｓ）〜Ｇｎ（ｓ）とを乗じて関数Ｆｂ（ｓ）を求めるステップと、関数Ｆｂ（ｓ）を逆ラプラス変換して関数ｆｂ（ｔ）を求めるステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】制御性能を向上させる制御装置、および測定装置を提供する。
【解決手段】駆動制御回路３は、測定子を変位させる駆動機構２５を駆動制御し、駆動機構２５に流れる電流を検出する電流検出センサ２７と、駆動機構２５を駆動させる駆動速度に応じた目標電流を設定する速度制御部３２と、目標電流および電流検出センサ２７により検出された検出電流の電流偏差に、積分ゲインおよび比例ゲインをかけて駆動機構２５に出力する出力電流を設定する電流制御部３３と、を具備し、電流制御部３３は、駆動機構２５の駆動速度に応じて、積分ゲインおよび比例ゲインのうちの少なくともいずれか一方を切り替える。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータが備える変位部材の移動距離及び移動時間を設定するだけで、変位部材の詳細な動作を決定し、該変位部材を精度よく変位させる。
【解決手段】アクチュエータ用駆動制御装置１０は、変位部材１６の移動距離を設定する移動距離領域３０と、移動時間を設定する移動時間領域３２と、移動距離及び移動時間に基づいて任意のタイミングにおける変位部材１６の変位量又は変位速度の目標値を演算する目標値演算部４０と、変位部材１６の変位量又は変位速度の目標値に基づいて駆動電力Ｐを生成して、該駆動電力Ｐをアクチュエータ１２に送る駆動制御部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ダブルナット予圧方式の送り駆動機構においても低速から高速の領域まで摩擦力又は摩擦トルクを高精度で推定して象限突起を補正できる数値制御装置及び摩擦補償方法を提供する。
【解決手段】本発明の数値制御装置はオーバーサイズボール予圧方式だけでなく、ダブルナット予圧方式の送り駆動機構においても低速から高速の領域まで摩擦力又は摩擦トルクを高精度で推定する。故に数値制御装置は象限突起を補正できる。象限突起は指令軌跡よりも移動軌跡が外側に出る現象である。ダブルナット予圧方式の送り駆動機構はボール螺子軸が反転して一山目の象限突起を生じる。ダブルナット予圧方式の送り駆動機構はテーブルが反転後所定量移動した時に更に二山目の象限突起を生じる。数値制御装置はダブルナット予圧方式の時に二段階で生じる摩擦力の上昇を二つの近似式を用いて高精度に推定できる。 （もっと読む）

【課題】 ４つの各駆動ユニット同士の機械的な姿勢の干渉による過剰な出力を防止する。
【解決手段】 ベース１と上部プレート２との間における上部プレート２の一方の対角位置と対応する２個所に、ＸＹθガイド４とＸ軸方向のボールねじ直動機構６からなるＸ軸方向駆動ユニット３ｘを介装し、上部プレート２の他方の対角位置と対応する２個所に、ＸＹθガイド４とＹ軸方向のボールねじ直動機構６からなるＹ軸方向駆動ユニット３ｙを介装する。リニアスケール１３の検出値に基づくフィードバック制御を行うＸ軸方向駆動ユニット３ｘに比して、Ｙ軸方向駆動ユニット３ｙは、ボールねじ直動機構６のサーボモータ１２に設けたモータエンコーダ１６による検出値に基づくフィードバック制御を行うことでサーボ剛性が小さくなるようにして、姿勢干渉による推力上昇分をＹ軸方向駆動ユニット３ｙで機械的に吸収させる。 （もっと読む）

【課題】負荷側モータ（エンジン）の回転数制御と駆動モータ（動力計）の軸トルク制御の干渉を抑制した軸トルク制御ができる。
【解決手段】軸トルク制御器は、エンジンが速度制御されている場合に動力計に対するトルク外乱を外乱オブザーバ２１により推定して動力計のトルク指令値にフィードバックすることにより動力計の加速度制御系を構成する。さらに、軸トルク検出値または軸トルク推定値を共振比制御理論に基づいて決定されるゲインＫｒ（２８）で動力計の加速度指令値にフィードバックし、さらにまた、動力計の速度検出値ω２を所定の共振抑制効果が得られるように決定したゲインＫｖで動力計の加速度指令値にフィ−ドバックし、及び、軸トルク指令値に軸トルク検出値が追従するように比例積分制御系２３を構成する。 （もっと読む）

【課題】 複数のモータで同一方向の座標軸を駆動する機械に対して、汎用的な電機品を用いて各軸間相互に加わる無効反力を抑制すると共に、作業位置に対する同期制御を高精度に行なう同期制御装置を提供する。
【解決手段】 位置指令１２１を生成する位置指令生成部２１と、２台の位置情報１３１，１４１に基づいてＸＹ軸座標系である作業位置１２２を演算し、位置指令１２１と作業位置の一方の軸座標系位置１２２との差に基づいて新たな位置指令１２５を演算する第１の位置制御系を有する指令装置２と、新たな位置指令１２５と位置情報１３１，１４１との差に基づいてモータを駆動する指令を演算する第２の位置制御系をそれぞれ有する２台のモータ制御装置３，４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】像担持体と中間転写体との間の同期誤差を低減して、色ずれ等の画像不良の発生を低減する。
【解決手段】像担持体と中間転写体とを同期制御する際、同期補償器４４は像担持体の検出位置と中間転写体の検出位置との間の同期誤差に応じて像担持体及び中間転写体を駆動する際の第１及び第２のトルク補償量を求める。ドラム位置制御器４２は像担持体の検出位置とその目標位置との偏差である第１の位置偏差に応じて第１のフィードバック量を生成する。ベルト位置制御器４３は中間転写体の検出位置とその目標位置との偏差である第２の位置偏差に応じて第２のフィードバック量を生成する。加算器５１は第１のトルク補償量と第１のフィードバック量とに応じて像担持体を駆動制御する。減算器５０は第２のトルク補償量と第２のフィードバック量とに応じて中間転写体を駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度位置決めを実現できるステージ装置，それを用いた荷電粒子線装置及び縮小投影露光装置，およびステージ制御方法を提供することにある。
【解決手段】ステージ装置は、ステージ１０を駆動するモータ３０と、モータにより駆動されるステージの位置が最終目標位置となるような前記アクチュエータの駆動量を算出するステージ制御演算器１００を有する。ステージ制御演算器１００は、ステージの目標位置とステージの位置の差分に基づいて、ＰＩＤ制御する補償演算器１２０を有する。また、ステージの特性を同定するモデル同定器１３０と、モデル同定器によって得られた情報を基に、補償演算器におけるステージ制御用補償パラメータを演算する制御ゲイン演算器１４０を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の位置決めでは、位置決めする際の整定範囲をゼロとして目標値に位置決めさせた場合、被駆動体がモータにより目標値に位置決めされた後もモータが常に小刻みに振動したり、外乱により被駆動体が整定範囲外に移動してしまう問題が発生する可能性があった。
【解決手段】位置センサが検出した位置決めステージが位置する現在値が第１の整定範囲内の場合は、位置決めステージの整定範囲を第２の整定範囲内に変更し、位置センサが検出した位置決めステージが位置する現在値が第１の整定範囲外の場合は、再度位置決めステージを第１の整定範囲内に位置するように移動させる。 （もっと読む）