【課題】液化ガスの再液化を防ぎながら液化ガスの流量を精密に制御可能なマスフローコントローラーを提供する。
【解決手段】実施形態のマスフローコントローラー１００は、流入口１１から流入した液化ガスを分流するセンサー用配管１３とバイパス配管１４と、前記センサー用配管を覆うように配置された熱式センサー７と、前記センサー用配管を覆って前記センサー用配管と共に二重配管を形成し、前記センサー用配管および前記バイパス配管に連通する断熱領域１５と、前記連通を遮断して前記断熱領域を閉鎖領域とする閉鎖バルブ１と、を備える。実施形態のマスフローコントローラーは、前記センサー用配管と前記バイパス配管とから合流した前記液化ガスの流出口１２と、前記熱式センサーの検出結果に基づいて前記流出口から流出する前記液化ガスの流量を制御する制御手段と、前記各部位の全体を下方から加熱するヒーター２と、をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】異なる液温の液体が収容された２つのタンクにおける急激かつ大幅な液位変化をなくして液体の温度調整を容易にすると共に、該装置をコンパクトかつ安価に設置できるようにする。
【解決手段】第１の液体Ｆ１が収容された外部タンク１の内部に、第２の液体Ｆ２が収容された内部タンク２を設置し、外部タンク１の内部又は内部タンク２の内部に下限液位センサ２８又は２５を配設し、該液位センサ２８，２５が液体の液位の低下を検出したとき第１の開閉弁２４又は第２の開閉弁２７を開放することにより、液位が上昇したタンク内の液体の一部を、外部タンク用液体循環路５及び内部タンク用液体循環路６を通じて液位が低下したタンク内に補給し、それによって両タンク１，２内の液位の変動を吸収する。 （もっと読む）

【課題】非製造調整ガスについての正確な質量流量コントローラ流量データを提供する方法を提供すること。
【解決手段】質量流量コントローラは、５０％超の設定点において動作させてもよい。データは、質量流量コントローラメモリに記録されてもよい。設定点は次いで、０％に変えられてもよい。記録されたデータは次いで、分析され、１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータが、計算されてもよい。１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータは、質量流量コントローラメモリに保存されてもよく、その後に非製造調整ガスを伴う少なくとも１つの将来の質量流量コントローラ動作において使用されてもよい。 （もっと読む）

【課題】制限フロー構成要素によって生成される圧力低下に基づいて、フロー速度を測定するための流体フロー測定および制御デバイスを提供する。
【解決手段】本発明のデバイスは、流体入り口および流体出口を有する比例フローバルブ１０、ならびにこの比例バルブ１０を調節するためのアクチュエータ１７を備える。この制限フロー要素１５は、この比例フローバルブ１０と連絡状態にある流体入り口および流体出口を備え、制限フロー構成要素の流体入り口と出口との間での圧力低下を生成する。このデバイスはまた、圧力低下を測定するための手段２４，２５、圧力低下に基づいてフロー速度を計算するための手段１６、ならびに測定された圧力低下に応じて比例フローバルブ１０を通じて流体のフローを制御するために圧力低下測定手段２４，２５、およびアクチュエータ１７と連絡する制御手段（示さず）を備える。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの使用範囲温度を超える温度の流体でも制御可能な圧電駆動式バルブ及び圧電駆動式流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体流路１ｂを開閉するための弁体２と、圧電素子の伸張を利用して弁体２を開閉駆動するための圧電アクチュエータ１０と、圧電アクチュエータ１０を流体流路１ｂから遠ざけるように持上げ支持するとともに、流体流路１ｂを流れる流体から圧電アクチュエータ１０へ伝わる熱を放熱するための放熱スペーサ４０と、を備え、さらに、好ましくは、圧電アクチュエータ１０及び放熱スペーサ４０の双方を収容して支持する支持筒体２３Ａと、を有し、支持筒体２３Ａは、少なくとも放熱スペーサ４０を収容する部分が放熱スペーサ４０と同じ熱膨張係数を有する材料で形成されていることとした。 （もっと読む）

【課題】流体中の同一点の流体圧力と流体温度を同時に測定してオリフィス通過流量を高精度に制御できる圧力式流量制御装置を実現する。
【解決手段】圧力式流量制御装置に於いて、圧力センサ及び温度センサを、受圧面に形成した４個の抵抗を４辺とするブリッジ回路の入力端子間に定電流電源を接続してその出力端子間の電圧変化で流体圧力を検出すると共に、入力端子間の電圧変化で流体温度を検出する構成の温度と圧力を同時に検出する一つの圧力温度センサ１０とし、流体温度Ｔに対応した補正を行ってこれを流体圧力Ｐ_１に変換すると共に、温度変換手段からの流体温度Ｔに対応して流量演算式の比例定数Ｋの温度補正を行うガス温度補正手段と，補正後の後の演算流量Ｑ_Ｃと設定流量Ｑ_Ｓとの差を制御信号としてコントロールバルブへ出力する比較回路と，から構成する。 （もっと読む）

【課題】電磁駆動部により吐出される流量を目標流量通りに確保することが可能な流量制御装置を提供すること。
【解決手段】制御部１４は、温度計９にて測定されたプロセスポンプ８に吸引される液体燃料の温度及び温度計１０にて測定されたプロセスポンプ８の周囲温度に基づいてプロセスポンプ８の温度変化を算出し、当該温度変化に基づいて、液体燃料供給ラインＬ２における液体燃料の流量が実際の目標流量となるようにプロセスポンプ８の吐出流量を補正している。また、制御部１４は、温度計１２にて測定されたバーナポンプ１１に吸引される液体燃料の温度及び温度計１３にて測定されたバーナポンプ１１の周囲温度に基づいてバーナポンプ１１の温度変化を算出し、当該温度変化に基づいて、バーナ用燃料供給ラインＬ３における液体燃料の流量が実際の目標流量となるようにバーナポンプ１１の吐出流量を補正している。 （もっと読む）

【課題】一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができ、正確で安定した圧力測定を行うことができる差圧式流量計を提供するとともに、この差圧式流量計を用いた流量コントローラを提供すること。
【解決手段】圧力測定を行う流体が流れる流体主流路１２が形成されたボディ２４と、前記流体主流路１２に対して直列に配置されるとともに、前記ボディ２４に保持される２つの圧力センサ２１Ａ，２１Ｂとを備え、前記２つの圧力センサ２１Ａ，２１Ｂの下方に位置する前記ボディ２４に形成された凹所内に、熱伝導性に優れた材料からなる温度バランサー２７が収容されている。 （もっと読む）

【課題】低電流域であっても、熱損失を増加させることなく、比例電磁弁に流れる電流と目標電流との乖離を抑制する。
【解決手段】比例電磁弁Ｖを駆動するための駆動指令値を、比例電磁弁Ｖに流すべき目標電流を示す電流指令値Ａに変換する電流変換手段１０，１２と、少なくともディザ電流の振幅指令を含むディザ指令値Ｂを決定するディザ指令手段１４，１６と、比例電磁弁Ｖ内に流れる電流を検出する電流モニタ部２４と、電流変換手段１０，１２が出力する電流指令値Ａ、及び前記ディザ指令手段１４，１６が出力するディザ指令値Ｂ及び電流モニタ部２４が出力するモニタ電流Ｉに基づいてＰＷＭ信号を生成するＰＷＭ信号生成部１８と、モニタ電流Ｉと電流指令値Ａとを比較する比較部２６と、を備え、ディザ指令手段１４，１６は、比較部２６による比較の結果により、ディザ電流の振幅指令値を調整する。 （もっと読む）

低い流入圧力において広い流量検証範囲にわたって高い測定精度をもたらす高精度質量流量検証器（ＨＡＭＦＶ）が、流体送達デバイスによる流量測定値を検証するために開示される。ＨＡＭＦＶは、上流バルブを有する複数Ｎの流入口を画定するチャンバ、１つの下流バルブを有する１つの流出口、チャンバ内の流体圧力を測定するように構成される圧力センサ、およびチャンバ内の流体温度を測定するように構成される温度センサを備える。複数Ｎの臨界流ノズルが、対応する上流バルブに隣接して配設される。ＨＡＭＦＶは、所望の流量検証範囲および流体の種類に基づいて、対応する上流バルブを開き、他の全ての上流バルブを閉じることによって、複数Ｎの臨界流ノズルの１つを起動するように構成されるコントローラをさらに備える。複数Ｎの臨界流ノズルの少なくとも２つは、異なる断面積を有する。 （もっと読む）

【課題】比熱が変動するガスの流量を正確に測定し制御する。
【解決手段】導管を通るガスの流量を調節するための弁手段５、この弁手段を駆動するための駆動手段９、導管を通るガスの流量を測定するための体積流量計７を有し、この流量計が、設定点信号１７との比較のためにフィードバック信号２９を提供する。設定点信号は、設定点信号発生手段１９により発生され、それは所望の流量に対応する値を入力するためのポテンショメーター２１と、以前の設定点から所望の設定点への変更を体積流量計に固有の応答の遅れを保証するのに十分な時間遅らせてガス流量を滑らか且つ安定に制御するための、抵抗器２５及びキャパシタ２７からなるスローダウン回路２３を含む。ポテンショメーターはディジタルポテンショメーターであって、その電圧は回転エンコーダーの独立した操作により変えることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れる流体の流量制御の精度を検定することが可能な流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路４の流量を流量設定値になるようにバルブ駆動制御情報を流量制御弁機構７に出力する制御手段８と、流体の流量を検出する流量検出手段５と、流体の圧力を検出する圧力検出手段６とを備えている。制御手段８は、流量制御弁機構７にバルブ駆動制御情報を出力したときに、出力したバルブ駆動制御情報と流路の流量との関係を示す情報を、流路の流体の圧力に関連付けして記憶したバルブ特性情報Ｋを予め備えている。流量の制御中に、流量設定値と圧力検出手段６が検出した圧力値とに関連付けされる基準となるバルブ駆動制御情報を、バルブ特性情報Ｋを参照して求め、この求めたバルブ駆動制御情報と制御手段８が流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報との差異量を流量制御の検定情報としている。 （もっと読む）

【課題】 制御対象となるガスの種類や性状によらず、そのガス流量を高精度に制御できる質量流量制御装置および実ガスの質量流量制御方法を提供する。
【解決手段】 実ガスが流入する流入管部２と、実ガスの温度を検出する温度センサ７と、実ガスの圧力を検出する圧力センサ８と、実ガスの質量流量を検出する流量センサ５と、実ガスの流量を制御する流量制御弁６と、各センサの出力に基づいて流量制御弁６の開度を調整する制御回路９と、を有する質量流量制御装置１であり、制御回路９は、圧力と温度に依存し、校正ガスの流量に対する実ガスの流量の比率である環境補正係数により補正された流量設定値と流量センサ５からの流量信号を比較するディジタル演算回路１０を有する。 （もっと読む）

【課題】圧力変化による流体の変化量を低減させることを可能とする流体制御装置を実現する。
【解決手段】流体の微小流量を制御する流体制御装置において、膜により区切られた第１及び第２の微小流路を有するマイクロチップと、前記第１の微小流路を介して流入される流体を前記第２の微小流路に流出させると共に圧力損失を発生させる圧力損失発生部とを備え、前記膜が、前記流体に発生した前記圧力損失に応じて前記第１及び第２の微小流路の断面積をそれぞれ変化させる。 （もっと読む）

【課題】圧力及び質量流量の両方を反映させるとともにタンク容積の変化も考慮した高精度の検定を行う質量流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路6の最上流に設けられた検定用バルブ42と、質量流量制御バルブ機構10と、質量流量制御バルブ機構10より上流側の流路6に設けられたタンク44と、質量流量検出手段8と、圧力検出手段46と、質量流量制御バルブ機構10を制御する手段18と、質量流量検定制御手段48とを有する質量流量制御装置を検定する方法であって、(1) 流路6に設定質量流量の流体を流し、(2) 流体の質量流量が設定質量流量と一致するように質量流量制御バルブ機構10の開度を保持し、(3) 検定用バルブ42を閉じ、(4) タンク44から流出する流体の流れが安定化した後で流体の圧力及び質量流量を測定し、(5) 初期状態において同じ手順で測定しておいた基準の圧力及び質量流量に対する圧力及び質量流量の変化率を求め、(6) 変化率に応じて検定を行う方法。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、混合流体の連続的流動生成のためのシステム（１００、３００、５００）、および方法を提供する。該混合流体は、異なる流体の混合物、または温度等の異なる流入特性を有する、同一の流体の混合物を含み得る。さらに、本発明の実施形態は、アナログ設定点を多重化するためのシステム（９００、１１００）、および方法を提供する。第１の流体の流れを制御するための、第１の流量コントローラと、第２の流体の流れを制御するための、第２の流量コントローラと、第１の流量コントローラおよび第２の流量コントローラと流体連通し、かつそれらの下流にある第１のミキサであって、第１および第２の流体を混合し、第１の混合流体を生成する第１のミキサと、第１の混合流体の温度を測定するための、第１のミキサの下流にある、第１の温度センサとを備えた流体混合システムが提供される。
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流量を算出するために時間の関数としてガスの圧力低下を測定する流量調節器の内部独立式等温検査体積部は、内部に蓄熱部を有する。蓄熱部は、既知体積部の中を流れるガスが定常流状態のときに蓄熱部の温度をガス温度と等温にするとともに、ガスが膨張するとき、検証過程中の外部からの影響を最小限度に抑制しつつ、ガス温度を一定に維持するための熱の伝導を実施するために周囲からの影響を受けないよう隔離されている。
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【課題】 極めて小型の構成によって、加圧された流体を微小定流量の流量に制御、供給することを可能にする超小型減圧流量制御装置を提供する。
【解決手段】 超小型減圧流量制御装置１００は、流体を流して流体の圧力を低減させる第１微細流体流路１と、第１微細流体流路１に連結され、第１微細流体流路１からの流体を流すためのＮ本（Ｎは２以上の整数）の第２微細流体流路３と、各第２微細流体流路３にそれぞれ設けられたマイクロバルブ２と、各第２微細流体流路３からの流体を合流させて外部へ排出するための流体集積流路４とを備える。 （もっと読む）