【課題】バルブを駆動するネジ部に生ずる咬み込みの問題を解消するとともに、装置の小型化を図ること。
【解決手段】バルブに連結されたステッピングモータ５と、ステッピングモータ５を制御するモータ制御装置６とを備え、モータ制御装置６は、パルスモータへ駆動パルスを与えるモータ制御部６６と、パルスモータ５に与えられた駆動パルス数をカウントするカウント部６７と、モータ制御部６７の駆動電源６１の電圧低下を検出する電圧低下検出部６５と、電圧低下検出部６５により電圧低下が検出された場合に、カウント部６７のカウント値を不揮発性メモリ６４に書き込む書き込み部６８とを具備するバルブ制御装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】目標流量に自動的に調整することができる流量制御システムを提供すること。また、流量が目標流量から外れたときに目標流量に自動的に復帰させることができる流量制御システムを提供すること。
【解決手段】流量制御システム１０は、流量センサ１０１と、流量センサ１０１で測定される測定値が目標値になるように、流量センサ１０１の出力に基づいて流量制御弁５０の開度を可変制御する制御回路１０２とを備える流量コントローラ１００と、流量コントローラ１００への流体供給をＯＮ／ＯＦＦ制御する開閉弁１２と、開閉弁１２および流量コントローラ１００を制御するコントローラ１４とを有し、コントローラ１４から制御回路１０２に対して弁開度保持信号が入力されている間、制御回路１０２は、流量センサ１０１の出力に基づく流量制御弁５０の開度可変制御を停止し、弁開度保持信号が入力された時点における流量制御弁５０の開度を保持する。 （もっと読む）

【課題】 主観的要因を排除し、客観的な事象に基づくデータにより、制御ループ健全でない場合の要因の特定を可能とする、制御ループ診断装置を実現する。
【解決手段】 測定流体が流れる管路に調節弁が挿入され、前記測定流体の流量の測定信号を用いて制御演算を行い、演算で求めた制御信号で前記調節弁を制御する制御ループの健全性を診断する制御ループ診断装置において、
前記測定信号、前記制御信号及び前記調節弁の開度信号を監視データとして取得して保持する入力処理手段と、
この入力処理手段より前記監視データを読み出し、各監視データの変化傾向のパターンの組み合わせを監視する変化傾向監視手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 真空容器内を排気し、その後ガスを導入して一定の流量とガス圧に制御するような場合に、容易に制御出来る圧力・流量コントロールシステムを提供する。
【解決手段】圧力と流量の両方をセンシングできるセンサチップと、センサチップからの信号を設定値と比較して設定圧力・流量に制御するためのコントローラと、コントローラからの制御信号により圧力・流量を制御するコンダクタンスバルブとニードルバルブとで圧力・流量自動制御システムを構成した。
センサチップは、シリコン基板を用いて製作される。基板から熱分離された薄膜上に、薄膜ヒータと１個以上の温度センサを集積化させる。温度センサを用いて圧力または流量変化による温度差を検出できる。時分割で測定すれば、圧力・流量を１個のセンサチップで測定出来る。 （もっと読む）

【課題】 取り扱いが容易で、汎用性の高い流量コントローラ、これに用いるレギュレータユニット、バルブユニットを提供する。
【解決手段】 流量コントローラ１０を、レギュレータ２１と第１圧力センサ２２とを有するレギュレータユニット１１と、第２圧力センサ３１と流量制御弁３２とを有するバルブユニット１２と、レギュレータユニット１１およびバルブユニット１２に対して着脱可能にして接続されてレギュレータユニット１１とバルブユニット１２とを接続する流体流路およびオリフィスを構成するオリフィスユニット１３とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】特に半導体製造等に使用される流量調節弁に関し、ダイヤフラムの膜部の応力を小さくしてヒステリシスエラーを低減させることにより、弁部の開閉時における作動の再現性を実現し、制御の応答性や安定性を向上させることができる空圧式流量調節弁を提供する。
【解決手段】弁座２５をシールする弁部３５と第１開口側２１に配された第１ダイヤフラム４０と第２開口側２２に配された第２ダイヤフラム５０とを一体に有する弁機構体３０が配置され、第１，第２ダイヤフラム４０，５０を加圧手段６０，７０によって弁室２０方向に加圧して流量を制御するようにした弁において、第１，第２ダイヤフラム４０，５０の外周をサポートリング４５，５５によって挟持して、第１，第２ダイヤフラム４０，５０のダイヤフラム部の膜部最大径Ｌ１，Ｌ２と膜部最小径Ｓ１，Ｓ２を２分した位置での中間直径距離Ｍ１，Ｍ２をオリフィス径Ｏの約０．５〜２倍の範囲内とした。 （もっと読む）

本体の中に、流入室と、流出室と、前記流入室と前記流出室の間に配置され、一方の側で前記流入室の圧力を受けるとともに他方の側で前記流出室の圧力を受けるピストンとを含み、前記ピストンは前記流入室に向って変位した第１の位置および前記流出室に向って変位した第２の位置の間で可動であり、前記ピストンは前記第１の位置では前記流入室と前記流出室の間で流れを狭め、前記ピストンは前記第２の位置では前記流入室と前記流出室の間で流れを狭めず、さらに、前記ピストンを前記第１の位置に向って付勢する復帰ばねを含んでいる、流れの動的制御をする装置。本発明によれば、前記ピストンには前記流入室から前記流出室へ向って延びる貫通部が貫通しており、前記貫通部を貫流する流れを制限するための流量制限手段が設けられており、前記復帰ばねは、前記流量制限手段により許容される最大の流れが排出されるときに前記ピストンを前記第１の位置から前記第２の位置へ変位させようとする力に、その作用が実質的に一致するように設定されている。前記ピストンは、第１の端部では前記流入室の中に、また第２の端部では前記装置の本体に固定されたシリンダの中に、スライド可能なように取り付けられており、前記流出室と連通するとともに、前記流出室に対してアライメントされているのが好ましく、前記流量制御手段は定置のシリンダの中に取り付けられるのが好ましい。
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【課題】 生産用装置の稼働状況に応じて冷却水を供給することで冷却水の供給動力を省くことができるとともに、容易且つ安価に生産用装置に組み込むことができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】 生産用装置の一部をなすドライポンプ１１に供給された冷却水を回収する回収管Ｐ２には、冷却水の温度を検出する冷却水温度検出部２１及び流量連続制御バルブ２３が設けられている。バルブコントローラ２２は、ドライポンプ１１の動作を制御するドライポンプコントローラ２４からドライポンプ１１の動作開始を示す旨の状態信号Ｓ２が出力された場合に、予め設定されたプログラムに従って流量連続制御バルブ２３の開口度を制御する。また、状態信号Ｓ２が出力されてから所定時間経過後は、冷却水温度検出部２１の検出結果に基づいて流量連続制御バルブ２３の開口度を制御する。 （もっと読む）

【課題】ガス中に望ましくない成分が存在することを知らせるための手段を備えている減圧装置を提供する。
【解決手段】ガスボンベ、コンプレッサ又はガス発生装置のようなガス源１に接続するための入口側接続部と、別のガス管路系に接続するための出口側接続部とを備える減圧装置２が高圧チャンバと低圧チャンバとを備え、使用中に低圧チャンバ内のガス圧が高圧チャンバ内の圧力より低くなるようにこれらの高圧チャンバと低圧チャンバは減圧弁で相互に連結されており、減圧装置は交換可能な表示器用の接続部を備え、この接続部はガス源から来るガスが表示器を通って流れる。 （もっと読む）

【課題】水素ガスを充填する際，充填開始時初期の急激な圧力上昇をおさえ，ノズルと充填口周辺に生じる衝撃を緩和したガス供給装置およびガス供給方法を提供すること。
【解決手段】本発明のガス供給装置は，蓄ガス器ユニット１１と，蓄ガス器ユニット１１に貯蔵されたガスを自動車タンク４へ供給する供給ライン３５とを有するものであって，供給ライン３５に設けられた流量制御弁３１と，供給ライン３５における流量制御弁３１より下流の位置に設けられたガス開閉弁３３と，供給ライン３５における流量制御弁３１より下流の位置と蓄ガス器ユニット１１の上流側の位置とを結ぶ回収ライン４２と，回収ライン４２に設けられたガス開閉弁４１と，ガス開閉弁３３，４１の開閉を制御する制御装置３６とを有し，制御装置３６は，供給ライン３５による自動車タンク４へのガス供給の前または後に，ガス開閉弁３３，４１を開いて供給ライン３５を掃気する。 （もっと読む）

【課題】流量センサの測定値と設定ｐＨ値のイオン水を生成するために必要な流量とを比較して自動で原水の流量を調節することで利用者の手を煩わせることなく原水の流量調節ができ利便性に優れ、迅速に所望のｐＨ値のイオン水を得ることができ、原水の水圧の変化にも迅速に対応でき実用性に優れたアルカリイオン整水器及びその流量調節方法を提供することを目的とする。
【解決手段】一端が原水管２に水栓３を介して接続され他端が電解槽９に接続された給水管４と、給水管４に配設され給水管４の原水の流量を測定する流量センサ７と、を備えているアルカリイオン整水器であって、給水管４に配設された流量調節部５と、流量センサ７により測定された流量と設定されたｐＨ値のイオン水を生成するために必要な流量とを比較して流量調節部５を制御して給水管４の流量を調節する制御部１７と、を備えている。 （もっと読む）

本発明は時間ベース流量制御装置、より詳細には制御性及び制御精度に優れた機械的同期式流量制御装置に関する。本装置は、貯蔵槽１ａ、１ｂ、流入路１４、流出路２４、開閉手段３及び制御部を含む。開閉手段３は流体が通過する通路３ａを具備し、機械的サイクルをもって作動して、流出路２４が閉鎖された状態で流入路１４が開放され、また流入路１４が閉鎖された状態で流出路２４が開放されるように、機械的サイクルは通路３ａの位置変化に従って、通路３ａが流入路１４と連通して流入路１４を開放する流入路開放期間と、通路３ａが流出路２４と連通して流出路２４を開放する流出路開放期間を、位相差を置いて含む。制御部は、開閉手段３の開閉サイクル速度及び／又は開閉手段３の単位開閉サイクル当たりの貯蔵槽１ａ、１ｂに貯蔵及び放出される流体の質量又は体積を制御することで、貯蔵槽１ａ、１ｂから流出する流体の質量流量又は体積流量を制御する。 （もっと読む）

【課題】気泡の発生を防止または抑制して微小流量域における優れた測定精度の流量測定が可能となり、かつ流体や気泡の滞留が生じにくい流量計及びこれを用いた流量制御システムを提供すること。
【解決手段】出口環境が一定圧力の流体流路を流れる液体の微小流量を測定する流量計であって、流体流路１の出口側端部に接続され、流体流路１よりも流路断面積を小さく設定して出口環境を一定圧力とした所定長さの流量測定管路部５と、流体流路１の出口近傍に設置して流量測定管路部５の上流側で液体の圧力を検出する圧力センサ３と、圧力センサ３で検出した流体圧力から流量を算出する圧力検出制御部４とを具備して構成した。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なえるもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることなく、配管後の流量の設定変更や、流路の遮断が可能であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部８２に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、操作圧により流体の圧力を制御する定流量弁５とを具備し、流量計センサ部４と定流量弁５とが、流体流入口３と流体流出口６を有する１つのケーシング２内に接続されて設置されてなる。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なうもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることがなく、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２からの超音波を受信し信号を流量計アンプ部６４に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、流体の圧力を制御する圧力制御弁５とを有し、流量計センサ部４と圧力制御弁５とが、流体流入口３と流体流出口６とを有するケーシング２内に設置されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内等への設置、配管及び配線接続が容易であり、流体に腐食性流体を使用しても腐食が生じない流体制御装置を提供する。
【解決手段】超音波を流体中に発信する第一超音波振動子（１２）と、第一超音波振動子（１２）から発信した超音波を受信し、信号を流量計アンプ部（５８）に出力する第二超音波振動子（１３）とを有する流量計センサ部（４）と、操作圧により流体の流量を調節する調節弁（５）とを具備し、少なくとも流量計センサ部（４）と調節弁（５）とを、流体流入口（３）と流体流出口（６）を有する１つのケーシング（２）内に接続して設置する。 （もっと読む）

【課題】 流体に腐食性流体を使用しても各部品の腐食を防止でき、半導体製造装置内などへの設置および配管や配線接続が容易であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な、電気駆動による流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、電気式駆動部１１と流量制御部５からなる電動制御弁と、超音波を流体中に発信する超音波振動子１８と超音波振動子１９から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部９に出力する超音波振動子１８、１９を有する流量計センサ部４と、流量計センサ部４の信号によって流量を演算する流量計アンプ部９と、流量計アンプ部９で演算された流量値に基づいて電動制御弁の開度を調整しフィードバック制御するための制御部１０とを具備し、少なくとも流量計アンプ部９と制御部１０と電気式駆動部１１とを具備する電装モジュール７が１つのケーシング８内に設置される。 （もっと読む）

【課題】１次側の圧力変動だけでなく、２次側の圧力変動に対して優れた流量制御の応答性を発揮し、高精度の流量制御が可能になる液体用レギュレータを提供すること。
【解決手段】液体用レギュレータ１０は、空気等の気体による操作圧力を第１ダイアフラム１４に受けて弁開度の調整力を発生させる第１のダイアフラム室１６と、２次側から導入した液体の圧力変動を第２ダイアフラム１５に受けて弁開度の調整力を発生させる第２のダイアフラム室１７と、第１及び第２のダイアフラム室１６，１７で各々発生した調整力を受けて軸方向へスライドする軸部１２と、軸部１２と一体に動作して弁開度の調整を行う弁体１３と、第１のダイアフラム室１６と第２のダイアフラム室１７との間でお互いに干渉しないように遮断する仕切壁１１ａと、第１及び第２のダイアフラム室１６，１７間で流体の流通を遮断するベローズ２２とを具備して構成した。 （もっと読む）

【課題】
連続生産において電磁且つ機械特性における出来るだけ僅かな偏差を有する弁を提供すること。
【解決手段】
流体の流量を制御するのに適している電磁制御可能なアクチュエータを製造及び／又は調整する方法と装置は、アクチュエータが励起コイル（９）によって作動できる電磁装備を包含し、これが少なくとも一つの可動アーマチュア（６）を有し、そして電磁装備は機械的にアクチュエータを開閉する弁作動装置に作用し、弁作動装置が少なくとも一つの閉鎖要素（５）、励起コイルが励起されないと閉鎖要素を開放するか、或いは閉鎖するリセット要素と、閉鎖要素がアクチュエータを開放するか、或いは閉鎖するよう作用する弁座（４）を包含し、アクチュエータの少なくとも一つの電磁特性が測定され、測定された電磁特性自体或いは測定電磁特性から導かれた値は調整量を制御する実効値として使用されて、この調整量は直接にアクチュエータを製造或いは調整するよう考慮されることを特徴とする。
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流路に差圧を発生させ、半導体デバイスに用いられるガスの流量を制御する差圧式流量制御器が提供される。差圧発生要素は半導体デバイスの製造に用いられるガスの流路に差圧を発生させ、流路上のバイパスに設置される圧力センサは差圧を検出し、中央処理装置（ＣＰＵ）はガスの流量を測定および制御する。その結果、本発明は、ガスの流量を精密かつ迅速に制御することができるとともに、差圧発生要素自体のフィルタリング機能によってガスの純度を高めることができる。

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