【課題】複数の蓄熱タンクおよび循環ポンプを備えた温調ユニットの並設と、タンク内の液体を循環させる循環路を形成した、より安定した温度制御が可能な温度制御システムを提供する。
【解決手段】第１温度の液体を貯蔵する低温温調ユニット７４、第１温度より高い第２温度の液体を貯蔵する高温温調ユニット７５、低温温調ユニットからの流体を流す低温流路７６、高温温調ユニットからの流体を流す高温流路７７、流体を循環させるバイパス流路７３、合流部ＰＡにて低温流路、高温流路及びバイパス流路の３流路から合流した流体を流す結合流路７１、結合流路から流体を流し、半導体製造装置１００に用いられる部材を冷却又は加熱する調温部７０、合流部の上流側にて前記３流路に取り付けられた可変バルブ７９の弁開度を制御し、前記３流路の流量分配比率を調整する制御装置９０を有する温度制御システム１が提供される。 （もっと読む）

【課題】光学素子の中心部分の温度を精度よく制御できる温度制御装置を提供する。
【解決手段】第１の主面及び第１の主面と対向する第２の主面を有する光学素子の温度制御装置であって、第１の主面に一定の接触熱抵抗で接する第１の筐体と、第１の筐体と第１の主面とが接する面積と等しい面積で、第２の主面に一定の接触熱抵抗で接する第２の筐体と、第１の筐体の温度を調整する温度調整素子と、第１の筐体の温度を測定する第１の温度測定素子と、第２の筐体の温度を測定する第２の温度測定素子と、第１の温度測定素子により測定された第１の筐体の測定温度と第２の温度測定素子により測定された第２の筐体の測定温度との平均値を光学素子の温度として、平均値が予め設定された設定値であるように温度調整素子を制御して第１の筐体の温度を調整させる制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】冷却手段又は加熱手段に大きな冷却能力又は加熱能力を必要とせず、被制御装置の温度を変更するときに高速かつ高精度に温度制御することができる温度制御装置を提供する。
【解決手段】被制御装置１２と、第１及び第２の供給部３０、４０を含む供給装置２０との間に設けられ、流体の温度を制御する温度制御装置５０であって、流体を貯蔵する貯蔵部５１と、被制御装置１２を第１及び第２の供給部３０、４０の一方と接続するとともに貯蔵部５１を第１及び第２の供給部３０、４０の他方と接続するか、又は、被制御装置１２と貯蔵部５１と接続するように、接続を切り替える接続切替部５５とを有する。 （もっと読む）

【課題】 装置に要求される最悪環境下で必要な空冷風量を確保し、かつ平均的な環境温度下で過剰な風量とならない空冷を実施可能な空冷通信装置を得る。
【解決手段】 内部を強制空冷する空冷通信装置において、強制空冷に使用する風を装置内部へ送出するＦＡＮ部と、ＦＡＮ部の空気温度を観測し、温度情報として出力する温度検出部と、前記温度情報と予め設定された目標温度とを比較し、比較結果に基づいて前記ＦＡＮ部の風の送出状態を制御するＦＡＮ制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】運転の安定を正確かつ迅速に判断し、ブース内の空気温度を短い時間で且つハンチングを防止しつつ空気用目標設定温度に収束させ、省エネを実現する温調装置の提供。
【解決手段】空気温度Ｐ１の温度制御範囲の異なる複数のレベルを相互にオーバーラップさせて環状ステップを形成し、レベル間を移動可能なステップサーモ方式で温調手段の温調出力を制御する温調装置にて、制御手段が、ブース内に供給される流体Ｑの流体温度Ｑ１が流体用目標設定温度Ｑ２となるよう制御し、複数のレベル夫々に異なる流体用目標設定温度Ｑ２を設定し、環状ステップに対応して制御の基準点を夫々設定し、現在の基準点を制御の基準とした制御状態にて、空気温度Ｐ１が現在の基準点に対応する現在の環状ステップから新たな環状ステップに移動後、新たな環状ステップのレベル間を往復した際の復のタイミングで、現在の基準点を新たな環状ステップの新たな基準点に変更する。 （もっと読む）

【課題】運転の安定を正確かつ迅速に判断し、ブース内の空気温度を短い時間で且つハンチングを防止しつつ空気用目標設定温度に収束させ、省エネを実現する温調装置の提供。
【解決手段】空気温度Ｐ１の温度制御範囲の異なるレベルが相互にオーバーラップして設定され、レベル間を移動可能なステップサーモ方式で温調手段の温調出力をＰＩＤ制御する温調装置で、制御手段が、流体温度Ｑ１を流体用目標設定温度Ｑ２にＰＩＤ制御する構成で、各レベルに異なる流体用目標設定温度Ｑ２を設定し各レベルに制御の基準点を夫々設定し各基準点に該各基準点に所定温度を加算又は減算した基準点変更用閾温度Ｃを夫々設定し、現在の基準点を制御基準とした制御状態にて、空気温度Ｐ１が現在の基準点での現在のレベルから新たなレベルに移動後、現在の基準点の基準点変更用閾温度Ｃに初めて到達した場合に、現在の基準点を新たなレベルの新たな基準点に変更しＰＩＤ制御する。 （もっと読む）

【課題】電気システムまたはデバイス（例えば、変圧器、サーキットブレーカなど）内の温度変更流体（例えば、油）の温度を効果的調節する。
【解決手段】システム２は、電気デバイス２０内の絶縁流体に熱的に結合するように構成された熱伝達体８と、周囲温度センサ４と、熱伝達体８および周囲温度センサ４に結合された制御システム６とを含み、制御システム６は、熱伝達体８に周囲温度センサ４からの温度指標に基づいて絶縁流体の温度を調節するように指令する。 （もっと読む）

【課題】 流体供給装置から供給される流体の温度が変動する場合に、その流体の温度を均一に調整することができる温度調整装置を提供する。
【解決手段】 流体温度調整装置４０は、流体供給装置３０から供給される流体の温度を所望の温度に調整する。流体温度調整装置４０は、熱媒体の温度を調整する温調器２０と、流体供給装置３０から供給される流体と温調器４０から供給される熱媒体との熱交換を行う熱交換器１０と、熱交換器の上流または下流に配置され、流体供給装置または熱交換器から供給される流体を一時的に貯留する貯留部２２を有する。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて精度よく処理対象物の温度を制御することができる温度制御システムを提供すること。
【解決手段】上面に処理対象物を載置可能とし、内部に温調媒体の流路が形成されたサセプタと、サセプタの上面に載置された処理対象物の温度を測定する温度測定手段と、流路を流れる温調媒体を温調する第１の温調手段と、サセプタと第１の温調手段との間に介在し、温度測定手段による測定結果に基づいて、温調媒体を温調する第２の温調手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】単位生成熱量あたりのエネルギーコストが大きい機器と単位生成熱量あたりのエネルギーコストが小さい機器が混在する熱源システムにおいて、合計のエネルギーコストを低減させ、さらなる省エネを図る。
【解決手段】設定送水温度ＴＳｓｐの緩和に際して、単位生成熱量あたりのエネルギーコストが小さい機器よりも単位生成熱量あたりのエネルギーコストが大きい機器を優先させて、その機器の冷温水の出口温度の設定値を緩和する。例えば、冷凍機１−１を低ＣＯＰ機（単位生成熱量あたりのエネルギーコスト大）、冷凍機１−２を高ＣＯＰ機（単位生成熱量あたりのエネルギーコスト小）とした場合、冷凍機１−２（高ＣＯＰ機）の冷水の出口温度の設定値ＴＳ２ｓｐよりも、冷凍機１−１（低ＣＯＰ機）の冷水の出口温度の設定値ＴＳ１ｓｐを優先させて、緩和する。 （もっと読む）

【課題】使用するエネルギーの種別が異なる機器が混在する熱源システムにおいて、省エネを図りつつ、エネルギーを使用する場合に適用される各種の規制を回避する。
【解決手段】例えば、所定の判断基準を「現在の時刻がピーク時間帯に入っているか否か」とし、現在の時刻がピーク時間帯に入っていない場合には（ステップＳ１０４のＮＯ）、ガス式の冷凍機（低ＣＯＰ機）を緩和優先機、電気式の冷凍機（高ＣＯＰ機）を緩和後回し機とし（ステップＳ１０５）、現在の時刻がピーク時間帯に入っている場合には（ステップＳ１０４のＹＥＳ）、電気式の冷凍機（高ＣＯＰ機）を緩和優先機、ガス式の冷凍機（低ＣＯＰ機）を緩和後回し機とする。 （もっと読む）

【課題】制御対象の付近に配置される調温部１１に流体を循環させることで制御対象の温度を所望に制御するに際し、その制御対象の温度を所望の温度に迅速に追従させることが困難なこと。
【解決手段】制御対象を支持する調温プレート１０内部には、流体が循環する調温部１１が収納されている。調温部１１には、流体を冷却して循環させるための冷却通路２０、調温部１１下流側の流体を再度調温部１１にそのまま循環させるためのバイパス通路３０、及び流体を加熱して循環させるための加熱通路４０が接続されている。 （もっと読む）

【課題】遠隔地若しくは異なる時間帯における被測定媒体と同様の温度を、温度調整媒体にて適切に再現することを可能とした温度再現方法及びシステムを提供する。
【解決手段】温度が可変である温度調整媒体１２の温度を制御するシステムであって、被測定媒体１の温度を経時的に測定する温度センサ２と、該測定された経時温度データを記憶させる記憶装置６と、該温度調整媒体１２に対して遠隔地或いは異なる時間帯に存在する前記温度調整媒体１２の温度を制御する温度制御装置１１と、を備え、前記温度制御装置１１は、前記記憶装置６からの経時温度データを取り込み、該経時温度データに基づいて前記温度調整媒体１２の温度を制御する構成とし、前記被測定媒体１の温度履歴を前記温度調整媒体１２にて再現する。 （もっと読む）

【課題】従来のモータ駆動装置は、ファン本体が常に駆動される構成であるので、発熱部の冷却が不必要なときにも前記ファン本体が駆動されることになり、モータ駆動装置全体としてのエネルギー損失が増大していた。
【解決手段】本発明によるモータ駆動装置は、ファン本体３の動作制御を行うファン駆動手段５が、ファン本体３を駆動するための駆動用電源４と、前記発熱部１の温度を検出するために設けられるとともに電気的に前記ファン本体３及び前記駆動用電源４間に介在されたサーモスイッチ６とから構成され、ファン本体３は、前記発熱部１の温度が設定温度以上となったことが前記サーモスイッチ６によって検出された場合に駆動される構成である。 （もっと読む）

【課題】良好な過度特性を維持しつつ高速な目標温度応答速度を実現する。
【解決手段】水温制御処理を開始した時間ｔ０において、温度ＴＭＰが、目標温度ＴＧＴ+ΔＴを超える温度であった場合には、開度制御信号ＣＮＴを、バルブ５の開度を全開とする値ＣＮＴｍａｘに制御する。そして、時間ｔ０において、冷却水の温度が、目標温度ＴＧＴ+ΔＴまで低下したならば、開度制御信号ＣＮＴをＰＩＤ演算で求められたＣＮＴの値に制御さするＰＩＤ制御を開始する。ここで、このＰＩＤ制御の開始時には、ＰＩＤ演算の積分項Iの初期値を、最終的に温度ＴＭＰが目標温度ＴＧＴに安定した際にIが収束すると推定される値に設定する。 （もっと読む）

【課題】良好な過度特性を維持しつつ高速な目標温度応答速度を実現する。
【解決手段】水温制御処理を開始した時間ｔ０において、温度ＴＭＰが、目標温度ＴＧＴ+ΔＴを超える温度であった場合には、開度制御信号ＣＮＴを、バルブ５の開度を全開とする値ＣＮＴｍａｘに制御する。そして、時間ｔ１において、冷却水の温度が、目標温度ＴＧＴ+ΔＴまで低下したならば、開度制御信号ＣＮＴをＰＩＤ演算で求められた値にオフセットＢＣＮＴを加えた値に制御するオフセット付ＰＩＤ制御を開始する。ここで、このオフセットＢＣＮＴは、最終的に温度ＴＭＰが目標温度ＴＧＴに安定した際に開度制御信号ＣＮＴが収束すると推定される値に設定する。 （もっと読む）

【課題】熱媒体を流通させることによる温度調節機であって，雰囲気温度の影響を抑え，低コストで容易に金型温度を目標温度に近づけておくことのできる媒体式金型温度調節機を提供すること。
【解決手段】本発明の媒体式温調機１は，金型に熱媒体を循環させてその温度を調節する媒体式金型温度調節機であって，金型の目標温度に基づいて温度調節の設定温度を指定する温度調整部１３と，金型の実測温度がその目標温度より低いときには設定温度を上方に変更し，実測温度が目標温度より高いときには設定温度を下方に変更する設定制御部１５と，温度調整部１３により指定されまたは設定制御部１５により変更された設定温度により熱媒体の温度を調整して金型へ送出する送媒口１１とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】複数の換気扇を連携して制御することにより、筺体全体の効率的な換気を可能とした換気扇用の温度調節器を提供する。
【解決手段】本発明は電気電子機器収納用キャビネットの筺体に設置された複数の換気扇２を制御するための温度調節器に関するものである。温度制御基板を収納したケース５を、換気扇２の外郭や筺体に取り付け可能な構造とする。ケース５には、複数の出力端子１７を備え、複数の換気扇２をオンオフ制御することができるようにした。複数の換気扇を同時にオンオフ制御することも、順次オンオフ制御することもできる。 （もっと読む）

【課題】
熱処理炉の温度制御装置に於いて、制御系を複雑にすることなく、温度制御の精度の向上を図る。
【解決手段】
炉内を複数のゾーンに分割し、該ゾーンそれぞれに対して少なくとも１つの温度検出器を設け、該温度検出器により温度検出した検出結果を基に前記ゾーン毎に炉内の加熱状態を制御する半導体製造装置に於いて、前記ゾーンの内、温度変化の最も大きいゾーンに対しては前記温度検出器を異なる位置に複数設け、該ゾーンに於ける前記温度検出器が配設される領域を他のゾーンに於ける前記温度検出器が配設される領域よりも大きくした。
（もっと読む）

【課題】 複雑な温度プロファイルであっても、温度可変装置の温度制御を精度良く行う温度制御システムと温度制御装置を提供する。
【解決手段】 時系列上の複数の時点と該時点のそれぞれにおける目標設定温度とを含む目標設定温度情報の入力操作部１３と、前記時点のそれぞれにおける温度制御用のＰＩＤ制御情報の入力操作部１４と、これらの情報表示を行う情報表示部１９と、目標設定温度を定めた時点間隔を複数に分割した時間毎のペルチェモジュール１の制御操作量を前記ＰＩＤ制御情報に基づいて求める温度可変装置操作量算出部３１と、温度可変装置操作量算出部３１により求めた温度可変装置の制御操作量の算出値に基づき、被温度可変対象物９の温度（温度検出素子１０の検出温度）が前記目標設定温度情報と一致するようにペルチェモジュール１の制御操作量を調節制御する温度可変装置操作量制御手段３２とを設ける。 （もっと読む）