【課題】動波モータとして必要な耐電圧を有する１０〜１００μｍ程度の均一的な組成から成る圧電体原材料膜を、安定的に量産可能な少工程にて形成した振動体を有する振動波モータを提供する。
【解決手段】振動波モータは、圧電体（圧電体原材料膜１０２）に周波電圧を印加して金属製の弾性体１０１に振動を励起し、圧電体と弾性体１０１からなる振動体１００に接触する接触体を相対的に移動させる。そして、弾性体１０１の端面に圧電体の原材料微粉末をエアロゾル化した圧電体原材料膜１０２を噴射し、圧電体を弾性体に直接に成膜形成する。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら正確に回転子の回転位置を測定することができる振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】振動体３の駆動により回転子７がＸ軸回りに回転すると、回転子７と共にジョイント部材１２が回転し、スライダ１３の突出部１４がアーチ状部材８のガイド溝１５に案内された状態でスライダ１３がアーチ状部材８に沿って移動する。スライダ１３に固定されたブラシがアーチ状部材８の第１及び第２の帯部材１０及び１１の表面にそれぞれ接触しながらスライダ１３が移動するため、Ｘ軸回り回転位置測定回路１７で第１の帯部材１０の一端Ａから第２の帯部材１１の一端Ｂまでの抵抗値を計測することにより、スライダ１３の移動位置、すなわちＸ軸回りの回転子７の回転位置が測定される。 （もっと読む）

【課題】移動体を目標位置に正確かつ迅速に配置できる慣性駆動アクチュエータの位置制御方法等を提供する。
【解決手段】移動量を設定する移動量設定ステップと、移動体の目標位置を設定する目標位置設定ステップと、移動体の相対位置を検出する位置検出ステップと、目標位置と相対位置とを比較する比較ステップと、設定された移動量との比較結果に基づいて、移動手段、第１、第２の電極に印加する駆動電圧パターンを設定する駆動電圧パターン設定ステップと、第１、第２の電極との間に駆動パターン設定ステップにより設定された駆動電圧パターンを印加することで、振動基板移動と同期させながら、両者間に静電気力を作用させることにより、振動基板と移動体との間に生じる摩擦力を制御して移動体の駆動を行う駆動ステップと、を有し、比較ステップから駆動ステップを繰返して移動体を目標位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】ロータの全円周にわたって同一の回転特性を得ることができる内接型の超音波モータを提供する。
【解決手段】超音波モータ１は、内周面を有するロータ２００と、内周面に２の点で接触する超音波振動子１１と、超音波振動子１１に接続された上側および下側接続部材３０および３１と、上側および下側接続部材３０および３１に設けられ、ロータ２００を内周面の接線方向に移動させながら、超音波振動子と協働してロータ２００の中心の位置を維持し得るように内周面に１点で接触する円盤部材６１と、超音波振動子１１上の２点および円盤部材６１上の１点をロータ２００の中心から内周面に向かって押し付けるように上側および下側接続部材３０および３１を弾性変形させ得る押付機構１０００とを備えている。 （もっと読む）

【課題】可動体の位置検出を簡易な構成で実現する。
【解決手段】駆動装置１は、ガイド１３，１３と、ガイド１３，１３に対して相対的に移動可能なステージ１１と、ステージ１１を移動させる超音波アクチュエータ２と、超音波アクチュエータ２を制御する制御装置７とを備えている。超音波アクチュエータ２は、ステージ１１に接触する駆動子４９，４９を有すると共に、ガイド１３，１３側に取り付けられている。ステージ１１における駆動子４９，４９が接触する面には、凹凸部１２が形成されている。制御装置７は、駆動子４９，４９の接触圧力の変化に基づいてステージ１１の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】配線ケーブルを用いることなく固定子側と回転子側との間で送電または／および通信を行うことができる振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】電力供給回路１３により固定子２内のコイル１２に所定周波数の交流電流を流すと、コイル１２の周辺に変化する磁界が発生し、コイル１２から固定子２の段差１１を経て回転子６内を通り、反対側の段差１１から再び固定子２内に入ってコイル１２に戻る磁力線Ｍが形成される。この磁力線Ｍが回転子６に埋設されているコイル１４内を通過し、コイル１４に起電力が誘導され、コイル１４に接続されている電力利用回路１５に電力が供給される。 （もっと読む）

【課題】振動型アクチュエータを備えた駆動装置において出力可能な駆動力の範囲を可及的に拡大して、必要に応じた駆動力を出力できるようにする。
【解決手段】第１及び第２超音波アクチュエータ２Ａ，２Ｂはそれぞれ、回転体１１に接触する駆動子４９Ａ，４９Ｂを有すると共に、固定体に取り付けられている。第１超音波アクチュエータ２Ａの駆動子４９Ａと回転体１１との間の摩擦力は、第２超音波アクチュエータ２Ｂの駆動子４９Ｂと回転体１１との間の摩擦力よりも大きい。制御装置７は、第１及び第２超音波アクチュエータ２Ａ，２Ｂを用いて回転体１１を駆動する粗動モードと、第２超音波アクチュエータ２Ｂのみを用いて回転体１１を駆動する微動モードとを切り替えて、第１及び第２超音波アクチュエータ２Ａ，２Ｂを制御する。 （もっと読む）

【課題】超音波モータを用いた位置決め装置に用いられ、移動体を移動プロファイルにしたがって精度よく移動させる位置決め制御装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置１００において、スライダ５０を超音波モータ１０による摩擦駆動によって目標位置へ移動させて位置決めするために、位置センサ３０ｂにより測定されるスライダ５０の位置データを用いて超音波モータ１０を制御する制御装置２０は、超音波モータ１０の駆動周波数と位置センサ３０ｂによる位置データのサンプリング周波数とのエリアシング周波数の成分を、位置センサ３０ｂにより測定されるスライダ５０の位置データからカットするためのフィルタ２５を具備する。 （もっと読む）

【課題】異音の発生やリニアスライダの不安定な相対移動の防止を図る。
【解決手段】積層圧電素子３に給電を行うことで、積層圧電素子３に接合された弾性部材１が振動して、リニアスライダ４が相対移動を行う振動波駆動装置において、弾性部材１の積層圧電素子３が接合される側と反対側に、リニアスライダ４に摩擦接触する突起部材２ａ，２ｂを設け、さらに、弾性部材１における突起部材２ａ，２ｂの周辺に、弾性部材１を貫通する貫通部６ａ，６ｂを設ける。こうした構成により、突起部材２ａ，２ｂが、弾性部材１の平面方向と垂直な方向に弾性変形することが可能である。そのため、弾性部材１で発生した振動をリニアスライダ４が効果的に受け、リニアスライダ４が飛び跳ねることが防止される。 （もっと読む）

【課題】超音波モータの速度をユーザの要求に合わせて任意に設定できるだけでなくより高速に被駆動体を移動させる超音波モータを提供することを目的とする。
【解決手段】圧電セラミックスを積層してなる矩形平板状の圧電板と、該圧電板の面積の大きい２面を主面、積層面を側面とする圧電板において、前記圧電板の一方の主面に２行２列に形成された４つの駆動電極と、前記圧電板を挟んで前記駆動電極と対向するように前記圧電板の他方の主面に形成された共通電極と、前記圧電板の一側面に設けられ、所定の被駆動体と接触する２つの摺動部材とを具備し、前記摺動部材の設置位置を圧電板の端面からの距離を任意に選択することにより任意の速度を得ることを特徴とする超音波モータ。 （もっと読む）

【課題】装置の複雑化、高価格化を招くことなく、高精度な位置決めが可能な摩擦駆動アクチュエータを提供する。
【解決手段】駆動信号により伸縮する圧電変位部を備え、該圧電変位部の伸縮により励振される振動体と、振動体に接触し、該振動体に対して相対移動を生じる摺動体と、振動体と摺動体とを加圧接触させる加圧部と、を有する摩擦駆動アクチュエータにおいて、振動体と摺動体は、加圧部によって加圧接触された状態で、振動体と摺動体との相対位置の所定の相対移動方向と直交する方向への移動を規制する規制部を、振動体と摺動体との接触位置に、それぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】高い保持力と長い寿命を併せ持つ振動アクチュエータを提供することを課題とする。
【解決手段】振動手段３の駆動停止時には、駆動回路５から変形素子１１に電圧が印加されることはなく、したがって変形素子１１は伸縮されずに所定の厚さＨ０を有している。このとき、皿バネ１０の付勢力により、変形素子１１及び予圧部材１２を介してロータ８がステータ２に加圧される。一方、振動手段３の駆動時には、駆動回路５から変形素子１１に所定の負電圧が印加され、変形素子１１が所定の厚さＨ０よりも小さい厚さに縮むことにより、皿バネ１０の付勢力が小さくなり、その結果、ロータ８のステータ２に対する予圧力が小さくなる。 （もっと読む）

【課題】振動子とスライダの接触面に付着した磨耗粉や塵埃等の異物を除去し、耐久性の低下や異音の発生等の不具合を防止する。
【解決手段】（Ｓ１１）装置の電源投入後に、駆動モード切換回路により駆動を異物除去駆動モードに切換える。
（Ｓ１２）定在波を発生させることで、振動アクチュエータは振動により振動子、スライダ、レンズ群に付着した異物を除去する。
（Ｓ１３）駆動モード切換回路により、駆動モードを通常駆動モードに切換える。
（Ｓ１４）通常駆動により振動アクチュエータを駆動し、レンズ群の基準位置の検出動作を行う。
（Ｓ１５）基準位置検出センサの出力信号から基準位置を検出及び算出し、レンズ群の位置を絶対値化する。 （もっと読む）

【課題】目標駆動量に対するオーバーランを確実に許容範囲内に収めることができ、駆動制御の精度も向上できる圧電駆動装置の提供。
【解決手段】圧電駆動装置１０は、圧電素子を有しこの圧電素子への駆動信号の供給により振動する振動体を備えて前記振動体の振動を被駆動体に伝達する圧電アクチュエータ２０と、被駆動体の駆動量を検出する駆動量検出手段７０と、圧電アクチュエータ２０への駆動信号の供給を制御する駆動制御手段とを備える。駆動制御手段は、圧電アクチュエータ２０に予め設定された第１入力エネルギ分の駆動信号を入力した後に、前記駆動量検出手段７０によって前記被駆動体が所定の駆動量だけ駆動されたか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】ロータの回転に伴う摩耗を低減することができる振動アクチュエータを提供することを課題とする。
【解決手段】ステータ２の凹部６内に潤滑剤Ｇが収容されている。支持部材１１に支持された予圧部１２はロータ８の表面に当接すると共に、予圧部１２の下方に向かって開いた凹部１３内にも潤滑剤Ｇが収容されている。ステータ２の凹部６及び予圧部１２の凹部１３の内部にそれぞれ収容されている潤滑剤Ｇにロータ８の表面が接して、ロータ８の表面に潤滑剤Ｇが付着し、このように潤滑剤Ｇが付着したロータ８の表面部分がロータ８の回転に伴って移動することにより、ロータ８の表面に接触するステータ２の角部７及び予圧部１２の予圧面１５にそれぞれ潤滑剤Ｇが供給される。これにより、ステータ２及び予圧部１２とロータ８とのそれぞれの接触部分における摩耗が低減される。 （もっと読む）

【課題】簡単な電源構成で駆動することができ、省スペースで設置することができ、しかも安定に保持することができる超音波モータを提供する。
【解決手段】超音波モータ１０は、圧電セラミックスからなる矩形平板状の圧電板１１と、圧電板１１の一方の主面に２行２列に形成され、対角位置にあるものどうしが電気的に接続されて２組の駆動電極部に分けられた４つの駆動電極１２ａ〜１２ｄと、圧電板を挟んで４つの駆動電極１２ａ〜１２ｄと対向するように圧電板の他方の主面に形成された共通電極と、圧電板１１の側面の両端にそれぞれ設けられ、被駆動体５０と接触する２つのヘッド１３ａ・１３ｂとを具備する。超音波モータ１０にＬ１モードとＢ２モードの共振振動を同時に発生させるために、２つの駆動電極部の一方に所定の電圧を印加する。この間、他方の駆動電極部は浮動状態に維持する。 （もっと読む）

【課題】小型であり且つ単純な構成を有する振動アクチュエータを提供することを課題とする。
【解決手段】ステータ２の角部７に、半球殻形状のロータ８が回転自在に接触配置されると共に、支持部材１１によりステータ２上に予圧部１２が垂下支持されている。予圧部１２は、ロータ８の内部に挿入されてその先端部材１３でロータ８の内面９に当接している。予圧部１２内に収容されたバネＳにより先端部材１３がロータ８の内面に圧接されることにより、ロータ８がステータ２に対し加圧されている。振動手段３を駆動することによりロータ８を多軸の回りにそれぞれ回転させることができる。 （もっと読む）

【課題】サブミクロンオーダの位置決めを可能にする。
【解決手段】超音波モータを備えた微動機構は、固定台１と、固定台１に対して移動軸方向に移動可能に支持された移動体３と、その移動軸方向に対して平行な平面であって２つの突起部９が設けられた第１の平面と当該第１の平面に対して平行な第２の平面とを有する立体的形状をしており、高周波電圧信号の印加により複数の振動モードを励起する振動体８と、振動体８を固定台１に対して保持する保持部材５とを備え、保持部材５は、振動体８の前記第２の平面の一部と固定され、少なくとも摩擦摺動部又はゴム部材の一方を含む非線形性の高い要素を含まない高剛性材料によって一体的に構成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータを簡単な構造で、かつ、その動きを阻害しないように保持するアクチュエータケースとこれを用いた超音波モータを提供する。
【解決手段】Ｌ１Ｂ２モードで駆動される矩形板状の圧電アクチュエータ１０を保持するケース２０は、圧電アクチュエータ１０を直接に把持する凹型形状の第１ケース部３０と、第１ケース部３０を嵌挿保持する凹型形状の第２ケース部４０と、円柱形状でその中心軸が圧電アクチュエータ１０の厚さ方向と平行となり、かつ、その側面の一部が露出するように第１ケース部３０の側壁部２１ａに取り付けられたコマ２５を具備する。第１ケース部３０の側壁部２１ｂを圧電アクチュエータ１０に押し付けると圧電アクチュエータ１０は側壁部２１ａを介して外壁部２６ａを押圧する。このときコマ２５の側面が外壁部２６ａと接触することで、圧電アクチュエータ１０の厚さ方向でのぶれが抑制される。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電変位部を有する超音波アクチュエータにおける振動体の製造方法において、高出力、高駆動効率を安定して得ることが可能な振動体の製造方法を提供する。
【解決手段】電気信号により伸縮する複数の独立して形成された圧電変位部を有し、該圧電変位部の共振により励振される振動体と、振動体に加圧接触され、該振動体に対して相対移動を生じる移動体と、を備えている超音波アクチュエータにおけ振動体の製造方法であって、複数の圧電変位部の基材となる圧電基材を生成する圧電基材生成工程と、圧電基材の一方の面に基板を結合する基板結合工程と、基板結合工程で前記基板が結合された前記圧電基材を加工することにより、複数の前記圧電変位部を前記基板を介して一体化して形成する加工工程と、を有する。 （もっと読む）