【課題】振動体上を移動する振動波を発生させるに際し、低エネルギーで振動波を効率良く発生させ、振動体に接する被移動体を所定の方向に移動させることが可能となる振動装置を提供する。
【解決手段】第１の振動モードの振動と、これとは次数の異なる第２の振動モードの振動と、を弾性体上に励振し、弾性体上に前記第１と第２の振動モードの振動とを合成した合成振動波を形成する振動装置の駆動回路であって、
第１の振動モードの振動を励振するための第１の交流信号を発生する第１の信号発生器と、第２の振動モードの振動を励振するための第２の交流信号を発生する第２の信号発生器と、
第１の交流信号と第２の交流信号の周波数が異なる周波数となるよう信号発生器の発生する周波数を設定し、
合成振動波の移動方向に応じて合成振動波の振動振幅に差を生じさせるよう第１の交流信号と第２の交流信号のうち少なくとも一方を制御する制御手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】同じ種類のリニア駆動装置における振動量のばらつきを防止し且つ安定な振動量を得ることができると共に、振動量の増大を図ることができるリニア駆動装置を提供する。
【解決手段】振動部材１７と、振動部材１７に基端２６を固定した駆動軸２１とを備え、振動部材１７の振動により駆動軸２１がその軸線方向に振動することにより、駆動軸２１に摩擦係合した移動体が駆動軸２１の軸線方向に沿って摺動するリニア駆動装置において、振動部材１７は、通電により伸縮する圧電素子２３と、弾性を有する板状の振動子１９とを有し、振動子１９は圧電素子２３の一側面に板面を重ねて固定してあり、振動部材１７には駆動軸２１が固定してある側と反対側の面に錘部材３２が固定してある。 （もっと読む）

【課題】小型で効率的な交互送り振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】移動対象に当接する先端部、および、移動対象に近接離間する縦方向に伸縮する電気機械変換素子をそれぞれ有する一対の縦駆動部と、一対の縦駆動部を縦方向に交差する横方向に並べて弾性的に支持する支持部と、一対の縦駆動部の間に挟まれ、横方向に伸縮する電気機械変換素子を有する横駆動部とを備える振動アクチュエータが提供される。横駆動部は、支持部により支持される一対の縦駆動部の支持位置に対して前記先端部と反対側で一対の縦駆動部に挟まれてもよい。 （もっと読む）

【課題】積層型圧電素子を弾性体に固定するための冶具や装置を用いなくても、積層型圧電素子を弾性体に容易に固定できる超音波モータを提供すること。
【解決手段】溝部１４を有する棒状弾性体１２と、棒状弾性体１２に両端を保持され、変位方向と棒状弾性体１２の長手方向との間の角度において鋭角を有した状態で正面１２ａと裏面１２ｂとに配設され、さらに棒状弾性体１２の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して棒状弾性体１２に配置される一対の積層型圧電素子１８と、棒状弾性体１２の先端部に接合されている摩擦子２６と、を具備し、一対の積層型圧電素子１８にそれぞれ位相の異なる交番電圧を印加することにより、縦振動と捻れ振動とを同時に励起し、摩擦子２６に超音波楕円運動を励起させる超音波モータ１であって、超音波モータ１は、積層型圧電素子１８を棒状弾性体１２に密着固定するために積層型圧電素子１８を与圧する与圧機構６０を具備する。 （もっと読む）

【課題】電極層の種類を減らす。
【解決手段】超音波アクチュエータ２は、圧電体層４１，４１，…とプラス及びマイナス電極層５，６とを交互に積層させて構成されたアクチュエータ本体４を備えている。プラス電極層５は、第１〜第４プラス分割電極５１Ａ〜５４Ｂと、第１及び第３プラス分割電極５１Ａ，５３Ａを接続するプラス対角接続電極５５Ａとを有する。第２及び第４プラス分割電極５２Ｂ，５４Ｂは、プラス電極層５の外部で接続されている。マイナス電極層６は、第１〜第４マイナス分割電極６１Ａ〜６４Ｂと、第１及び第３マイナス分割電極６１Ａ，６３Ａを接続するマイナス対角接続電極６５Ａとを有する。第２及び第４マイナス分割電極６２Ｂ，６４Ｂは、マイナス電極層６の外部で接続されている。 （もっと読む）

作動アームの移動の程度を示すよう構成されるセンサと、共振条件におけるアクチュエータの安全な動作を許容するよう構成されるコントローラと共に、固定支持部材と、機械的ウェブと、作動アームと、圧電又はスマート材料スタックとを有するスマート材料アクチュエータが開示されている。共振動作を維持する方法、共振動作を回避する方法、及び、共振周波数を調節する方法も開示されている。
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【課題】圧電体の電極に対する改良された電気配線を有する圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明の圧電アクチュエータ１０は、互いに対向する第１の面１１Ｆと第２の面１１Ｒとを有する凹部１１が形成されたベース部材１０と、前記凹部１１内に配置された際に、前記第１の面１１Ｆと前記第２の面１１Ｒのそれぞれに対向する第３の面３１Ｆと第４の面３１Ｒとを有する駆動部材と、前記第３の面３１Ｆと前記第１の面１１Ｆとの間に配置された第１の圧電体３３Ｆ、及び前記第４の面３１Ｒと前記第２の面１１Ｒとの間に配置された第２の圧電体３３Ｒと、前記ベース部材１０の表面に形成され、前記第１の圧電体３３Ｆと前記第２の圧電体３３Ｒとを電気接続する導電材料４０と、前記第１の圧電体３３Ｆ及び前記第２の圧電体３３Ｒへの電力供給を行う電源と前記導電材料４０とを接続する電気配線４５と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 積層圧電素子を用いて、大きな推力が得られるとともに高効率な超音波モータ及びそれを用いた電子機器の提供。
【解決手段】 積層圧電素子１は圧電素子１０，１１，１２，１３が積層され、板状の圧電素子１０の上面には、ほぼ各辺の中央で分割された4つの内部電極１４a，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが設けられ、圧電素子１１の上面には、ほぼ全体に渡って内部電極１４ｅが設けられ、圧電素子１２の上面にも、ほぼ全体に渡って内部電極１４ｆが設けられ、圧電素子１３の上面には、内部電極１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ，１４ｅ，１４ｆと短絡される外部電極１５ａ，１５ｄ，１５ｃ，１５ｆ，１５ｂ，１５ｅが設けられている。 （もっと読む）

全長１０ｍｍ未満のミクロスケールのスマート材料のアクチュエータであり、多層圧電スタックが、固定支持部材、１以上のアクチュエータ腕部に接続される協働リンクと接続される可動支持部材を含む機械的増幅装置内に設けられ、適切な電流が前記圧電スタックに付加されるとその結果生じる伸びが前記可動支持部材を通じて伝達され、それにより前記アクチュエータ腕部に動きを生じさせる。かかるアクチュエータを用いて動きから電気を発生させる公報がまた開示され、前記アクチュエータ腕部が機械的動き源に接続され、前記圧電スタックが電気的負荷に接続され、それにより前記機械的動きが前記圧電スタックに電荷を発生させ、その電荷が前記負荷に放出される。
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【課題】被駆動体に搭載物を追加しても、超音波振動子にかかる押圧力を一定に保つことを可能とし、これにより動作が安定した超音波モータ駆動装置（ＸＹステージ）を提供する。
【解決手段】縦振動と屈曲振動を同時に励起して楕円振動を発生させ、楕円振動を駆動力として被駆動体を駆動する、複数の超音波振動子を有する超音波モータ駆動装置であって、被駆動体と対向するように超音波振動子に設けられ、被駆動体と接触し被駆動体を平面内の任意の方向に駆動させる駆動子と、被駆動体と超音波振動子との間に作用する押圧力を検出する押圧力検出部と、押圧力検出部による検出結果に基づき押圧力を所定の押圧力に調整する押圧力調整部と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】移動体を複数方向に移動させる。
【解決手段】ＳＩＤＭ装置１は、電圧の印加によって伸縮する圧電素子２と、圧電素子２の伸縮によって変位する柱状の駆動軸３と、圧電素子２の移動を制限しつつ当該圧電素子を伸縮可能に支持するカラー部材４と、駆動軸３に対して摩擦係合されて当該駆動軸３の軸方向Ｊと、当該軸方向Ｊとは異なるＸ軸方向とに移動可能な移動体５とを備える。圧電素子２は、正負同一の電圧を印加した場合の動作方向が互いに異なる２つ以上の圧電体２０〜２２を有する。 （もっと読む）

【課題】 振動子と被駆動体の相対位置を検出する際に、光学式のリニア型エンコーダ等の別の装置を用いる必要があった。
【解決手段】 本発明の制御装置は、振動子の振動状態を示す信号と、被駆動体に設けられ前記被駆動体の振動を検出する被駆動体側振動検出部から出力される信号と、を用いて前記振動子と前記被駆動体側振動検出部との相対位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】 慣性駆動方式による圧電素子を用いた駆動装置において、駆動部材に与圧力が加わることによって駆動部材に接続されている圧電素子もその与圧力により破壊すること、及び圧電素子を保護する機構による駆動装置の複雑化、且つ大型化である。
【解決手段】 円筒形状の圧電素子であって中空穴を有する駆動部材と、前記駆動部材の一端に固定された保持部材と、前記駆動部材の他端に取り付けられた２つの係合部材と、前記駆動部材の中空穴を貫通する移動部材から構成され、前記係合部材にて前記移動部材を挟み込んだ状態で前記駆動部材を伸張させた後に前記駆動部材を急速に収縮させることによって、前記駆動部材の移動方向と反対方向に前記移動部材を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子と振動部材との位置関係を高精度に維持しながら効率良く所定の作業を進めることができる圧電モーターの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電アクチュエーター１０と、回転軸と、圧電アクチュエーター１０を回転軸に向かって付勢する付勢手段とを具備する圧電モーターの製造方法であって、突起部２１を中心として左右両側の対称な位置で振動部材の前記突起部側の一端部に位置決め用の測定パターン２４，２４Ａを形成する工程と、前記圧電素子における前記測定パターンに対応する位置を切欠いて窓部２５，２５Ａを形成する工程と、前記振動部材に前記圧電素子を載置するとともに前記窓部の外縁を規定する辺２８，２９，３８，３９と前記測定パターンとの相対的な位置関係が所定の位置関係になるように前記圧電素子の前記振動部材に対する相対的な位置関係を調整する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子と振動部材との位置関係を高精度に維持しながら効率良く所定の作業を進めることができる圧電モーターの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電アクチュエーター１０と、回転軸３と、圧電アクチュエーター１０を回転軸３に向かって付勢する付勢手段８０とを具備する圧電モーター１の製造方法であって、突起部２１の基端となる振動部材２０の短手方向の辺と突起部２１の境界に圧電素子３０の厚さ方向に突出する凸部２６を形成するとともに、振動部材２０の長手方向の二辺の相対向する位置から面方向に突出している腕部２２の基端となる前記長手方向の二辺のそれぞれの境界に前記圧電素子３０の厚さ方向に突出する凸部２７を形成する工程と、凸部２６、２７に圧電素子３０の端面を当接させて振動部材２０に対する圧電素子３０の位置を規制することによりその位置合わせを行ないつつ振動部材２０に圧電素子３０を貼着する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で装置の低背化と移動ストロークの拡大が可能なだけでなく、移動の真直性とＸ−Ｙ方向の直交性に優れたアクチュエータおよび当該アクチュエータを用いた位置決め装置を提供する。
【解決手段】 被駆動部材３５において、２つの駆動体４１，４２を、直交する２軸に対して線対称となるように配置することで、各駆動体の移動方向の傾きを相殺し、各駆動体の２つの電気機械変換素子に、互いに同じ電圧または正負が反転した電圧を印加することで、直交する２軸方向に駆動する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で装置の低背化と移動ストロークの拡大が可能なだけでなく、直進性が良く精密な位置決め可能な自走式アクチュエータおよびそれを用いた位置決め装置を提供する。
【解決手段】 一方の電気機械変換素子の変位の振動による移動体６１の共振周波数ｆｒｘと他方の電気機械変換素子の変位の振動による移動体６１の共振周波数ｆｒｙが５％以上異なるように構成する。 （もっと読む）

【課題】電極とグランド端子との電気的接触を回避できるとともに、電気接続の作業性の向上を図ることができるフレキシブルプリント基板を備える振動型アクチュエータの提供を目的とする。
【解決手段】
フレキシブルプリント基板６を介して駆動素子に電圧を印加することにより、駆動素子を保持する駆動子が加振され、駆動子の振動によって移動子が移動される振動型アクチュエータが開示される。フレキシブルプリント基板６の電極端子部６ａは、駆動素子１０，１２，１４，１６に対して電圧を印加するための電極３０，３２，３４，３６と、駆動子を接地するためのグランド端子４０とを有する。駆動子の振動波形Ｌの第１の節部Ａに電極３０，３２，３４，３６が配置され、振動波形Ｌの第２の節部Ｂにグランド端子４０が配置される。 （もっと読む）

【課題】 駆動力を大きくした超音波モータを提供する。
【解決手段】 屈曲振動源である圧電振動子１１と、伸縮振動源である圧電振動子１２と、を一体的に積層させた圧電素子１０を有する超音波モータである。圧電振動子１１は、スイッチ１７ａ、１７ｂを介して交流電源６に接続される。圧電振動子１１には、同極性に分極した分極領域１１ａ、１１ｄと、分極領域１１ａ、１１ｄと逆極性に分極した分極領域１１ｂ、１１ｃと、を交互に配列する。圧電素子１２は、同極性に分極した分極領域１２ａを有する。圧電素子１０に交流電源６から駆動信号を入力すると、圧電素子１０の端面には楕円振動が生じるため、該端面に当接している移動体は移動する。スイッチ１７ａ、１７ｂを切り替えると、この楕円振動の振動方向は逆転するため、前記移動体の移動方向は逆転する。 （もっと読む）

圧電装置は対向する第１及び第２の表面部を有すると共に、対向する第３及び第４の表面部を有する圧電共振子本体3を含む。その装置は、さらに第２の表面部15に配置された少なくとも１個の共通の電極8と、第１の表面部14に第１の縦軸に沿って配置された対の電極4a,4bとを含む。その装置は、さらに第３の表面部16及び第４の表面部17の、第１の縦軸に沿って接触場所に配置され、それぞれの励起電極の対の間に位置合わせされた接触素子5を含む。その装置で圧電共振器本体は、第２の縦軸に沿った第１次の固有共振周波数（ν１）と、第１の縦軸に沿った第１次と等しい次数の固有共振周波数（ν２）とを持ち、固有共振周波数（ν１）と固有共振周波数（ν２）とのパーセント差は、０％より大きくて２０％以下である。 （もっと読む）