【課題】圧電体の電極に対する改良された電気配線を有する圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明の圧電アクチュエータ１０は、互いに対向する第１の面１１Ｆと第２の面１１Ｒとを有する凹部１１が形成されたベース部材１０と、前記凹部１１内に配置された際に、前記第１の面１１Ｆと前記第２の面１１Ｒのそれぞれに対向する第３の面３１Ｆと第４の面３１Ｒとを有する駆動部材と、前記第３の面３１Ｆと前記第１の面１１Ｆとの間に配置された第１の圧電体３３Ｆ、及び前記第４の面３１Ｒと前記第２の面１１Ｒとの間に配置された第２の圧電体３３Ｒと、前記ベース部材１０の表面に形成され、前記第１の圧電体３３Ｆと前記第２の圧電体３３Ｒとを電気接続する導電材料４０と、前記第１の圧電体３３Ｆ及び前記第２の圧電体３３Ｒへの電力供給を行う電源と前記導電材料４０とを接続する電気配線４５と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】摩擦係合部材を樹脂で形成しながら起動電圧が高くならない振動型駆動装置を提供する。
【解決手段】電気機械変換素子３によって往復変位させられる駆動部材４と、駆動部材４に摩擦係合する摩擦係合部材５とを有し、摩擦係合部材５は、駆動部材４を挟み込む受け部材６と押さえ部材７とを含む振動型駆動装置１において、受け部材６を樹脂で成形し、受け部材６の駆動部材４に当接する摺動面の表面粗さを中心線平均粗さ０．９μｍ以上とする。 （もっと読む）

【課題】被駆動体に搭載物を追加しても超音波振動子にかかる押圧力を一定に保つことを可能とし、これにより動作が安定した超音波モータ駆動装置を提供する。
【解決手段】縦振動と屈曲振動を同時に励振して楕円振動を発生させ、楕円振動を駆動力とする、ベース部材上に設けられた超音波振動子を有する超音波モータ駆動装置であって、被駆動体と、被駆動体と対向するように超音波振動子に設けられ、被駆動体と接触し被駆動体を変位平面内の任意の方向に駆動させる駆動子と、超音波振動子と被駆動体との間に作用する押圧力を検出する押圧力検出部と、押圧力検出部による検出結果に基づき押圧力を所定の押圧力に調節する押圧力調整部と、を備え、ベース部材と被駆動体がシャフトにより機械的に連結されている。 （もっと読む）

【課題】１つで多次元の位置決めが可能な駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１は、軸状の駆動部材４と、それぞれ駆動部材４の軸方向に伸縮可能に並列して設けられた複数の伸縮部１１，１２を有し、駆動部材４の一端を保持する電気機械変換素子３と、駆動部材４に摩擦係合し、駆動部材４上で滑り変位可能な移動体５と、一部の伸縮部１１，１２に、他の伸縮部１１，１２と異なる、変化率の小さい直流電圧成分を印加し、伸縮部１１，１２の全てに、共周期的に変動する共通の交流電圧成分を印加する駆動回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】エアー型クランプシリンダに代えて利用できる中空型超音波モータを使用したクランプシリンダを提供する。
【解決手段】取り付け孔５１を穿設した本体係止部５が外側面から立設されるシリンダ本体２を備え、シリンダ本体２内には、中央にモータ駆動孔を備えモータ駆動孔の中心がシリンダ本体２の円筒中心と一致するように固定する中空型超音波モータ３を備え、中空型超音波モータ３のモータ駆動孔の外側には、駆動シャフト４をガイド可能なシャフトガイド６を備え、駆動シャフト４がシャフトガイド６およびモータ駆動孔を貫通するように挿通して設けられ、駆動シャフト４の一端はシリンダ本体２の本体係止部５を設けた側面と隣り合う側面から外方へ位置され、該一端には取り付け孔７１が穿設された治具係止部７を備え、中空型超音波モータ３は駆動するための駆動ユニット９と電気的に接続されてなる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で装置の低背化と移動ストロークの拡大が可能なだけでなく、移動の真直性とＸ−Ｙ方向の直交性に優れたアクチュエータおよび当該アクチュエータを用いた位置決め装置を提供すること。
【解決手段】 磁石３１，３２と摺動する固定部材３６に周期構造を形成し、その周期構造を直交する２軸に対して同一となるようにすることで、磁石３１，３２と固定部材３６との間に働く吸引力に、Ｘ−Ｙの２軸に沿った規則性を持たせ、Ｘ−Ｙの直交する２方向へ真直に移動できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 振動型リニアアクチュエータで移動レンズ枠を移動させるとき、移動の際の騒音が小さく、装置全体の小型化を図りつつ、ガタがなく高精度に移動レンズ枠を移動することができるレンズ鏡筒を得ること。
【解決手段】 光学素子を保持し、移動する光学素子保持部材と、前記光学素子保持部材の移動を案内するための案内手段と、前記案内手段を保持するベース部材と、電気−機械エネルギー変換作用により振動が励起される振動部材および該振動部材に接触する接触部材により構成される振動型リニアアクチュエータとを有し、前記接触部材は、その移動方向の両端に振動吸収部材が取付けられており、前記振動吸収部材を介して前記ベース部材に固定されていること。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で装置の低背化と移動ストロークの拡大が可能なだけでなく、直進性が良く精密な位置決め可能な自走式アクチュエータおよびそれを用いた位置決め装置を提供する。
【解決手段】 一方の電気機械変換素子の変位の振動による移動体６１の共振周波数ｆｒｘと他方の電気機械変換素子の変位の振動による移動体６１の共振周波数ｆｒｙが５％以上異なるように構成する。 （もっと読む）

【課題】移動部材の位置を正確に検出可能でありながら、構成が簡単な駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１は、電気機械変換素子３と、電気機械変換素子３によって軸方向に振動させられる軸状の振動部材４と、振動部材４に摩擦係合する移動部材５と、移動部材５の位置を検出するセンサ１４を実装した回路基板６と、回路基板６に固定され、振動部材４を支持する支持部２０およびセンサを位置決めする位置決め部２７を備える支持部材７とを有する。 （もっと読む）

【課題】電極とグランド端子との電気的接触を回避できるとともに、電気接続の作業性の向上を図ることができるフレキシブルプリント基板を備える振動型アクチュエータの提供を目的とする。
【解決手段】
フレキシブルプリント基板６を介して駆動素子に電圧を印加することにより、駆動素子を保持する駆動子が加振され、駆動子の振動によって移動子が移動される振動型アクチュエータが開示される。フレキシブルプリント基板６の電極端子部６ａは、駆動素子１０，１２，１４，１６に対して電圧を印加するための電極３０，３２，３４，３６と、駆動子を接地するためのグランド端子４０とを有する。駆動子の振動波形Ｌの第１の節部Ａに電極３０，３２，３４，３６が配置され、振動波形Ｌの第２の節部Ｂにグランド端子４０が配置される。 （もっと読む）

【課題】駆動子と被当接部材との間に異物が入り込んでも、駆動子と被当接部材との間の駆動力の伝達を良好に行わせる。
【解決手段】駆動装置１は、ベース１０と、ステージ１１と、ベース１０に取り付けられてステージ１１を駆動する超音波アクチュエータ２を備えている。超音波アクチュエータ２は、圧電素子を用いて構成されたアクチュエータ本体４と、アクチュエータ本体４に設けられて所定の駆動方向へ駆動力を出力する駆動子５，５と、駆動子５，５がステージ１１に当接した状態でアクチュエータ本体４を支持する支持バネ６とを有している。支持バネ６は、駆動子５が周回運動する周回面Ｐに交差する方向への剛性が駆動方向への剛性よりも低い。 （もっと読む）

【課題】この発明は、簡易な構成で、且つ、簡便にして容易なモータ分解・組立を実現し得るようにした超音波モータを提供することにある。
【解決手段】圧電素子１０に配したホルダ部材１２上に位置規制部材１４を積重配置して、ホルダ部材１３の一対の突起部１３１を、位置規制部材１４に設けた挿入口１４２を有した収容部１４１に押圧軸方向に移動可能に収容し、この圧電素子１０上の位置規制部材１４上にベース部材１５を積重配置して、圧電素子１０の駆動子１１が被駆動体１２上に載置されると、ベース部材１５の自重等によりホルダ部材１３の突起部１３１が、位置規制部材１４の収容部１４１に沿って押圧軸方向に移動されて、その駆動子１１が被駆動体１２に駆動可能に圧接され、この圧接状態からベース部材１５と共に、圧電素子１０の駆動子１１が被駆動体１２上から離間されると、ホルダ部材１３の突起部１３１が位置規制部材１４の収容部１４１内に収容された状態で分離されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】最近の半導体製造では、装置の更なる薄型化によるコンパクト化とともに、配線パターンの更なる細密化、立体化が進み、プレートの昇降量についても制御可能なプレートチャック装置構造の要求が高まっていた。
【解決手段】ピン昇降機は、回転軸を中心に円周方向に回転する可動体と、該可動体と接続して可動体の回転運動を径方向の直線運動に変換する変換機構と、径方向に沿って傾斜面が形成されるとともに、変換機構に連結して径方向に往復運動するスロープ部と、傾斜面上を摺動または転動する係合部材を有し、該係合部材により鉛直方向にプレートを昇降するピン部を備えた昇降部とを有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を駆動源として用いて新規なメカニズムにより動作する球面モータを提供する。
【解決手段】ベース１２の表面には４個の支持台１４が円周方向に均等角度間隔に固定配置されている。各支持台１４には圧電素子１１がそれぞれ収容されている。各圧電素子１１は電圧の印加により長手方向に伸長する。各支持台１４の上部には凹所１６がそれぞれ形成されている。凹所１６には円柱状のローラ１８が上下方向に移動自在にそれぞれ横倒しで収容されている。ローラ１８は圧電素子１１の上に載置支持されている。４個のローラ１８上には大球２０の下面が四点支持されている。大球２０は板ばね３０、小球４８，スライド棒３８、コイルスプリング４６等で構成された弾性押圧部材により上側から支持されている。各圧電素子１１は矩形波、のこぎり波等により選択的に駆動される。 （もっと読む）

【課題】エンコーダなどのセンサを用いることなく、移動体の回転位置や回転速度の検出が可能なセルフセンシング方式の超音波モータにおいて、駆動性能の低下を抑える。
【解決手段】振動体（ステータ）は圧電素子１２ａの振動によって移動体（ロータ）を駆動し、その移動体に形成した溝を振動体の接触部が通過する際の検出電極ＩＳからの出力変化で移動体の回転位置を検出するにあたって、振幅検出部２８は検出電極ＩＳからの出力振幅を検出し、偏差算出部２９が、理想振幅値（最適駆動の振幅値）との偏差を演算し、その演算結果に応じて制御部２４が駆動電圧発生部２５の発振周波数を変化させる。したがって、溝の無い通常域の通過時には通常の共振周波数で振動させ、溝の有る検出域の通過時には振動周波数を低下させて共振周波数にマッチさせ、駆動性能（トルク）の低下を抑えることができる。回転位置は、位置検出部３０が、駆動周波数の変化から検出する。 （もっと読む）

【課題】部品点数を従来よりも減少させることができる駆動装置を提供すること。
【解決手段】オートフォーカスカメラ１０は、フォーカスレンズ１１を移動させる移動部１３ｃと、凸部１４及び機械端部１５と、マイコン部２４と、カウンタ２８とを備え、マイコン部２４は、移動部１３ｃを移動させる移動制御モードと、移動制御モードより前に行われる初期化モードとを動作モードとして有し、初期化モードにおいて、機械端部１５のいずれかの位置に凸部１４が当たるよう移動部１３ｃを移動させてカウンタ２８を予め定めた値に設定する機械端移動動作を行った後、移動方向を反転して予め定めた電力供給時間で移動部１３ｃを移動させた位置を移動制御モードの原点とするものであって、移動制御モードにおいて、カウンタ２８のカウンタ値に基づいて移動部１３ｃの位置決め制御を行う構成を有する。 （もっと読む）

【課題】電気―機械変換素子から駆動部材への振動伝達において、エネルギー損失が少なく被駆動部材を効率的に高速移動できること、耐落下・衝撃性の要求に応えられる圧電素子の取付け構造を実現できることのメリットを有する駆動装置を提供すること。
【解決手段】電気―機械変換素子１１と、電気―機械変換素子１１の振動方向の側方へ離れている駆動部材１２とを、振動伝達部材１３Ｆを介して連結し、電気―機械変換素子１１を振動させ駆動部材１２に増幅した振動を伝達し更に駆動部材１２より摩擦係合部材１５を介して被駆動部材１４を高速で往復動させ得る駆動装置であり、振動伝達部材１３は、短片部１３ａと長片部１３ｂの同側の一端同士が連結部１３ｃで連結された一体形状であって、短片部１３ａが保持部材１６Ａに固定され、電気―機械変換素子１１の振動方向の両端面を短片部１３ａの他端と長片部１３ｂの対向部位間に挟んで固着され、電気―機械変換素子１１の振動を駆動部材１２に伝える。 （もっと読む）

【課題】ステージをコンパクトに構成できると共に、所望の精度を確保でき、更にスケールの防塵を行うことができるようにする。
【解決手段】ベース部２と、テーブル３と、ベース部２とテーブル３との間に配置される案内部材１ａ、１ｂと、テーブル３に摺動板固定部材９と一体的に固定される摺動板８と、超音波モータ１０と、テーブル３にスケール固定部材６と一体的に固定されるスケール４と、センサ５とを含むステージにおいて、治具部材２１を用いて案内部材１ａ、１ｂに予圧を与えた状態で案内部材１ａ、１ｂを固定した後に治具部材２１を取り外し、治具部材２１を取り外した位置に摺動板固定部材９と一体的に固定した摺動板８をテーブル３に固定し、及び又は、治具部材２１を取り外した位置にスケール固定部材６と一体的に固定したスケール４をテーブル３に固定する、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】摩擦係合部材の振動部材に対する固着を解消できる駆動装置を提供する。
【解決手段】電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子５と、電気機械変換素子５の伸縮によって軸方向に変位する円柱状の振動部材６と、振動部材６に滑り変位可能に摩擦係合する摩擦係合部材７とを有する駆動装置１に、振動部材６を軸周りに回転させる回転駆動部材４と、振動部材６と平行に延伸し、摩擦係合部材７と摺動可能に係合し、摩擦係合部材７の振動部材６の軸周りの回転を規制する案内軸８とを設ける。 （もっと読む）

【課題】圧電素子によって制御される作動片の重量を極力掛けないようにして変位可能な圧電素子への負荷を減らすこと。
【解決手段】箱体内に、プランジャと、このプランジャの先端部が箱体の開口から突出するように該プランジャを常時付勢するバネ部材と、電圧信号を機械的な変位に変換する圧電素子と、この圧電素子に接続され、かつ該圧電素子の制御によって前記プランジャに係脱する作動片をそれぞれ組み込んだ圧電アクチュエーターであって、作動片は、前記箱体の底壁の内面を水平方向にスライドして前記プランジャに係脱し、また、圧電素子は、第１圧電素子と該第１圧電素子の一端部にその一端部が結合すると共に、自由端部側から外拡変位可能な第２圧電素子を有し、第１圧電素子の基端部は箱体側に支持され、一方、第２圧電素子片の自由端部に前記作動片が係合していることを特徴とする圧電アクチュエーター。 （もっと読む）