【課題】不要な振動モードが生じることを抑制できるＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に配置された第１電極２０と、第１電極２０との間に空隙を有した状態で配置され、第１電極２０との間の静電力によって基板１０の厚み方向に振動可能となる梁部３２、および梁部３２を支持する支持部３４を有する第２電極と、を含み、第２電極３０は、梁部３２を複数有する。 （もっと読む）

【課題】複数の振動領域を有する水晶振動子において、一方の振動領域が他方の振動領域に与える影響を抑えると共に簡素な構成の水晶発振器を構成することができる技術を提供すること。
【解決手段】水晶片に設けられる第１の振動領域と、前記水晶片に設けられ、第１の振動領域とはその厚さ及びＸ軸の正負の向きが異なる第２の振動領域と、第１の振動領域、第２の振動領域に夫々設けられ、各振動領域を独立して振動させるための励振電極と、を備えるように水晶振動子を構成する。一方の振動領域と他方の振動領域とから夫々温度変化に対して互いに異なる大きさで変化する周波数を取り出すことができるので、温度に対して明確に周波数変化が起きる方の振動領域の発振周波数に基づいて、他の振動領域からの発振周波数を制御することができる。これにより、水晶発振器の複雑化を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】簡易に半導体基板上に形成でき、差動型で動作する半導体装置ならびにこれを用いた発振器、アンテナシステムおよび送受信システムを提供する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板と、複数の音響波伝播層と、分離層と、音響波反射層と、第１のコンタクトと、第２のコンタクトとを備える。前記複数の音響波伝播層は、前記半導体基板に、互いに離間して形成される。前記分離層は、前記半導体基板に形成され、前記複数の音響波伝播層を互いに電気的に分離するが、音響波は通過させる。前記音響波反射層は、前記半導体基板に形成され、前記複数の音響波伝播層内に前記音響波を閉じ込めるように形成される。前記第１のコンタクトは、前記複数の音響波伝播層の１つに形成され、第１の差動信号が入力または出力される。前記第２のコンタクトは、前記複数の音響波伝播層の他の１つに形成され、前記第１の差動信号とは位相が異なる第２の差動信号が入力または出力される。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能なＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】本発明に係るＭＥＭＳ素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された空洞部３２と、空洞部３２に収容された第１振動子２０ａと、空洞部３２に収容された第２振動子２０ｂと、を含む。 （もっと読む）

【課題】製品として求められる目標精度に比べて梁の膜厚ばらつきに起因する共振周波数のばらつきが大きくても、目標精度内の共振周波数を有するＭＥＭＳ振動子を高い歩留りで得られるＭＥＭＳ発振器を提供する。
【解決手段】本発明の一態様は、基板上に形成された複数のＭＥＭＳ振動子１０ａ〜１０ｄと、前記複数のＭＥＭＳ振動子のいずれか一つのＭＥＭＳ振動子に電気的に接続され、且つ前記複数のＭＥＭＳ振動子のうち前記一つのＭＥＭＳ振動子以外の全てのＭＥＭＳ振動子に電気的に接続されていない発振回路２とを具備し、前記複数のＭＥＭＳ振動子それぞれは、梁構造を有しており、前記複数のＭＥＭＳ振動子は、それぞれの梁構造が異なることによって共振周波数が異なるＭＥＭＳ発振器である。 （もっと読む）

【課題】周波数安定度に優れると共に電子雑音特性が良好であり、且つ回路を簡単に構成できる温度補償圧電発振器を提供すること。
【解決手段】温度補償圧電発振器（ＴＣＸＯ）において、補償電圧ΔＶを求めるための温度Ｔを検出する温度検出部３２として、外部に設定周波数ｆ_０を出力する主発振部１１と水晶基板２を共用する補助発振部２１を用いると共に、水晶基板２上にはこれらの主発振部１１及び補助発振部２１の電極１３、２３を個別に設けて、主発振部１１及び補助発振部２１では夫々例えば基本波及びオーバートーンを利用するか、あるいは厚み滑り振動及び輪郭滑り振動を利用する。 （もっと読む）

【課題】検出感度を高めた振動子を提供すること。
【解決手段】本発明の振動子は、厚みすべり振動モードで振動する振動体と、前記振動体の第１の面における、第１の領域に形成された第１の吸着膜と、前記振動体の前記第１の面と対向する第２の面における、第２の領域に形成された第２の吸着膜と、表面に前記振動体を立設された基板と、を備え、前記振動体は、前記第１の面及び前記第２の面とは異なる第３の面において前記基板に接していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】実装が容易であり、且つ、公知のオシレータと比較して優れた性能を有する共振装置を提供する。
【解決手段】共振装置は、複数の同期化されたオシレータを備える。各オシレータは、共振器（１）を備える。共振器（１）は、共振器（１）の振動を表す検出信号を、共振器（１）の励振入力（Ｅ）に接続されるフィードバックループに供給する検出手段を備える。検出信号は、オシレータのフィードバックループの導電率を制御する。全ての共振器の励振入力は、共振装置の出力を構成する共通部に接続される。容量性負荷（５）は、共通部と基準電圧（ＧＮＤ）との間に接続される。 （もっと読む）

【課題】検出感度を高めた振動子を提供すること。
【解決手段】本発明の振動子は、厚みすべり振動モードで振動する振動体と、前記振動体の第１の面における、第１の領域に形成された第１の吸着膜と、前記振動体の前記第１の面と対向する第２の面における、第２の領域に形成された第２の吸着膜と、表面に前記振動体を立設された基板と、を備え、前記振動体は、前記第１の面及び前記第２の面とは異なる第３の面において前記基板に接していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】共振中心周波数、帯域幅の調整が容易な結合共振器アレイ及びそれを使用したフィルタ並びに発振器を提供する。
【解決手段】結合共振器１６_ｉのアレイ１０は、入力電気信号Ｖｅを供給するための手段１２と、この入力電気信号を使用してアレイのＮ個の結合共振器１６_ｉを電気的に励起するための手段１４とを備える。電気励起手段１４は、これらＮ個の結合共振器１６_ｉのそれぞれに関して、入力電気信号に従ってこの結合共振器を作動させるために入力電気信号供給手段１２に接続された作動手段１８_ｉと、この結合共振器１６_ｉを作動させるための結合共振器固有の可変利得入力増幅手段２０_ｉとを備える。さらに、それらは、入力増幅手段２０_ｉのそれぞれの可変利得の特定の設定を制御するための手段２２を備える。 （もっと読む）

タイミング発振器ならびにこれに関連する方法および装置が記述される。タイミング発振器は、主要素と、該主要素に結合された副要素とを持った機械的共振構造を備えることが可能である。タイミング発振器は、時間およびデータの同期目的のために、コンピュータおよび携帯電話機を含む多数の装置においてタイミング発振器が有効に使用されることを可能にする、非常に高い周波数で低い位相雑音を持った安定した信号を生成することができる。タイミング発振器によって生成される信号は、駆動回路および補償回路を使用して調節されることができる。
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【課題】部品点数を少なくして製造コストを低減でき、低消費電力でジッタの影響を受け難い高性能のＳＡＷセンサを提供する。
【解決手段】ＳＡＷセンサ１１はＳＡＷセンサ素子１２とそれからの信号を処理するための集積回路１３とを有する。ＳＡＷセンサ素子１２は、片持ちに支持される圧電基板１４が固定端側の厚板部１６ａと自由端側の厚板部１６ｂとそれらの間の薄板部１６ｃとを有する。薄板部には検出用ＳＡＷ共振子１７が、固定端側の厚板部には基準用ＳＡＷ共振子１８が、自由端側の厚板部１６ｂには第１及び第２クロック用ＳＡＷ共振子１９，２０が形成される。集積回路は、検出用及び基準用ＳＡＷ共振子にそれぞれ接続した検出用及び検出用発振回路２１，２２と、第１及び第２クロック用ＳＡＷ共振子１９，２０にそれぞれ接続した第１及び第２クロック用発振回路２３，２４と、それらに接続した周波数混合器２９，３２及び周波数検波部３１とを有する。 （もっと読む）

メガソニックプロセス装置および方法は、少なくとも３００ｋＨｚの基本共振周波数で厚さ方向モードで作動する１つ以上の圧電振動子を備える。発生器は、所定のスイープ周波数領域で変動する変動周波数駆動信号で振動子を起動する。発生器は、全振動子の共振周波数を含むスイープ周波数領域中で駆動信号の周波数を繰り返し変動させあるいはスイープする。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片を高精度かつ容易にマウントすることができるだけでなく、耐久性を向上させることができる圧電振動子及びこれを備える電波時計、発振器並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】 複数の圧電振動片２４，２５，２６とこれら複数の圧電振動片２４，２５，２６を囲む枠状部２９とが一体的に形成されてなる圧電振動子板２と、この圧電振動子板２を厚さ方向に挟む板状の蓋部材６及びベース部材７と、を備え、前記枠状部２９と前記蓋部材６、並びに、前記枠状部２９と前記ベース部材７とが、陽極接合されていることを特徴とする。 （もっと読む）

機械的発振器（２０）が、サブミクロンの範囲の寸法を有する構成要素を有し、ギガヘルツの範囲において共振モードの発振を生じる。大きな要素（２１）が、小さなサブミクロンの要素（２２）と結合され、直ちに利用可能な技術を用いて検出される大増幅のギガヘルツ周波数発振を生じる。機械的構造は、ビームと、リングとを含む多くのジオメトリに従って形成され得、静電気と、磁気と、熱に関係する力ならびに他の励起技術を用いて励起される。機械的構造は、増幅およびミキシングなどの適用のためにアレイに配列され得、電気的または光学的な相対物よりも衝撃および放熱の環境に対して感応しにくい。
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【課題】 温度の影響及び熱衝撃に左右されない水晶マイクロバランスを得る。
【解決手段】 ＳＣカット水晶振動子と、Ｃモード、Ｂモード切り替え型発振回路と、周波数カウンタと、周波数情報処理装置とを備えたＳＣカット水晶マイクロバランスであって、周波数情報処理装置からの信号によりＣモード、Ｂモード切り替え型発振回路を切り替え、Ｃモード及びＢモードの周波数をそれぞれ測定し、Ｂモードの周波数変化による温度情報に基づきＣモードの周波数変化量から温度変化による変化分を補正して質量変化を測定するＳＣカット水晶マイクロバランスを構成する。 （もっと読む）

【課題】 水晶発振器を用いながらも、その突発的な周波数変化を検知し、状況によっては補正することのできる周波数基準信号の発生装置および発生方法を提供する。
【解決手段】 ｎ個（ｎは３以上の整数）の例えば水晶発振器を用いた信号発生装置ＯＳＣ１〜ＯＳＣｎと、信号発生装置ＯＳＣ１の出力信号を基準信号として出力する出力信号切換手段ＳＷと、その基準信号を基準にして残りの信号発生装置の出力信号の周波数を検出するｎ−１個の周波数検出手段（ゲート信号作成回路ＧＳＧ、パルスカウンタＰＣ１〜ＰＣｎ−１）を備え、その周波数検出手段の出力は外部に出力される。そして、出力信号切換手段ＳＷは、周波数検出手段の出力に基づいて基準信号の周波数に突発的な変化があったと判断された場合に、制御信号に基づいて他の信号発生装置の出力信号を基準信号として出力するように切り換える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、水晶振動子の２つの振動モードによる発振信号と同時に且つ安定的に発振することが可能な水晶発振器を提供することを課題とする。
【解決手段】 水晶振動子Ｘｔａｌの出力をＢ、Ｃモード側それぞれ２つの水晶共振子Ｆ１１，Ｆ１２及びＦ２１，Ｆ２２に入力する。そして、これらの出力をトランジスタＴｒ１１、Ｔｒ１２及びＴｒ２１、Ｔｒ２２によって位相結合する。これにより、周波数変動に対して安定した位相と利得を持つ信号が得られるので安定した発振を行なえる。またビート信号を用いて温度補償制御を行ない、また水晶振動子Ｘｔａｌをその端子から過熱する。 （もっと読む）

従来技術の不利な点を取り除き、特性（１）高い長期安定性、（２）低位相雑音、（３）高耐熱性、（４）その基準発振器の周波数についての正確な値、を改善したＭＥＭＳ基準発振器を提供することが、本発明の目的である。
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