【課題】圧電基板と支持基板とを接着層を介して貼り合わせた複合基板につき、内部に気泡が生じるのを防止する。
【解決手段】（ａ）裏面１１ａに微小な凹凸が形成された圧電基板２１と、圧電基板２１に比べて熱膨張係数が小さい支持基板１２とを用意し、（ｂ）微小な凹凸を埋めるように裏面１１ａに充填剤を塗布して充填層２３を形成し、（ｃ）算術平均粗さＲａが（ａ）における裏面１１ａの算術平均粗さＲａよりも小さくなるように充填層２３の表面を鏡面研磨し、（ｄ）充填層１３の表面１３ａと支持基板１２の表面とを接着層１４を介して貼り合わせて複合基板２０を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ダイシングラインに吸収材が流出せず、生産が容易な表面弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】 基板１１上に設けられ、入力ＩＤＴ１２ａ、出力ＩＤＴ１２ｂを有する表面弾性波デバイスであって、入力ＩＤＴ１２ａ、出力ＩＤＴ１２ｂとダイシングラインＤとの間の少なくとも一部に流止溝１３ａ、１３ｂが形成され、入力ＩＤＴ１２ａ、出力ＩＤＴ１２ｂと流止溝１３ａ、１３ｂとの間に入力ＩＤＴ１２ａ、出力ＩＤＴ１２ｂを通過して伝播した表面弾性波を吸収するアブソーバ材１４ａ、１４ｂが塗布されている。 （もっと読む）

【課題】圧電基板の裏面を粗くすることなく、バルク波による周波数特性の劣化を抑制することができる弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】弾性波デバイス１０は、（ａ）一方の主面１２ａにＩＤＴ１４，１６が形成され、ＩＤＴ１４により励振された弾性波が伝搬する圧電基板１２と、（ｂ）圧電基板１２の他方の主面１２ｂに接合された付加部材２０とを備える。付加部材２０は、ＩＤＴ１４により励振されたバルク波のうち、圧電基板１２内を圧電基板１２の他方の主面１２ｂに向かって伝搬し、他方の主面１２ｂから付加部材２０に入射する入射成分が、付加部材１２内において乱反射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 不要な弾性表面波を確実に吸収するとともに、小型化に寄与する。
【解決手段】 弾性表面波素子１は、圧電性基板２上に形成された入力電極部３、出力電極部４、及び遮蔽用電極部５と、中空部６を残して圧電性基板２を覆うとともにその一部が吸収部７，８として機能するモールド樹脂層９とを備えている。ここで、中空部６には、入力電極部３、出力電極部４、及び遮蔽用電極部５と、弾性表面波の伝搬領域とが収容されている。吸収部７（８）は、不要な弾性表面波を吸収する機能と、樹脂モールドとしての機能とがともに十分果たされるように、その弾性表面波の伝搬方向に沿った幅が、所定値以上となるように形成される。 （もっと読む）

【課題】周波数のばらつきが小さいラム波装置を提供する。
【解決手段】ラム波装置１０２は、圧電体薄膜１０６と、圧電体薄膜１０６の主面に設けられたＩＤＴ電極１０８と、ＩＤＴ電極１０８及び圧電体薄膜１０６の積層体１０４を支持し、積層体１０４を離隔させるキャビティ１８０が形成された支持構造体１２２とを備える。圧電体薄膜１０６の膜厚ｈ及びＩＤＴ電極１０８のフィンガー１１０のピッチｐは、音速が５０００ｍ／ｓ以上となる高次モードのラム波が目的の周波数において励振されるように選択される。圧電体薄膜１０６の結晶方位は、圧電体薄膜１０６の支持構造体１２２の側にある下面１０６２のフッ酸に対するエッチングレートが、十分に遅くなるように選択する。 （もっと読む）

【課題】通過帯域内リップルを抑圧することができ、かつ特性ばらつきが少ないトランスバーサル型弾性表面波フィルタ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ウエハ上に、入力側ＩＤＴ電極５及び出力側ＩＤＴ電極６を形成し、ウレタン樹脂からなる主剤と、ポリイミド樹脂からなる副剤とを含む二液型のウレタン系熱硬化型ダンピング剤を付与し、加熱により硬化し、ダンピング材２６，２７を形成し、ウエハを切断して個々の弾性表面波フィルタ素子を得た後に、各弾性表面波フィルタ素子をパッケージに収納し、さらにダンピング材２６，２７の硬化温度よりも高い温度で加熱処理する、トランスバーサル型弾性表面波フィルタ装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】圧電基板に水晶基板を用い、ＳＨ波を利用した、端面反射波の影響が少なく、小型化したＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＡＷデバイス１０は、水晶基板７１と、水晶基板上に形成されＡｌ又はＡｌを主成分とする合金からなるＩＤＴ電極７２とを備え、水晶基板は、そのカット角θを結晶Ｘ軸を回転軸とした結晶Ｚ軸の回転角度とし、結晶＋Ｚ軸から結晶＋Ｙ軸側へ回転させる方向を前記カット角が負となる回転方向とした時に、カット角を結晶Ｚ軸より−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶Ｘ軸に対し９０°±５°とした水晶平板であり、励振する弾性表面波の波長をλとした時、ＩＤＴ電極の波長で基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２とした励振波をＳＨ波としたＳＡＷデバイスであって、弾性表面波の伝搬方向と水晶基板の長辺方向の間のなす傾斜角θ_Eを０°＜θ_E＜３°とする。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの端面反射防止、耐湿性の双方に良好な特性を示し、且つ生産性が高く安価に提供することのできるＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】実装基板２０に対して、ＩＤＴ電極１６を形成したＳＡＷ素子片１２をフリップチップ実装し、これを封止樹脂３４で被覆したＳＡＷデバイス１０であって、圧電基板１４におけるＳＡＷの伝搬方向と平行に、ＩＤＴ電極１６を挟み込むように対を成し、封止樹脂３４がＳＡＷと直交する方向からＩＤＴ電極１６側へ浸入することを防ぐ阻止壁１８を設け、封止樹脂３４は、圧電基板１４においてＩＤＴ電極１６と実装基板２０との間に気密空間Ｓを形成しつつＩＤＴ電極１６から励起されたＳＡＷが直接到達する箇所を覆う第１の樹脂３０と、少なくとも第１の樹脂３０の外表面と実装基板１４の上面とを被覆する第２の樹脂３２とから成り、第２の樹脂３２よりも第１の樹脂３０の硬度を低くしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波素子において、圧電基板に対するアブソーバの接合強度を向上させることができる弾性表面波素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１は、圧電基板１０上に入力側櫛形電極１２と、その電極に接続されている入力側電極パッド１６と、出力側櫛形電極２０と、その電極に接続されている出力側電極パッド２４及び、圧電基板１０の両端部には、不要な弾性表面波を吸収又は減衰させるアブソーバ２８と、が設けられている。さらに、圧電基板１０上にＡｌ層によるベース部３２を形成し、ベース部の上にＡｌ₂Ｏ₃膜３３を形成し、その上に吸収材２９が接合するようにアブソーバ２８を形成する。結合強度を高めたこのアブソーバ２８によって、信号検出における不要な弾性表面波をより多く減衰させることでフィルタ特性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】圧電基板の端部で反射した弾性表面波を減衰量を特性を考慮して所定の膜厚である吸収部を有する弾性表面波素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１０は、弾性表面波を励振させるための入力電極１２、出力電極１４と、不要な弾性表面波を吸収する吸収部１６ａ、１６ｂとが圧電基板１８上に形成され、吸収部１６ａ、１６ｂは、フォトレジストで形成され、前記弾性表面波の波長をλとして吸収部１６ａ、１６ｂの膜厚ｈが０．７λ以上２０λ以下である。また、吸収部１６ａ、１６ｂの膜厚ｈは、好ましくは１λ以上１０λ以下であり、さらに好ましくは略１λである。 （もっと読む）

【課題】フィルタ特性の劣化を招くことなく、小型化を進めることが可能なトランスバーサル型の弾性表面波フィルタ装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２の第１の主面２ｃ上において、傾斜型ＩＤＴ電極からなる入力側ＩＤＴ３及び出力側ＩＤＴ４が表面波伝搬方向において隔てられて設けられており、入力側ＩＤＴ３の弾性表面波伝搬方向外側の第１の端面２ａ側の領域に第１の吸音材７が、出力側ＩＤＴ４の表面波伝搬方向外側の領域である第２の端面側の領域に第２の吸音材８が設けられており、第１，第２の吸音材７，８が、それぞれ、入力側ＩＤＴ３及び出力側ＩＤＴ４の表面波伝搬方向外側端部から、該入力側ＩＤＴ３及び出力側ＩＤＴ４の一部に至るように設けられている、弾性表面波フィルタ装置１。 （もっと読む）

【課題】機能面にＳＡＷ素子などの振動子または可動部などを持つマイクロデバイスが組み込まれてモジュール化され、不要波の減衰を促進して電気的特性を改善したマイクロデバイスモジュール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】パッケージ基板１０の凹部１１の底面に第１電極１２が形成され、その外壁に第２電極１３が形成され、機能面に可動部または振動子が形成された機能素子を有するデバイス基板２１と機能面側に形成された突起電極２３とを有するマイクロデバイス２０が、突起電極が第１電極に接続し、機能面が凹部の底面に接しないように、凹部内にマウントされている。機能素子部分を除いてマイクロデバイスを被覆し、機能素子が封止されて中空部分３１が構成されるように、凹部を埋め込んで樹脂層３０が形成されている。第２電極により実装基板に実装される構成のマイクロデバイスモジュールが構成されている。 （もっと読む）

【課題】トランスバーサル型フィルタの基板端面で反射された表面波は、スプリアスとなって信号にリップルを発生させる。故に、自動的に効果的にスプリアス対策を施し、十分にコストの低減を図る。
【解決手段】圧電体基板１の表面に、表面波の伝搬方向に沿って、２以上のＩＤＴ２や３（インターディジタルトランスデューサ）を配置する。圧電体基板１を表面波の伝搬方向に見たときの両端部近傍に、圧電体基板１の表面を凹凸加工した粗面を設ける。この粗面は、表面波の波長をλとしたとき、当該表面波の伝搬方向にλ以上の幅を有し、かつ、圧電体基板１の、表面波の伝搬方向と垂直な方向に見て全面に延長される長さを有する。 （もっと読む）

【課題】圧電体基板の端部に反射された波が、電極に入ることを効果的に防止する。
【解決手段】弾性表面波フィルタ1は、圧電体基板2上に、弾性表面波の進行方向と略直交する向きに延びた複数の電極指30、30を有する入力電極3及び出力電極4を具えている。圧電体基板2の端部は、該端部に伝達される弾性表面波の反射を抑えるべく、膨らみを外側に向けた円弧状に形成されている。圧電体基板2の端部は半円状、又は１／４円状であり、圧電体基板2上にて、両電極3、4の弾性表面波進行方向に沿う外側には、吸音剤5が塗布されている。 （もっと読む）

【課題】マルチブレードを持ち、生産性の向上と品質維持とを達成できるダイシング装置およびダイシング方法を提供する。
【解決手段】スピンドル１に複数枚のブレード３〜５を軸方向に一定ピッチ間隔で取り付ける。各ブレードはそれぞれ厚みおよび径が異なり、かつ軸方向の一方側から他方側に向かうに従いブレードの厚みが薄くかつ径が大きい。スピンドル１を回転させながら厚みが厚くかつ径が小さいブレード３で被加工物Ｗをハーフカットし、次に被加工物Ｗをスピンドルの軸方向にブレードのピッチＳ分だけ相対移動させ、厚みが薄くかつ径が大きいブレード４，５で既にハーフカットされた被加工物Ｗを更にハーフカットあるいはフルカットする。 （もっと読む）

【課題】挿入損失の悪化をさほど招くことなく、帯域外減衰量の拡大を図り得る端面反射型表面波フィルタを提供する。
【解決手段】 ＳＨタイプの表面波を利用した縦結合共振子型表面波フィルタであって、圧電基板２の上面２ａにおいて、所定距離を隔てて互いに平行に第１，第２の溝２ｂ，２ｃが形成されており、溝２ｂ，２ｃ間において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタを構成するためのＩＤＴ５，６が形成されており、第１，第２の溝２ｂ，２ｃのＩＤＴが形成されている側の側面２ｂ₁，２ｃ₁が反射端面を構成しており、圧電基板２の上面２ａにおいて、（ａ）ＩＤＴ５，６の２０％以上を覆うように樹脂被覆層３または（ｂ）ＩＤＴ５，６を覆うようにＳｉＯ₂膜からなる保護層が形成されている、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１。 （もっと読む）

反射端面を高精度かつ容易に形成することができ、製造に際しての基板のチッピングが生じ難く、小型化及び低背化を進めることができる端面反射型弾性表面波装置を提供する。
基板２と、基板２上に形成された圧電薄膜３と、圧電薄膜３上に形成されたインターデジタル電極４〜７とを備え、インターデジタル電極４〜７の最外側の電極指の近傍に反射部１０，１１，１４，１５が設けられており、該反射部１０，１１，１４，１５が圧電薄膜３に凹部を形成することにより設けられている、端面反射型弾性表面波装置１。 （もっと読む）