【課題】特性の劣化を抑制することができる電子部品を提供する。
【解決手段】圧電基板１０と、圧電基板１０上に設けられた直列共振子Ｓ１〜Ｓ６及び並列共振子Ｐ１〜Ｐ６と、圧電基板１０上に設けられ、直列共振子Ｓ１〜Ｓ６又は並列共振子Ｐ１〜Ｐ６と接続された信号配線１６及び接地配線１８と、直列共振子Ｓ１〜Ｓ６及び並列共振子Ｐ１〜Ｐ６との間に空洞が形成されるように直列共振子Ｓ１〜Ｓ６及び並列共振子Ｐ１〜Ｐ６上に設けられた金属天井２０と、金属天井２０上に設けられた封止部と、を具備し、少なくとも１つの金属天井は、高周波信号を伝送する信号配線１６と接続されている電子部品である。 （もっと読む）

【課題】従来の弾性表面波フィルタは、サイズが大きく、配線電極を立体交差させた場合には、配線電極同士で容量結合が生じ、帯域内特性が劣化するという課題があった。
【解決手段】弾性表面波フィルタ１００は、圧電基板１０１上に形成される第１の縦モード型フィルタ１０７と、第２の縦モード型フィルタ１１３とにより構成される。配線電極１２０、１２１の上には、絶縁層１２２、１２３が設けられており、ＩＤＴ電極１０３、１０９の他方の電極指は、配線電極１２４により接続され、さらに上部に形成され、電気的に接続された配線電極１２５により、接地端子ＧＮＤに接続される電極パッド１２６、１２７に接続される。配線電極１２５の電極幅において、絶縁層１２３を介して配線電極１２１と配線電極１２５とが立体交差する部分の電極幅は、他の部分の電極幅に比べて小さく構成されている。 （もっと読む）

【課題】通過周波数帯域における周波数特性の平坦性の劣化を抑えながら、ＥＳＤ耐性に優れた弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】電極指１２、１２の交差領域からバスバー１１側に離れた位置において、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間及び互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間に夫々第１のフロートダミー電極１６、１６及び第２のフロートダミー電極１８を設けて、これらフロートダミー電極１６、１８を他の部位から電気的に浮いた状態にすると共に、これらフロートダミー電極１６、１８をＩＤＴ電極１における電極指１２の配列パターンに対応するように形成する。 （もっと読む）

【課題】耐湿性が向上し、耐湿試験での電気特性の変化を防止することができる弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板１２の主面１２ａに、ＩＤＴ２０を形成する第１の導電膜に隣接し、かつ第１の導電膜の周囲を取り囲むように、第１の絶縁膜１４が形成されている。圧電基板１２の主面１２ａと、第１の絶縁膜１４と、第１の導電膜とに接合されるように、第２の導電膜２８が形成されている。第１の絶縁膜１４に接合され、第１の導電膜を覆うように、第２の絶縁膜１６が形成されている。第１の導電膜と第１の絶縁膜１４との境界部分と第２の導電膜２８とが交差する領域及びその近傍領域において、第２の導電膜２８と第１の導電膜との間及び第２の導電膜２８と第１の絶縁膜１４との間に延在するように、目張り膜２６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】小型で通過帯域特性を向上した弾性表面波フィルタを提供することを目的としている。
【解決手段】弾性波フィルタは、圧電基板と、圧電基板上に形成された複数のＩＤＴ電極と、複数のＩＤＴ電極にそれぞれ接続される第１、及び第２の配線電極とを備えた弾性表面波フィルタであって、前記第１の配線電極は入力側のＩＤＴ電極に接続され、前記第２の配線電極は出力側のＩＤＴ電極に接続され、前記第１、及び前記第２の配線電極とは絶縁層を介して立体交差する構成であると共に、第１の配線電極５０１は、立体交差部において、電極幅が他よりも小さい構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧電基板のクラックの発生を抑制し、弾性波デバイス及びこれを用いたフィルタ、デュプレクサの信頼性を向上させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、圧電基板９と、圧電基板９の上に設けられたＩＤＴ電極１０と、圧電基板９の上にＩＤＴ電極１０を覆うように設けられた誘電体層１１と、誘電体層１１の上に設けられた応力緩和層１２と、ＩＤＴ電極１０と接続されると共に応力緩和層１２の上に引き出された引き出し電極１３と、引き出し電極１３の上に設けられたバンプ１４と、を備え、応力緩和層１２の弾性率は誘電体層１１の弾性率よりも小さい構成とする。 （もっと読む）

【課題】平衡型端子を有する弾性表面波フィルタに関して、バランス特性が劣化するという課題があった。
【解決手段】圧電基板（１０１）上に形成された複数のインターディジタルトランスデューサ電極（ＩＤＴ電極）とを備えた弾性表面波フィルタ素子であって、前記複数のＩＤＴ電極の内、少なくとも一つのＩＤＴ電極は平衡型端子に接続され、他のＩＤＴ電極は平衡型端子または不平衡型端子または接地電極に接続され、前記少なくとも一つのＩＤＴ電極に接続された第１の配線電極手段は、前記他のＩＤＴ電極に接続された第２の配線電極手段と異なる平面上に配置されており、前記弾性表面波フィルタ素子は、前記第１の配線電極手段と前記第２の配線電極手段との間に保護膜（１９０２）を備えると共に、前記弾性表面波フィルタ素子の上方からみて、前記第１及び第２の配線電極手段は交差する部分を有する。 （もっと読む）

【課題】配線間の寄生容量を低減する構造を低コストで実現する。
【解決手段】圧電基板１と、圧電基板１上に形成された櫛歯型電極を含む共振器２ａ及び２ｂと、櫛歯型電極に接続された配線部３と、櫛歯型電極を覆うように形成された誘電体層４とを備える弾性波フィルタであって、配線部３は、櫛歯型電極と同層の下層配線部３ｄと、下層配線部３ｄの上部に配された上層配線部３ｅとを備え、上層配線部３ｅは、下層配線部３ｄの電極幅よりも大きな電極幅を有する領域を備えている。 （もっと読む）

【課題】 抵抗損失を低減させることができる弾性表面波装置を提供する。また、製造工程におけるＩＤＴ電極の損傷を抑制することができる弾性表面波装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る弾性表面波装置１は、圧電基板７と、圧電基板７上に形成されたＩＤＴ電極９と、圧電基板７上に形成され、ＩＤＴ電極９を外部端子に接続するための電極パッド１１と、圧電基板７上に形成され、ＩＤＴ電極９と電極パッド１１とを接続する接続配線１３と、を備える。ＩＤＴ電極９は、第1の厚さを有し、電極パッド１１は
、第1の厚さより大きい第２の厚さを有している。接続配線１３の厚さは、第1の厚さより大きく且つ第２の厚さより小さいことを特徴とする。また、本発明に係る弾性表面波装置１の製造方法は、ＩＤＴ電極９及び接続配線１３上にレジストＲ３を塗布し、ＩＤＴ電極９と接続配線１３との接続部分を少なくとも覆うようにレジストＲ３をパターニングする工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 通過帯域近傍の帯域外減衰量と、通過帯域外のより高周波側における帯域外減衰量とを両立させて向上させることができる弾性表面波装置、及び通信装置を得る。
【解決手段】 第１のＩＤＴ電極１の基準電位バスバー電極１ａを、伝搬方向に沿った方向の延長上で且つ第１のＩＤＴ電極１側に位置する基準電位電極１２の第１の部位２５に第１の接続配線３０を介して接続し、第３のＩＤＴ電極３の基準電位バスバー電極３ａを、伝搬方向に直交する方向の延長上にある基準電位電極１２の第２の部位２６に第２の接続配線３１を介して接続し、第２のＩＤＴ電極２の基準電位バスバー電極２ａを、第２の部位２６から基準電位電極１２に沿って第１の部位２５に向かう方向で且つ第１の部位２５と所定間隔だけ離れた第４の部位２８に第４の接続配線３３を介して接続し、基準電位電極１２の第４の部位２８と第５の部位２９との間にギャップＧを設ける。 （もっと読む）

【課題】弾性境界波素子の電気通過特性向上と弾性境界波素子と外部電子部品の電気的接続信頼性向上との両立を図る。
【解決手段】本発明の弾性境界波素子８は、圧電体９と、この圧電体９の上に形成されたＩＤＴ電極層１０と、圧電体９の上に形成されると共にＩＤＴ電極層１０に電気的に接続されたパッド電極層１１と、圧電体９の上にＩＤＴ電極層１０の少なくとも一部を覆うように形成された第１誘電体層１２と、圧電体９の上に第１誘電体層１２を覆いかつパッド電極層１１の上面の少なくとも一部を露出する開口部１４を有するように形成されてパッド電極層１１の側面を構成する金属に対する拡散性が第１誘電体層１２より低い媒質からなる第２誘電体層１３とを備え、第２誘電体層１３は、パッド電極層１１の側面を覆うように形成され、第１誘電体層１２は、パッド電極層１１の側面に接することなく形成された構成とする。 （もっと読む）

【課題】素子側パッドにおいて異種金属間の合金発生や保護膜の剥離を防ぎ、接合強度を向上させることができる、弾性波装置を提供する。
【解決手段】実装基板に実装される弾性波素子の素子側パッド７ａは、第１電極部３０と第２電極部４０とを含む。第１電極部３０は、圧電基板５の一方主面５ａに形成され、少なくともＡｌ層３２を含む。第２電極部４０は、第１電極部３０の一方主面３０ａの中心部３０ｓに接して形成され、少なくとも、一方主面４２ｓに露出するＡｕ層４２を含む。保護膜２９ａは、第１電極部３０の外周３０ｋ及び一方主面３０ａの中心部３０ｓの周囲３０ｔに延在し、第１電極部３０の一方主面３０ａの中心部３０ｓの周囲３０ｔに延在する部分２９ｓが、第１電極部３０と第２電極部４０との間に挟まれている。 （もっと読む）

【解決手段】アンテナデュプレクサに、送信周波数帯域において動作しかつ出力端子をもつ送信フィルタと、受信周波数帯域において動作しかつ入力端子をもつ受信フィルタと、前記送信フィルタの出力端子に接続されたアンテナ接続部と、前記アンテナ接続部および前記受信フィルタの入力端子に接続されたマッチング素子とを設置し、マッチング素子に、送信フィルタおよび受信フィルタとともに、０．５０×ｆ_０≦ｆ≦０．７５×ｆ_０（ここで、ｆ_０(受信周波数帯域の中間周波数)は２０００ＭＨｚを上回る）の周波数帯域における送信信号を抑圧させる。 （もっと読む）

【課題】レジストの現像に際しての電極材料の腐食が生じ難く、電気的接続の信頼性に優れた弾性波装置の製造方法を得る。
【解決手段】圧電基板１の上面に、複数の金属膜を積層してなる第１の積層導電膜からなる第１の電極３を形成する工程と、第１の電極３を形成した後に、レジスト層を形成し、現像液によりパターニングし、開口部４ａを有するレジストパターン層４を形成する工程とを備え、上記現像処理に先立ち、開口部４ａが形成される部分に露出することとなる第１の電極３の側面部分を覆うように絶縁膜６を形成し、絶縁膜６により第１の電極３の側面を保護して現像処理を行う、弾性波装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高精度なプローブ測定が可能な弾性波装置を提供する。
【解決手段】ＩＤＴ１１は、互いに間挿し合う第１及び第２のくし歯電極２１，２２を有する。第１の配線１３は、第１のくし歯電極２１に電気的に接続されている。第２の配線１４は、第２のくし歯電極２２に電気的に接続されている。第１のプローブパッド１６は、第１の配線１３に電気的に接続されている。第２のプローブパッド１７は、第２の配線１４に電気的に接続されている。第１のプローブパッド１６と第２のプローブパッド１７との両方がＩＤＴ１１に対して第１の方向の一方側に配置されている。第１の配線１３が第１のプローブパッド１６から第１の方向に垂直な第２の方向の一方側に引き出されている一方、第２の配線１４が第２のプローブパッド１７から第２の方向の他方側に引き出されている。 （もっと読む）

【課題】パターン設計に裕度があり、１枚の基体からの取得デバイス数を低下させないでバンプを形成する中空封止素子の製造方法を提供する。
【解決手段】櫛歯電極等を形成した基体上にバンプ形成部が開口するように第1レジストを成膜し、基体全面に給電層を形成し、バンプ形成部が開口するように第２レジストを成膜し、給電層を通して基体の周縁より給電する電気めっき法で第２レジストの開口にバンプを形成し、第２レジストを除去し、バンプをマスクとしてバンプ部以外の給電層を除去し、第1レジストを除去する。 （もっと読む）

【課題】梯子型の弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタの耐熱性を向上させて耐電力性を向上させる。
【解決手段】複数のＳＡＷ共振子は、それぞれ１つのＩＤＴ及び２つの反射器を有している。各ＳＡＷ共振子の間、ＳＡＷ共振子と入力ボンディングパッドとの間、ＳＡＷ共振子と出力ボンディングパッドとの間、及び各ＳＡＷ共振子とアースボンディングパッドとの間が、接続パターン１１４で接続されて梯子型回路が構成されている。接続パターン１１４及びボンディングパッドの上側に基板よりも、熱伝導率の大きい誘電体膜１１６を蒸着して耐熱性を向上させている。 （もっと読む）

【課題】 挿入損失劣化を低減し、小型化を実現した弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 第１，第２の弾性表面波共振子１８，１９は、中心共通バスバー電極２９の両側に、中心共通バスバー電極２９により接続されて形成され、中心共通バスバー電極２９に不平衡入（出）力端子２２が接続されており、弾性表面波素子２０，２１と第１，第２の弾性表面波共振子１８，１９とは、隣接して伝搬方向に直交する方向に並んで配置され、互いのバスバー電極が絶縁体３２，３３を介して重なって配置されており、弾性表面波素子２０，２１の各中央のＩＤＴ電極のバスバー電極が平衡入（出）力端子２３，２４に接続され、弾性表面波素子２０，２１の各中央のＩＤＴ電極以外のもののバスバー電極が弾性表面波共振子１８，１９のＩＤＴ電極のバスバー電極に、絶縁体３２，３３を介して並列接続されている。 （もっと読む）

【課題】配線パッドの厚さを均一に形成することができるとともに、併せて櫛歯電極などの焦電破壊を防止すること。
【解決手段】金属膜をエッチングして圧電基板１２上に反射器及び櫛歯電極１３，１４を形成するとともに、金属膜２１の残りによって導通パターンを形成するエッチング工程と、圧電基板の全面にＳｉＯ_２膜２３を成膜するＳｉＯ_２膜形成工程と、ＳｉＯ_２膜２３のうち電極形成領域に相当する部分を除去し、露出した金属膜の一部によって電極形成領域を形成するＳｉＯ_２膜除去工程と、電解めっきを用いて電極形成領域上に配線電極１６を形成する配線電極形成工程と、導通パターンのうち配線パターンとして残すべき部分、反射器１９及び櫛歯電極１３，１４以外の領域のＳｉＯ_２膜２３及び補助パターン９９を除去する膜除去工程とを有する表面弾性波素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】小型で通過帯域特性を向上した弾性表面波フィルタを提供することを目的としている。
【解決手段】弾性表面波フィルタ１００は、ＩＤＴ電極１０２、１０３、１０４と反射器電極１０５、１０６とにより構成し、ＩＤＴ電極１０２、１０３、１０４の一方の電極指は、電極パッド１０７に配線されてそれぞれ接地端子ＧＮＤに接続し、ＩＤＴ電極１０２、１０４の他方の電極指は、配線電極１０８により電極パッド１０９に配線されて出力端子ＯＵＴに接続し、ＩＤＴ電極１０３の他方の電極指は、配線電極１１０により電極パッド１１１に配線されて入力端子ＩＮに接続し、配線電極１０８と配線電極１１０とは、絶縁層１１２を介して立体交差させた構成である。 （もっと読む）