【課題】圧電性結晶材料などの異方性を有する前記素子材料の表面に損傷を与えることなく、簡便に結晶軸の方向を明確に認識することにより、製造工程の効率化や収率向上が図れるような結晶軸合わせ手法を採用したボールＳＡＷデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】特定の結晶軸方向に光の旋光性を有する透明な球状の圧電性結晶材料の表面に、前記弾性表面波励起手段にあたる電気音響変換手段を形成するにあたり、前記結晶材料に偏光光を入射すると共に、その透過光を、ある偏光方向の光を選択的に高い透過率で通過させる偏光選別手段を経て観察し、前記結晶材料の旋光性と屈折効果に基づく光強度分布を観察すると共に、前記結晶材料に対する前記光強度分布の位置情報により、結晶軸方向を認識する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 実装後の応力の影響による周波数特性の変動を抑制することが可能な弾性表面波デバイスを提供すること。
【解決手段】 基板(10)の一方面側に設けられた弾性表面波素子(14,16)と、上記弾性表面波素子の周囲を囲むようにして上記基板の少なくとも一方面側に設けられる溝(18)と、上記弾性表面波素子の動作を制御する機能を有し、上記基板の他方面側に設けられる半導体回路(24)と、を備える弾性表面波デバイス(1)である。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子の周回経路に傷をつけることが無く、しかも球状弾性表面波素子電極の引出が容易な球状弾性表面波素子の製造方法が可能な技術が望まれていた。
【解決手段】球状弾性表面波素子固定工程において、球状弾性表面波素子の形状に対応する凹部に吸着機能と一方の支持体電極を持つ一方の支持体で球状弾性表面波素子を吸着することで一方の支持体電極と一方の球状弾性表面波素子電極との間に導通を行い、他方の支持体電極を有する他方の支持体で挟み込んで他方の支持体電極と他方の球状弾性表面波素子電極との間に導通を行うことを特徴とする球状弾性表面波素子の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】圧電体基板の端部に反射された波が、電極に入ることを効果的に防止する。
【解決手段】弾性表面波フィルタ1は、圧電体基板2上に、弾性表面波の進行方向と略直交する向きに延びた複数の電極指30、30を有する入力電極3及び出力電極4を具えている。圧電体基板2の端部は、該端部に伝達される弾性表面波の反射を抑えるべく、膨らみを外側に向けた円弧状に形成されている。圧電体基板2の端部は半円状、又は１／４円状であり、圧電体基板2上にて、両電極3、4の弾性表面波進行方向に沿う外側には、吸音剤5が塗布されている。 （もっと読む）

【課題】マルチブレードを持ち、生産性の向上と品質維持とを達成できるダイシング装置およびダイシング方法を提供する。
【解決手段】スピンドル１に複数枚のブレード３〜５を軸方向に一定ピッチ間隔で取り付ける。各ブレードはそれぞれ厚みおよび径が異なり、かつ軸方向の一方側から他方側に向かうに従いブレードの厚みが薄くかつ径が大きい。スピンドル１を回転させながら厚みが厚くかつ径が小さいブレード３で被加工物Ｗをハーフカットし、次に被加工物Ｗをスピンドルの軸方向にブレードのピッチＳ分だけ相対移動させ、厚みが薄くかつ径が大きいブレード４，５で既にハーフカットされた被加工物Ｗを更にハーフカットあるいはフルカットする。 （もっと読む）

【課題】液体の力学的性質（粘性率，弾性率，密度など）や電気的性質（導電率，誘電率など）の計測に応用することが可能なボールＳＡＷデバイスを実現する。
【解決手段】球面または円筒面の一部で形成され、円環状に連続している円環状表面を有する基材と、前記円環状表面に沿って伝搬する弾性表面波を励起する弾性表面波励起手段とを備えており、前記円環状表面は、弾性表面波が伝搬可能な曲面からなる伝搬路を有していると共に、前記弾性表面波励起手段は、前記円環状表面に沿って設けられ、高周波電源に接続されるすだれ状電極を含んでいる構成の弾性表面波素子（ボールＳＡＷデバイス）を用いて、少なくとも前記円環状表面の一部を溶液に接触させた状態で、前記弾性表面波励起手段により、固液界面を伝搬可能なモードの弾性表面波を励起して伝搬させ、その周回を検出することにより、弾性表面波の伝搬状態を計測する。 （もっと読む）

【課題】 平面型ジャイロのようなエネルギーの漏洩を防ぎつつ、弾性表面波を利用した小型のジャイロを実現する。
【解決手段】 球状部材１１の表面に弾性表面波を励起し、球状部材１１の回転運動に応じて伝搬方向を変化させた弾性表面波を検出する構成により、従来の平面型の弾性表面波ジャイロとは異なり、反射器を備える必要が無いので、弾性表面波を利用した小型のジャイロを実現できる。また、球状弾性表面波素子により実現するので、平面型ジャイロのようなエネルギーの漏洩を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 圧電基板の他方主面に導体層が形成された弾性表面波素子をフェースダウン実装した弾性表面波装置の通過帯域外減衰量を改善する。
【解決手段】 従来、圧電基板２の励振電極形成面とは異なる他方主面の全面に、弾性表面波素子１の作製工程で発生する焦電破壊を防止するために設けていた導体層10を、フィルタ領域９の入力パッド部５および出力パッド部６の少なくとも一方に対向する領域５ａ，６ａを除いて形成することにより、フィルタ領域９の入力パッド部５および出力パッド部６間に形成されていた寄生容量による入力パッド部５および出力パッド部６間の結合量を大幅に小さくすることができる。これにより、通過帯域外減衰量を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】 送信側フィルタおよび受信側フィルタを同一の圧電基板上に作製した弾性表面波素子ではアイソレーション特性が悪かった。
【解決手段】 圧電基板２の一方主面にそれぞれ励振電極３と入力パッド部５，７と出力パッド部６，８とを具備する送信側フィルタ領域12および受信側フィルタ領域13が形成され、他方主面に導体層16が形成された弾性表面波素子１を、実装用基体上に一方主面を対面させて実装しており、導体層16は、送信側フィルタ領域12の入力パッド部５および受信側フィルタ領域13の出力パッド部８の少なくとも一方と対向する領域５’，８’を除いて他方主面に形成されている弾性表面波装置である。送信側フィルタ領域12の入力パッド部５および受信側フィルタ領域13の出力パッド部８間に形成されていた寄生容量を低減することができ、アイソレーション特性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】 送信側フィルタおよび受信側フィルタを同一の圧電基板上に作製した弾性表面波素子ではアイソレーション特性が悪かった。
【解決手段】 圧電基板２の一方主面に送信側フィルタ領域12および受信側フィルタ領域13が形成され、他方主面に導体層16が形成された弾性表面波素子を、実装用基体上に一方主面を対面させて実装しており、導体層16は、送信側フィルタ領域12の入力パッド部５および受信側フィルタ領域13の出力パッド部８の少なくとも一方に対向する領域５’，８’が他の領域と分離されて形成されている弾性表面波装置である。送信側フィルタ領域12の入力パッド部５および受信側フィルタ領域13の出力パッド部８間に形成されていた寄生容量による各フィルタ間の結合量を小さくすることにより、アイソレーション特性を大幅に改善することができる。 （もっと読む）

【課題】 送信側フィルタおよび受信側フィルタを同一の圧電基板上に作製した弾性表面波素子ではアイソレーション特性が悪かった。
【解決手段】 圧電基板の一方主面に導体層を形成する工程および多数の弾性表面波素子領域を形成する工程および圧電基板の他方主面に導体層を形成する工程と多数個の弾性表面波素子を得る工程との間に、または実装する工程の後に、圧電基板の他方主面に形成した導体層を全て除去する工程を具備する弾性表面波装置の製造方法である。圧電基板の他方主面の導体層を全て除去することにより、アイソレーション特性を大幅に改善することができる。 （もっと読む）

素子チップを覆っている樹脂シートを加熱しながら押圧する際に大きなボイドが発生することを防止することができる弾性表面波フィルタ及びその製造方法を提供する。 素子チップ１０は、ＩＤＴ１４及びＩＤＴ１４に電気的に接続されたパッド１６を含む配線パターンが形成された圧電基板１１の一方の主要面１１ａが、実装基板２に対向するように配置され、パッド１６が実装基板２のランド３にバンプ４を介して電気的に接続される。樹脂フィルム６は、圧電基板１１の他方の主要面１１ｂ及び実装基板２の他方の主要面を覆って、素子チップ１０を封止する。圧電基板１１は、一方の主要面１１ａが相対的に大きく、他方の主要面１１ｂが相対的に小さい。 （もっと読む）

反射端面を高精度かつ容易に形成することができ、製造に際しての基板のチッピングが生じ難く、小型化及び低背化を進めることができる端面反射型弾性表面波装置を提供する。
基板２と、基板２上に形成された圧電薄膜３と、圧電薄膜３上に形成されたインターデジタル電極４〜７とを備え、インターデジタル電極４〜７の最外側の電極指の近傍に反射部１０，１１，１４，１５が設けられており、該反射部１０，１１，１４，１５が圧電薄膜３に凹部を形成することにより設けられている、端面反射型弾性表面波装置１。 （もっと読む）