【課題】同一圧電基板上に周波数特性が異なる第１，第２の弾性境界波素子が形成されており、第１，第２の弾性波素子の双方において、スプリアスを抑圧することができる弾性波装置を得る。
【解決手段】圧電基板２の上面２ａが、傾斜面部２ｂと、傾斜面部２ｂ以外の平坦部２ｃとを有し、平坦部２ｃ上に第１の電極３が、傾斜面部２ｃ上に第２の電極４が形成されており、第１，第２の電極３，４をそれぞれ有する第１，第２の弾性波素子５，６が構成されている、弾性波装置１。 （もっと読む）

【課題】好適に球面基体に対しすだれ状電極パターンを形成することのできる弾性表面波素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の球状弾性表面波素子の製造方法は、ポジ型レジストに対し、すだれ状電極パターンを非露光部とする露光を行った後、すだれ状電極パターンを包括する領域を非露光部とする露光を行う。すだれ状電極パターンを包括する領域を非露光部とする二度目の露光を行うことにより、球面基体の表面に対し露光光が斜めに照射される領域を現像工程に必要なエネルギー量まで露光することが出来る。よって、弾性表面波周回路上に導電膜が残存することを抑制することが出来る。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波周回路に何も付着させずに弾性表面波伝搬基体を支持体により支持させたり、新たな感応膜を有した弾性表面波伝搬基体と交換することを、確実に容易に素早く行うことが出来る簡易な構成の球状弾性表面波装置を提供することである。
【解決手段】この装置１０は：外表面の円環状の弾性表面波周回路１２ａに弾性表面波・励起／検知手段１４が設けられている弾性表面波伝搬基体１２と；上記基体の外表面において上記周回路を除く領域が載置された座部１６ａを含む基体支持体１６と；曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体に載置された上記基体の外表面において基体支持体とは反対側で上記周回路を除いた位置に接触するとともに上記接触する位置の両側が基体支持体に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部が基体支持体において上記座部の両側で上記座部から離れた位置に固定された基体弾性保持体１８と；を備える。 （もっと読む）

【課題】構造簡易で製造容易であり、しかも弾性表面波伝搬基体の周回路に励起させ周回させた弾性表面波の強度や位相を製造容易の割には精密に検出出来る球状弾性表面波装置を提供することである。
【解決手段】上記球状弾性表面波装置１０は：少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成され弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路１２ａを外表面に含む基体１２と；上記基体の上記外表面において上記周回路を除く領域を支持する基体支持体１４と；そして、弾性表面波・励起／検知手段１６を支持している弾性変形部材１８を支持し、弾性変形部材を介して上記励起／検知手段を上記基体の上記外表面の上記周回路に当接させるとともに弾性変形部材を弾性変形させる励起／検知手段・支持体２０と；を備える。 （もっと読む）

【課題】大量生産に適し常に安定して良好な弾性表面波伝搬性能を発揮可能な弾性表面波素子、及びこのような弾性表面波素子を用いた環境差異検出装置を提供することである。
【解決手段】この発明の弾性表面波素子は：弾性表面波が伝搬可能な曲面が連続した少なくとも円環状の曲面の一部を含む表面を有する３次元基体１２と；上記表面に弾性表面波を励起し上記表面に沿い弾性表面波を伝搬させるとともに伝搬する弾性表面波を受信可能な電気音響変換素子１４と；を備え、３次元基体がＬｉ_２Ｂ_４Ｏ_７結晶であり、３次元基体の表面において電気音響変換素子は、これらの結晶の結晶面と前記表面との交線に沿い弾性表面波を伝搬させ、前記交線は前記表面の最大外周線である、ことを特徴とし、環境差異検出装置は、弾性表面波素子の複数の伝搬表面帯の電気音響変換素子の弾性表面波受信信号を比較し、夫々が接する空間部分の環境の差異を検出する。 （もっと読む）

【課題】大量生産に適し常に安定して良好な弾性表面波伝搬性能を発揮可能な弾性表面波素子、及びこのような弾性表面波素子を用いた環境差異検出装置を提供することである。
【解決手段】この発明の弾性表面波素子は：弾性表面波が伝搬可能な曲面が連続した少なくとも円環状の曲面の一部を含む表面を有する３次元基体１２と；上記表面に弾性表面波を励起し上記表面に沿い弾性表面波を伝搬させるとともに伝搬する弾性表面波を受信可能な電気音響変換素子１４と；を備え、３次元基体がＬｉＴａＯ_３結晶であり、３次元基体の表面において電気音響変換素子は、これらの結晶の結晶面と前記表面との交線に沿い弾性表面波を伝搬させ、前記交線は前記表面の最大外周線である、ことを特徴とし、環境差異検出装置は、弾性表面波素子の複数の伝搬表面帯の電気音響変換素子の弾性表面波受信信号を比較し夫々が接する空間部分の環境の差異を検出する。 （もっと読む）

【課題】圧電性結晶材料の球の表面の所定の弾性表面波周回路に対しすだれ状電極を所定の隙間を介し常に精度良く配置出来る弾性表面波素子の製造方法を提供することである。
【解決手段】この製造方法では、圧電性結晶材料の球１０を球移動支持工程により球支持体２２の所定の支持場所２２ａに移動させ所定の支持場所に支持させる。支持されている球の所定の周回路２４の、支持場所に対する相対位置を周回路相対位置測定工程により測定し、測定された相対位置を基にすだれ状電極形成工程によりすだれ状電極支持体３６に対しすだれ状電極３８を形成する。すだれ状電極支持体を組み合わせ工程において球支持体の所定の位置に固定し、球支持体の所定の支持場所の球の表面の所定の周回路に対し所定の隙間を介してすだれ状電極を所定の相対位置に配置させる。 （もっと読む）

【課題】圧電性単結晶の基材を使用しても基材の円環状表面領域を周回する弾性表面波を指数関数的に減衰出来て周回速度も一定に保て、従来に比べ球状弾性表面波素子を利用した装置の動作精度をさらに向上出来る球状弾性表面波素子を提供することである。
【解決手段】球状弾性表面波素子１１は、圧電性単結晶基材１３の球面の一部で形成され最大径の外周線を含み円環状に延出している表面領域に弾性表面波を励起し上記表面領域の延出方向に周回させる電気音響変換素子１５の中心が、上記基材の上記表面領域において上記基材のＺ軸と直交する平面と上記球面との交線と異なる位置に配置されるか、又は上記交線上にあって弾性表面波の音速が最も高い位置に配置されることで、上記表面領域を多重周回する弾性表面波の強度の減衰が指数関数的な減衰と一致することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】鮮明なレーザ捺印が可能とすること。
【解決手段】本発明は、圧電基板１０と、圧電基板１０の上面に形成された弾性波素子１１と、圧電基板１０の下面に形成され、可視光の透過率が圧電基板１０より小さい絶縁膜２０と、を具備する弾性波デバイスおよびその製造方法である。本発明によれば、圧電基板１０の下面または下方に可視光の透過率が圧電基板１０より小さい絶縁膜２０が形成されていることにより、鮮明なレーザ捺印を容易に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】圧電性単結晶の基材を使用しても、従来に比べ球状弾性表面波素子を利用した装置の動作精度をさらに向上出来る球状弾性表面波素子を提供することである。
【解決手段】球状弾性表面波素子１１は：圧電性単結晶基材１３の球面の一部で形成され最大径の外周線を含み円環状に延出している表面領域１２に電気音響変換素子１５により弾性表面波１４が励起され上記表面領域の延出方向に沿い周回させる。弾性表面波は、上記表面領域の延出方向に伝搬する間に所定の経路に沿い蛇行し、そして、電気音響変換素子のすだれ状電極の複数の電極枝１５−１，１５−２は、上記表面領域の上記所定の経路上ですだれ状電極が対応する位置における弾性表面波の音速の所望の中心周波数に一致する周期に配列されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弾性境界波デバイスにおける電気特性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、圧電基板１と、この圧電基板１の主面に設けられた櫛形電極３と、圧電基板１の主面上において櫛形電極３を覆うとともに、横波の伝播速度が圧電基板１より遅い第１の絶縁層２とを備えた弾性境界波デバイスにおいて、櫛形電極３と圧電基板１の間に横波の伝播速度が第１の絶縁層２の横波の伝播速度より遅い材料からなる第２の絶縁層５を設けたのである。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波の伝播領域に外部からの応力の影響を与えることなくパッケージ容器に強固に接合することが可能な弾性表面波素子片、およびそれを用いた弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】ＳＡＷ素子チップ１０は、略矩形板状の圧電基板１１上に、ＩＤＴ電極１２と、反射器１３と、ＩＤＴ電極１２に接続された一対のボンディングパッド１９ａ，１９ｂが備えられ、ＩＤＴ電極１２および反射器１３が形成された領域の直下に空隙が形成されるように、一方の主面１４と平行に切り込むことにより形成された凹陥部１７を有している。この凹陥部１７により、ＳＡＷ素子チップ１０は、圧電基板１１の他方の主面１５側の保持基板部１１Ｂと、圧電基板１１の一方の主面１４側に略水平に突設された自由端部を有するＳＡＷ素子基板部１１Ａと、保持基板部１１ＢおよびＳＡＷ素子基板部１１Ａを連結する基端部１１Ｃと、を有している。 （もっと読む）

【課題】生産性に優れる球状弾性表面波素子を提供すること。
【解決手段】本発明の第１の態様に係る球状弾性表面波素子１００は、球状の基体１１１と、基体１１１の表面を周回する弾性表面波を励起するとともに周回した当該弾性表面波を受信する一対の櫛形電極１１２と、基体１１１の中心を通る光学軸の両極点近傍に形成され、一対の櫛形電極１１２の各々に接続された第１及び第２の入出力用電極１１４と、第１の入出力電極１１４上に形成された外部端子１１５と、第２の入出力電極１１４に対向して非接触で形成された外部電極１１６とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 表面弾性波を用いたフィルタにおいて、簡単な構造で周波数特性を任意に制御できる可変フィルタを提供すること。
【解決手段】 圧電材料からなる基板１の一端を固定した片持ち梁構造体と、基板１に形成された表面弾性波を励振するための周期的に配置された電極指からなる櫛歯電極２と、基板１を変形させるための機構とを具備し、櫛歯電極２に隣接して表面弾性波の反射器３を設置して表面弾性波共振子を構成している。片持ち梁構造体を支持する基台４を有し、基板１の裏面に形成された基板電極５と空隙７を介して対向する基台４上に形成された基台電極６とからなるキャパシタ構造を具備し、基板電極５と基台電極６間に制御電圧を印加することにより静電力によって基板１の変形を生じさせ、電極指間の周期が変化することまたは表面弾性波の音速が変化することにより共振周波数が変化する。 （もっと読む）

【課題】素子分離後の取り扱いが容易で欠陥の少ない弾性表面波素子およびその製造方法、ならびにそれを用いた弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電性材料からなる第１の基板１０１と第１の基板１０１とは異なる材料からなる第２の基板１０２とが積層された積層基板１０３と、第１の基板１０１上に形成された櫛形電極１０４とを備える。積層基板１０３の第１の基板１０１側の周縁部には、段差部１０６が形成されている。段差部は、第１の基板から第２の基板にわたって形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動片チップ、圧電振動子、および振動片チップの製造方法を提供する。
【解決手段】振動素子基板用ウェハに電極パターンを形成し、前記振動素子基板用ウェハと前記振動素子基板用ウェハの台座となる保持基板用ウェハとに固相接合１８の接合膜を形成し、前記振動素子基板用ウェハと前記保持基板用ウェハとを前記接合膜にて固相接合１８を行って一体化し、その後に前記格子状の固相接合１８部と少なくとも振動素子基板１２ａを片持ち状態にする領域を残してダイシングして振動片チップ１２を個片化させてなる。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波素子を球状のままで用い、球状弾性表面波素子の径が小さくても球状弾性表面波素子の配向を速やかに行う弾性表面波素子位置合わせ装置を得る。
【解決手段】球面に形成した素子電極を有する球状弾性表面波素子を椀状受け皿で保持して配向を調整する弾性表面波素子位置合わせ装置であって、前記素子電極の位置を検出する位置検出手段を有し、前記椀状受け皿の底部に開口部を有し、前記開口部に露出した前記球状弾性表面波素子に接して前記球状弾性表面波素子を移動させ前記椀状受け皿内で回転させて配向させる素子移動機構を有する弾性表面波素子位置合わせ装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】すだれ状電極が外方に向いていなくても周波数調整を行える弾性表面波デバイスの製造方法、弾性表面波デバイスおよび電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の製造方法は、圧電基板１２の一方の主面１２ａにすだれ状電極１４を形成した弾性表面波（ＳＡＷ）チップ１０を備えた弾性表面波デバイスに係るものである。そして弾性表面波デバイスの製造方法は、一方の主面１２ａとは反対側の他方の主面１２ｂにおけるすだれ状電極（ＩＤＴ）１４に対向する位置に周波数調整膜３０を形成し、この形成により生じる応力によって前記圧電基板を歪ませて、周波数を調整している。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子を速やかにセンサーホルダに装着し、薬液や気体中の成分の分析を速やかに行える弾性表面波装置を得る。
【解決手段】球状の圧電体基材の球面における周回領域で、前記圧電体基材の中心を通る結晶のＺ軸に垂直な平面で前記圧電体基材の中心を通る平面との交線に添った前記周回領域の部分に一対の櫛型電極を有し、前記櫛型電極が前記周回領域に弾性表面波を発生させて周回させ、前記圧電体基材の球面に前記櫛型電極に接続する素子電極を有する球状弾性表面波素子を備え、前記素子電極に接した導体バンプを備え、前記圧電体基材の球面における前記結晶のＺ軸から垂直に測った距離が前記圧電体基材の球の半径の３割から８割の範囲の１つの円環状の領域に接して前記導体バンプを設置し、前記導体バンプをセンサーホルダの基板電極に接させる。 （もっと読む）

【課題】円弧状帯を定義可能な三次元基材に電気音響変換素子を設け、電気音響変換素子から励起される弾性表面波を円弧状帯に設けられた反射器で反射して弾性表面波の伝搬経路を制限するとともに、温度係数が０でない場合に、センサの感度に対する温度変化の影響を補償することが可能な球面弾性表面波センサを提供する。
【解決手段】
円弧状帯を定義可能な三次元基材と、その円弧状帯上に位置しそれに沿って弾性表面波を励起する電気音響変換素子と、円弧状帯に沿って反射する反射器と、少なくとも一部が円弧状帯の電気音響変換素子と反射器間に存在し周囲の環境変化に反応する感応膜とを備えたセンサヘッドと、高周波発生部と、高周波信号を計測する検出・出力部とを備える球面弾性表面波センサを提供する。 （もっと読む）