【課題】ディスク状の振動板がワイングラスモードで振動するように構成された輪郭振動型のディスク振動子において、当該ディスク振動子の小型化を図ること。
【解決手段】平面で見た時に第１の電極２１、２１を結ぶと共に振動板１０の中心を通る直線をＬとすると、この直線とのなす角度θが４５°となる位置において振動板１０に貫通孔１１を形成し、即ち振動板１０の振動の節となる位置（振動板１０の振動を阻害しない位置）に貫通孔１１を形成し、この貫通孔１１の内壁面とベース基板１（導電膜５）との間を接続するように支持部３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】特性が劣化せず、かつ小型化が容易な水晶振動子をドライエッチングにより製造する方法を提供する。
【解決手段】水晶振動子における振動領域１１に対応して、表面に振動領域１１より大きい窪み３１が形成された支持基板３０を用意し、支持基板３０の表面に水晶板１０を接合する。このとき、窪み３１では水晶板が支持基板に接触しないようにする。その後、水晶板に対してドライエッチングを適用して、振動領域と振動領域を取り囲む枠部２０とが支持梁部２１，２２を介して接続する形状となるように、水晶板を振動領域と枠部とに分離する。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜の中心部と外縁部との間で周方向に亘って膨張収縮する輪郭振動が互いに同相で起こるように各々構成された２つの振動体を連結部により連結した振動子において、前記輪郭振動が連結部によって阻害されることを抑制すること。
【解決手段】互いに同相で輪郭振動を起こすディスクレゾネータ３１、１３の間に音叉型振動体１１を介在させ、この音叉型振動体１１の振動腕部１４、１４の夫々にディスクレゾネータ３１、３１を接続する。そして、音叉型振動体１１について、ディスクレゾネータ３１、３１の膨張収縮を吸収するように、これらディスクレゾネータ３１、３１に対して逆相で振動させる。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動板の内部形状やこの圧電振動板上に形成される励振電極の膜厚等を変化させることなく、幅縦モードと長さ縦モードによる振動の変動率を長さ縦モードの周波数のみによる独立した調整を可能とすることで、高発振周波数に対応して小型化する圧電振動子の周波数特性や温度特性を最適化することのできる圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 幅縦モードの主振動を伴う一対の主振動辺１２ａ，１２ｂ及びこの一対の主振動辺と直交し、長さ縦モードの副振動を伴う一対の副振動辺１２ｃ，１２ｄを有し、表面に励振電極が形成された四角形状の圧電振動板１２と、前記一対の主振動辺１２ａ，１２ｂから外方向に延びる支持アーム１３，１４と、前記主振動辺の略中間位置から外方向に突出し、先端に重量を調整するための張出部を有する突起片１５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 励振電極を備えた圧電振動板を支持するための支持アームやフレーム板に設けられる配線電極の形成面積を最大限に広くすることによって、励振電極における電気抵抗及び等価直列抵抗値を低減させ、これによって振動効率の向上を図ることのできる圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 極性の異なる一対の励振電極を有する圧電振動板１２と、該圧電振動板１２の外周部の一端から外方向に延び、前記それぞれの励振電極と電気的に導通する配線電極が設けられる一の支持アーム１３とを備えた圧電振動子１１において、前記支持アーム１３には、前記圧電振動板１２に向けて延びる絶縁部１９が設けられ、この絶縁部１９を挟んだ左右方向の上下面及び側面に前記一対の励振電極のそれぞれに導通する第１配線電極２１及び第２配線電極２２を被覆形成した。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で圧電振動子を配線することができる発振装置を提供する。
【解決手段】電気音響変換器１００は、導電性高分子材料からなる第一導電体１４１により弾性振動板１２０の表面の第一配線層１３１が圧電振動子１１０の表面電極層１１２と導通しており、導電性高分子材料からなる第二導電体１４２により弾性振動板１２０の表面の第二配線層１３２が圧電振動子１１０の裏面電極層１１３と導通している。このため、簡単な構造で圧電振動子１１０を配線することができる。 （もっと読む）

【課題】振動部から漏れる振動を軽減させてＣＩ値を向上させる。
【解決手段】保持部１１１と振動部１１２とから構成され、振動部１１２に電極が形成される圧電振動片１１０ａと、圧電振動片を囲う枠部１３０と、圧電振動片１１０ａの保持部１１１と枠部１３０とに設けられて圧電振動片１１０ａを支持する支持部１４０とを備え、支持部１４０が金属膜であり、保持部１１１と枠部１３０とを少なくとも３箇所で支持して構成されることを特徴とし、圧電振動片が、屈曲振動モード、厚み滑りモード、輪郭モードのいずれかに対応する振動モードで振動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】輪郭振動片における振動漏れを大幅に低減させてＱ値及びＣＩ値の向上を実現する。
【解決手段】輪郭圧電振動片１１は、接続部１３ａ〜１３ｄが正方形の振動部１２の４つの角部から左右各辺に沿って外向きに延長し、その先端が、接続部の幅より縦寸法が大きく高い面内剛性を有する矩形の中間剛性部１４ａの両端に結合している。中間剛性部の上辺中央にそれより十分に狭幅で縦方向に真直ぐに延長する連結部１５ａが結合され、その先端が、連結部の幅より幅寸法が大きく高い面内剛性を有する矩形の支持部１６ａに結合されている。 （もっと読む）

【課題】下地層の拡散を抑制して良好な周波数温度特性を安定して得ることのできる振動
片、および振動子を提供する。
【解決手段】周波数温度依存性を有する振動体１１の表面に、ヤング率と熱膨張係数の少
なくとも一方の温度特性曲線上に変曲点と極値の少なくとも一方を有する温度特性補正部
２８を設け、温度特性補正部２８の振動体１１とは反対側に、温度特性補正部２８を構成
する下地層３２が拡散する性質を持つ電極部２４を積層させ、温度特性補正部２８と電極
部２４との間に下地層３２の拡散を防止する拡散防止層２６を設け、温度特性補正部２８
におけるヤング率と熱膨張係数の少なくとも一方が変曲点となる温度と極値となる温度の
少なくとも一方が、前記振動体の動作温度範囲内としたことを特徴とする。 （もっと読む）

微小電気機械共振器が１つ又は複数の共振器本体を含み、共振器本体はバルクモードにおいて発振し、それぞれ或る密度を有する第１の複数の領域と、それぞれ或る密度を有する第２の複数の領域とを含み、第２の複数の領域のそれぞれの密度は第１の複数の領域のそれぞれの密度とは異なる。第２の複数の領域は不均一な配列で配置される。その発振は、第１の方向及び／又は第２の方向において、共振器本体が少なくとも部分的に収縮し、第３の方向及び／又は第４の方向において、少なくとも部分的に膨張する第１の状態を含み、第２の方向は第１の方向と反対であり、第４の方向は第３の方向と反対である。 （もっと読む）

【課題】周波数特性をほとんど劣化させることなく、共振周波数を精緻に設定できる圧電振動装置の共振周波数調整方法と、その製造方法とを提供する。
【解決手段】圧電振動装置１０１の共振周波数調整方法は、支持状態変更プロセスを行い、支持部２４Ａ，２４Ｂによる振動部２０の支持状態を変更して、即ち、振動部２０ではなく支持部２４Ａ，２４Ｂに対して形状の変更などを加えて振動部２０の共振周波数を調整する。振動部２０は、ＡｌＮ層１４に励振電極１３，１５が配されたものである。支持部２４Ａ，２４Ｂは、振動部２０を基板１１との間にクリアランス４１を設けて支持するものである。これにより、振動部２０の振動に基づく、圧電振動装置１０１の共振周波数を微調整する。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜を用いた圧電振動装置であって、圧電振動部の反りが生じ難い圧電振動装置を提供する。
【解決手段】圧電薄膜４を有する圧電振動部３が基体２の上面から浮かされて配置されており、該圧電振動部３において、圧電薄膜４に積層されている、圧電薄膜以外の材料からなる付加膜８を有し、該付加膜８が、圧電薄膜４に積層されていない部分である非被覆部８ｃを有する、圧電振動装置１。 （もっと読む）

【課題】温度特性が良好で、周波数精度及び励振効率が共に高く、かつ低コストな圧電振動装置を提供する。
【解決手段】圧電振動装置１は、基板１０、圧電薄膜２３、上部電極２４、下部電極２５、温度補償用絶縁膜２６，２７及び支持部３０とを備えている。温度補償用絶縁膜２６，２７は、圧電薄膜２３、上部電極２４及び下部電極２５と共に圧電振動部２０を構成している。圧電振動部２０は、基板１０に対してギャップを隔てて浮かされた状態で支持部３０により支持されている。圧電振動装置１は、圧電振動部２０の輪郭振動モードを利用している。圧電振動部２０は、圧電駆動部２１と、圧電薄膜２３が形成されていない圧電被駆動部２２とを含む。圧電被駆動部２２は、輪郭振動モードにおける振動の腹部を含む圧電振動部２０の一部に形成されている。温度補償用絶縁膜２６，２７の面積は、圧電薄膜２３の面積よりも大きくされている。 （もっと読む）

【課題】温度特性を維持しつつ、小型化とヒステリシス現象の抑制との実現が可能である、圧電振動装置を提供する。
【解決手段】圧電薄膜部は、圧電膜１６と圧電膜１６の両主面にそれぞれ配置された第１及び第２の電極１５，１７とを含み、圧電膜１６の膜厚方向から透視したときに第１及び第２の電極１５，１７が圧電膜１６を介して重なり合う圧電振動部２０が基板１２から浮いた状態で支持される。圧電振動装置は、圧電振動部２０の輪郭振動を利用するタイプであり、少なくとも圧電振動部２０上に、温度補償膜１９及び補強膜１８をさらに備える。補強膜１８は、圧電膜１６の音速より小さい音速を有し、かつ、温度特性の符号が温度補償膜１９の温度特性の符号と異なる。 （もっと読む）

【課題】パッケージへ封入される負荷容量の容量値や圧電部の周波数特性の精度が優れた圧電共振子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電共振子の製造方法は、配置接合プロセスＳ８の前工程に、基体側ウェハ測定プロセスＳ３と負荷容量値演算プロセスＳ４と蓋体側ウェハ測定プロセスＳ５とエッチングプロセスＳ７とを含む。配置接合プロセスＳ８は、基体部と蓋体部とを接合する。基体側ウェハ測定プロセスＳ３は、圧電部の共振周波数ｆ_ｒを測定する。負荷容量値演算プロセスＳ４は、圧電共振子の発振周波数ｆ_ＯＳＣ．を設定するための負荷容量Ｃ_Ｌの目標設定値を、圧電部の共振周波数ｆ_ｒに基づいて取得する。蓋体側ウェハ測定プロセスＳ５とエッチングプロセスＳ７とは、負荷容量Ｃ_Ｌの容量値を目標設定値に調整する。 （もっと読む）

【課題】Ｑが高く、耐電力性に優れているだけでなく、印加電圧によるインピーダンス特性曲線の乱れが生じ難い、圧電振動装置を得る。
【解決手段】圧電薄膜４の下面に下部電極５が、上面に上部電極６が形成されている圧電振動部３が基板２から浮かされた状態で支持部９，１０により支持されており、矩形の圧電振動部３の輪郭振動を利用しており、該輪郭振動と、圧電振動部３において生じる屈曲振動とが結合しないように、上記輪郭振動の共振周波数と屈曲振動の共振周波数とが隔てられている、圧電振動装置１。 （もっと読む）

【課題】Ｑが高く、かつ耐電力性に優れた、輪郭振動モードを利用した圧電振動装置であって、しかも、比帯域を容易に調整し得る圧電振動装置を提供する。
【解決手段】輪郭振動モードを利用する圧電振動装置１は、基板１０と、基板１０の上方に配置された圧電薄膜２３と、圧電薄膜２３上に形成された上部電極２４と、上部電極２４と圧電薄膜２３を介して重なり合うように形成されており、上部電極２４と共に圧電薄膜２３に交流電圧を印加し、圧電薄膜２３及び上部電極２４と共に圧電振動部２０を構成する下部電極２５と、基板１０に対してギャップＤを隔てて浮かされた状態で圧電振動部２０を支持する支持部３０とを備えている。平面視された際に、上部電極２４と下部電極２５とが、圧電振動部２０の主たる振動方向における端部において重なり合っていない。 （もっと読む）

【課題】上面及び下面にそれぞれ第１〜第４及び第５〜第８の電極が形成された圧電薄膜を有する圧電振動装置であって、引き出し配線の構造を簡略化することを可能とされている圧電振動装置を得る。
【解決手段】基体２から浮かされた圧電振動部３において、圧電薄膜４の上面に第１〜第４の電極１１〜１４が、下面に第５〜第８の電極１５〜１８が形成されており、第１，第３，第６，第８の電極が共通接続されており、第２，第４，第５，第７の電極が共通接続されており、圧電薄膜の上面において、第１，第３の電極を電気的に接続する上面側短絡部１９が設けられており、下面において、第６，第８の電極を電気的に接続する下面側短絡部２０が設けられている、圧電振動装置１。 （もっと読む）

【課題】ウエットエッチング法により薄膜圧電共振器を製造するにあたり、プロセス余裕度が高く、そのため工程が容易であり、製造コストの低廉化を図ることができる薄膜圧電共振器の製造方法を提供すること。
【解決手段】金属膜からなる下部電極及びこの下部電極から引き出される配線部位と、圧電体薄膜とを形成した後、前記基板の表面に金属膜を形成する。次に上部電極となる部位と、圧電体薄膜に覆われていない下部電極から引き出される配線部位とを被覆すると共に、上部電極と下部電極とを分離するために、前記配線部位と上部電極となる部位との間が開口するレジストマスクを基板の表面に形成し、しかる後、前記基板をエッチング液に接触させて、前記レジストマスクに覆われていない金属膜をエッチングにより除去する。 （もっと読む）

【課題】周波数が１０ＭＨｚ以下で、且つ小型でＱ値の大きいラーメモード水晶振動子を得る。
【解決手段】励振により輪郭振動する圧電材料からなる圧電基板本体７と、該圧電基板本体主面の輪郭振動の節となる部位の少なくとも片面側に突設した該圧電基板と同一材料から成る突起１０と、から成る圧電基板６と、該圧電基板面の両主面に形成された励振電極と、を備えた圧電振動素子を構成する。突起は、圧電基板本体の中央部、或いは周縁部に位置する輪郭振動の節に突設されている。 （もっと読む）