【課題】本発明は、素子部品が気密状態で封止された電子デバイスとその電子デバイスの生産コストを抑えた製造方法を提供する。
【解決手段】素子部品を塔載したベース体と前記素子部品を封止する蓋体とが紫外線硬化樹脂により接合されている。また、この電子デバイスの製造方法は、複数のベース体が設けられたベースウエハのベース体となる部分に素子部品を塔載する素子部品塔載工程と、ベースウエハの一方の主面または複数の蓋体が設けられている蓋ウエハの一方の主面に紫外線硬化樹脂を塗布する塗布工程と、ベースウエハと蓋ウエハとを紫外線硬化樹脂を挟んで重ね合わせて素子部品をベース体と蓋体とで囲う重ね合わせ工程と、重ね合わされたウエハの周囲から紫外線を照射しベースウエハと蓋ウエハとを接合する接合工程と、接合されたベースウエハと蓋ウエハとを素子部品が塔載されているベース体と蓋体ごとに個片化する個片化工程と、からなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、素子部品が気密状態で封止された電子デバイスとその電子デバイスの生産コストを抑えた製造方法を提供する。
【解決手段】素子部品を塔載したベース体と前記素子部品を封止する蓋体とが紫外線硬化樹脂により接合されている。また、この電子デバイスの製造方法は、複数のベース体が設けられたベースウエハのベース体となる部分に素子部品を塔載する素子部品塔載工程とベースウエハの一方の主面又は／及び複数の蓋体が設けられている蓋ウエハの一方の主面に紫外線硬化樹脂を塗布する塗布工程とベースウエハと蓋ウエハとを紫外線硬化樹脂を挟んで重ね合わせて素子部品をベース体と蓋体とで囲う重ね合わせ工程と紫外線硬化樹脂に紫外線を照射しベースウエハと蓋ウエハとを接合する接合工程と、接合されたベースウエハと蓋ウエハとを素子部品が塔載されているベース体と蓋体ごとに個片化する個片化工程とからなる。 （もっと読む）

コア共振器（４２）を環境効果および経年劣化効果の両方から離隔するバルク音波共振器構造（５２）。この構造は、少なくとも部分的に２つの電極（１４、１８）の間に配置された圧電層（１６）を有する。この構造は、汚染、パッケージ漏れ、および外部効果による圧電材料（１６）に対する変化に抗して保護されながら、依然として慣性抵抗をもたらす。この構造は、経年劣化効果を規定の閾値以下に制限する、１つまたは複数の保護要素を有する。共振器の挙動は、直列共振においてのみならず、共振の全帯域幅にわたって安定化される。保護要素の例は、周辺および縁部に関連する環境的現象および経年劣化現象をコア共振器から遠ざけておくようにコア共振器を取り巻く材料のカラー（４４）と、圧電層の上または下に形成されたブラッグ反射器（３４、４８）と、圧電層を覆って形成されたキャップ（６０）とを含む。
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【課題】逆相モード振動および同相モード振動の結合を容易に生じさせることにより、周波数−温度特性を向上させた安価な圧電振動子を提供する。
【解決手段】逆相モード振動および同相モード振動が結合する振動モードを有し、一対の振動腕１４が延設された基部１２が、基台としての底部３２に接着剤４４によって接合されており、接着剤４４は、逆相モード振動の、温度による周波数の変化を示す２次曲線の頂点温度における、前記接着剤の単位温度上昇あたりの弾性率変化の傾きΔＥ２と、頂点温度より低い温度における、前記接着剤の単位温度上昇あたりの弾性率変化の傾きΔＥ１と、前記頂点温度より高い温度における、前記接着剤の単位温度上昇あたりの弾性率変化の傾きΔＥ３と、の相関において、ΔＥ１＜ΔＥ２、またはΔＥ２＜ΔＥ３のいずれか一方を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】周波数変動を防止することができる圧電発振器及び生産性を向上させることができる圧電発振器の製造方法を提供する。
【解決手段】基板部１１０ａと枠部１１０ｂによって基板部１１０ａの一方の主面に凹部空間１１１が設けられた容器体１１０と、凹部空間内に露出した基板部１１０ａの一方の主面に設けられた２個一対の圧電振動素子搭載パッド１１３に搭載され、励振用電極１２２が設けられている圧電振動素子１２０と、基板部１１０ａの他方の主面に設けられた集積回路素子搭載パッドに搭載されている集積回路素子１４０と、凹部空間１１１を気密封止する蓋体１３０と、基板部１１０ａの他方の主面の４隅に設けられ、搭載された集積回路素子１４０よりも大きい厚さを有する直方体形状の端子部Ｔと、隣り合う端子部間に設けられ、端子部Ｔの厚さよりも薄い絶縁性壁部ＺＨと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】データの書き込み時においてプローブを確実に電極に接触させる圧電発振器、この圧電発振器を搭載した電子機器および圧電発振器の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電発振器１０は、圧電振動片１２とこの圧電振動片１２を発振させる回路とをパッケージ１３に搭載した圧電発振器１０であって、前記回路と電気的に接続するとともに前記圧電振動片１２の下方に設けられ、前記パッケージ１３内部の気密封止に用いられるとともに、気密封止後に周波数調整を行う電極となる貫通孔３２を備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】小型化した場合であっても容器本体の歪みが小さく、歩留まりの高い表面実装用の水晶発振器を提供する。
【解決手段】下枠壁１ｂ及び上枠壁１ｃを底壁１ａに積層した容器本体１と、容器本体１の内壁段部に外周部が固着される水晶片と、容器本体１の内底面に固着したＩＣチップと、金属カバー５とを備え、底壁１ａの上面に形成された第１導電路１２ａを有し、下枠壁１ｂの外側面の窪みに形成された水晶検査端子１１と電気的に接続する窪みの外周に沿って下枠壁１ｂの下面に形成された第２導電路１２ｂを有し、第１導電路１２ａと第２導電路１２ｂとは底壁１ａと下枠壁１ｂの界面にて電気的に接続する重畳部１３を有してなる表面実装用の水晶発振器において、底壁１ａと下枠壁１ｂの界面には補強膜である金属膜１７が設けられ、金属膜１７及び重畳部１３は界面となる辺を二等分する中心線Ｂ−Ｂに対して対称に配置された構成とする。 （もっと読む）

【課題】封止材を溶融させて封止孔を封止する際に、溶融した封止材が封止孔の内壁面に濡れ広がりやすくするとともに望まない部位への濡れ広がりを抑制して、安定した振動特性を有し、高信頼性を備えた圧電デバイスを提供する。
【解決手段】水晶振動子は、振動片基板の上下に連通する開口部Ｔ１を、リッド基板およびベース基板とで塞ぐように接合して形成されている。リッド基板の封止孔４０は、封止孔４０は、その内壁部を、外部側からリッド基板の中間部までの外部側内壁部４１と、前記中間部から内部空間側の開口部４２ｂまでの内部空間側内壁部４２とに分けて見たとき、封止孔４０の断面が前記中間部を屈曲部とした２段のテーパー形状を有し、また、外部側内壁部４１と内部空間側内壁部４２との成す角のうち封止孔４０の内側の角が１８０°より大きく形成されている。外部側内壁部４１には金属膜４３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】容器の外部に開口する貫通孔に外部から位置させた封止用金属体を溶融させ、容器内に形成された導電路パターンを介して、その貫通孔内に電子部品本体の本体電極に電気的に接続された孔内配線を形成すると共に容器を封止するにあたって、歩留りの低下を抑えること。
【解決手段】前記貫通孔に外部から封止用金属体を位置させる工程と、前記封止用金属体を溶融させ、この封止用金属体により前記貫通孔を塞ぐと共に塞いだ部分と前記導電路パターンの一端側とが前記金属体により繋がった状態で当該金属体を導電路パターンの表面を介してダミーパターン側に案内させる工程と、溶融した封止用金属体を冷却して固化させて、前記貫通孔内に前記導電路パターンに接続された孔内配線を形成する工程と、を実施する。 （もっと読む）

【課題】封止材を溶融させて封止孔を封止する際に、溶融した封止材が封止孔の内壁面に濡れ広がりやすくするとともに望まない部位への濡れ広がりを抑制して、安定した振動特性を有し、高信頼性を備えた圧電デバイスを提供する。
【解決手段】水晶振動子は、振動片基板の上下に連通する開口部を、リッド基板１０およびベース基板とで塞ぐように直接接合により固定して形成されている。封止孔４０は、外部側開口部から内部空間側面１３に向かって狭まる断面テーパー形状を有した外部側内壁部４１と、内部空間側開口部４２ｂから外部側面１１に向かって狭まり前記外部側内壁部４１とは逆テーパーとなる断面テーパー形状を有した内部空間側内壁部４２とが、リッド基板１０の厚み方向の中間部の中間開口部４０ｃで連通されてなる。外部側内壁部４１を含む領域には金属膜４３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】基体及び蓋体と水晶振動素子との接合強度を向上させ、又導電体に生じる不具合による水晶振動子の内部空間の気密漏れが生ず、振動特性の悪化が生じない水晶振動子を提供する。
【解決手段】蓋体側金属膜と素子側金属膜と、第１の貫通孔封止用蓋体側金属膜と第１の接続用電極と、基体側金属膜と素子側金属膜と、及び第２の接続用電極と第１の貫通孔封止用基体側金属膜とが接合していることにより、水晶振動子の内部空間を気密封止し、且つ水晶振動子内部の導通配線が引き回されている構造であることを特徴とする水晶振動子。 （もっと読む）

【課題】容器本体の内積を大きくして平面外形を小さくし、金属リングの接合強度を高めた表面実装用の水晶デバイスを提供する。
【解決手段】底壁１ａと枠壁１ｂからなる容器本体１に少なくとも水晶片２を収容し、前記容器本体１の枠壁１ｂ上面に設けられた金属膜６にロウ材８によって金属リング７を接合し、前記金属リング７に金属カバー３をシーム溶接して前記水晶片２を密閉封入してなる表面実装用の水晶デバイスにおいて、前記金属膜６に対する前記金属リング７の接合面となる内周又は外周の少なくとも一方の稜線部は傾斜面とし、前記傾斜面には前記ロウ材８が這い上がってフィレットを形成した構成とする。 （もっと読む）

【課題】 封止時や実装時に周波数変動の少ない水晶フレーム及び圧電デバイスを提供することである。
【解決手段】 圧電フレーム（２０）は、基部（２３）の一端側から第１方向（Ｙ方向）に伸びる第１幅（Ｗ１）の一対の振動腕（２４）を有しこの一対の振動腕に励振電極を有する音叉型圧電振動部（２１）と、基部の一端側から且つ振動腕（２４）の両外側において第１方向に伸びる第２幅（Ｗ２）の一対の支持腕（２５）と、一対の支持腕から第１方向と交差する第２方向に伸びる一対の接続腕（２６）と、接続腕と接続され第１方向に伸びる第３幅（Ｗ３）の辺（２２Ｙ）と第２方向に伸びる第４幅（Ｗ４）の辺（２２Ｘ）とを有する外枠部（２２）と、を備え、支持腕の第２幅（Ｗ２）は振動腕の第１幅（Ｗ１）の１．４倍より小さい。 （もっと読む）

【課題】 小型化されても、落下による破損又は変形を十分に防止することができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイスは、リッド側凹部を有するリッド基板（１０）と、音叉型圧電振動片と外枠フレームとを有するチップ基板（２０）と、ベース用凹部を有するベース基板（３０）とを接合してなり、圧電振動片は、基部（４１）と振動腕（４２）とを備え、支持腕（４４）を介して外枠フレームと接続され、リッド基板のリッド側凹部には、音叉型圧電振動片の短手方向において、基部と対応する位置に、リッド用基部緩衝部（１２）が形成され、ベース基板のベース用凹部には、音叉型圧電振動片の短手方向において、基部と対応する位置に、ベース用基部緩衝部（３２）が形成され、リッド用基部緩衝部とベース用基部緩衝部との高さは、これらから音叉型圧電振動片と外枠フレームとの接続点までの距離に比例している。 （もっと読む）

【課題】予めＩＣチップと水晶片とを一体化した上で、水晶振動子の振動周波数の調整が容易であり、安価であって生産性が高い表面実装発振器及びその製造方法の提供。
【解決手段】凹部を有する容器本体１の内底面にバンプ１１を用いてＩＣチップ２を固着するとともに、外周部に引出電極を延出した水晶片３を容器本体１の内底面とＩＣチップ２との間に介在させた表面実装用の水晶発振器において、水晶片３の引出電極の延出した外周部をＩＣチップ２に形成された水晶端子に固着した構成とする。 （もっと読む）

【課題】水晶保持端子との電気的短絡や水晶片との接触を防止して生産性を高めた表面実装用の水晶デバイスを提供する。
【解決手段】底壁１ａと枠壁１ｂとを有する積層セラミックからなる断面を凹状として平面視矩形状とした容器本体１に少なくとも水晶片２を収容して、前記容器本体１の開口端面となる枠壁上面の金属膜６に共晶合金７によって金属カバー３を接合し、前記水晶片２を密閉封入した表面実装用の水晶デバイスにおいて、前記容器本体１の角部を除く少なくとも対向する各辺の枠壁内周には、前記金属膜６と電気的に接続して前記共晶合金７の流入する幅方向に直線状として幅広の合金流入膜１１を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】外部からの衝撃に対して強度の優れた圧電振動子を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の圧電振動子１０は、圧電振動片２０をパッケージ４０に収容して、前記パッケージ４０と蓋体６０を接合させた圧電振動子１０である。前記蓋体６０は、前記パッケージ４０を平面視して前記圧電振動片２０を避けたスペースに前記パッケージ４０の第１の基板４４上まで先端が延びる厚肉部６２を前記パッケージ４０側に形成している。 （もっと読む）

【課題】 断線のおそれもなく安定した周波数をもつ圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイスを提供することである。
【解決手段】 圧電振動片の製造方法は圧電体ウエハから圧電振動片（２０）を形成する。その製造方法は、圧電振動片（３０）の形状を形成する形成工程（Ｓ１１０）と、圧電振動片の表面にＣｒの第１の金属膜を成膜する第１金属膜成膜工程（Ｓ１１４）と、第１の金属膜を酸化させる酸化工程（Ｓ１１６）と、酸化された第１の金属膜に、さらにＣｒの下地膜を成膜する下地膜成膜工程（Ｓ１１８）と、下地膜上にＡｕの第２の金属膜を成膜する第２金属膜成膜工程（Ｓ１２０）と、第１及び第２の金属膜に電極パタ−ンを形成する電極パタ−ン形成工程（Ｓ１２４）と、圧電振動片の所定箇所において電極パタ−ンの第２の金属膜を除去する除去工程（Ｓ１３０）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子のクリスタルインピーダンスやＱ値の悪化を防ぎ、周波数安定度の高い、水晶振動子を提供する。
【解決手段】一方の主面に凹部１１ａが形成され、他方の主面に曲面形状となる凸部１１ｂが形成された水晶基板１０と、水晶基板１０の一方の主面に形成された第一の電極１２ａと、水晶基板１０の他方の主面に第一の電極１２ａと対向して形成された第二の電極１２ｂと、水晶基板１０の凹部１１ａを塞ぐ第一の容器体２０ａと、第二の電極１２ｂを封止する第二の容器体３０ａと、第一の容器体２０ａまたは第二の容器体３０ａの主面の４隅に設けられる外部接続用端子２１ａと、を備え、所定の一つの外部接続用端子２１ａが第一の電極１２ａと電気的に接続され、所定の他の一つの外部接続用端子２１ａが第二の電極１２ｂと電気的に接続されている、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】音叉型の圧電振動子用素子を筐体内に設けた圧電振動子において、励振電極に調整膜の削り滓が飛散して付着することによる不良の発生を抑えることができる圧電振動子を提供すること。
【解決手段】音叉型の水晶片１１と、励振電極６ａ、６ｂ、６ｃと、周波数調整用の調整膜８と、を備えた水晶振動子用素子１０を筐体２０内に装着して構成される水晶振動子の製造方法において、筐体２０の内部における励振電極６ａ、６ｂ、６ｃが位置する雰囲気と調整膜８が位置する雰囲気との間に、調整膜８の削り滓が飛散することを抑止するための壁面２９を形成し、水晶振動子用素子１０の周波数の調整を行うためにレーザー光により調整膜８を削り取るときに、壁面２９によって飛散した削り滓が励振電極６ａ、６ｂ、６ｃに付着してショートすることを防止し、不良の発生を抑制する。 （もっと読む）