【課題】弾性部材の劣化状態によらず振動体を拘束し輸送時や移動時の損傷を抑制することができる自走式振動機械を提供する。
【解決手段】走行体１と、この走行体１上に設けられたコンベヤフレーム１５と、このコンベヤフレーム１５上に立設された複数のポスト３８と、複数のポスト３８上に架設されたホッパフレーム３９と、コンベヤフレーム１５に対して弾性部材３０を介して弾性的に支持された振動篩本体３１と、この振動篩本体３１の上方に位置するようにホッパフレーム３９に支持されたホッパ４と、振動篩本体３１に設けた支持部材３４と、この支持部材３４と上下の位置関係になるようにホッパフレーム３９に設けたストッパ４６と、振動篩本体３１を付勢して支持部材３４とストッパ４６とを接触させるバネシリンダ４７とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ピストンと保管チャンバの壁との間により優れたシールが実現されるデュアルディスペンサ装置を提供すること。
【解決手段】第１の成分用の第１の保管チャンバ２と、第２の成分用の第２の保管チャンバ３と、第１の保管チャンバ２に貫入する第１のプランジャ７と、第２の保管チャンバ３に貫入する第２のプランジャ８とを有するデュアルディスペンサ装置が提供される。保管チャンバ２、３は隣り合って配置され、それぞれ遠位端５に第１又は第２の成分用の出口２１、３１を有する。各成分を分配するピストン７１、８１がそれぞれのプランジャ７、８に成形され、保管チャンバ２、３のそれぞれの壁によって密閉的に案内される。各保管チャンバ２、３は近位端４に少なくとも１つの第１の案内要素１１を、各プランジャ７、８はピストン７１、８１に隣接する少なくとも１つの第２の案内要素１２を有し、案内要素１１、１２は係合するよう構成される。 （もっと読む）

【課題】処理装置内のブリッジングを安全かつ容易に確実に解消することができるブリッジング解消装置及びブリッジング解消方法を提供する。
【解決手段】片端が開放された容器と、容器の内部に配される着火具と、容器の内部に配されるガス発生剤と、容器の開放端を封鎖する封鎖体とを備え、容器の開放端側を処理装置内でブリッジングを起こしている閉塞物に向かって配し、着火具による点火によってガス発生剤の燃焼により発生したガス圧を閉塞物に向かって容器の開放端より噴出させ、ブリッジングを破壊する。ブリッジング解消装置を、処理装置内でブリッジングを起こしている閉塞物に向かって配し、着火具による点火によってガス発生剤の燃焼により発生したガス圧を閉塞物に向かって容器の開放端より噴出させ、ブリッジングを破壊する。 （もっと読む）

【課題】多種類の半導体ガスの貯蔵、供給装置を低圧で小型化する。
【解決手段】直方体形状の流体貯蔵・計量分配容器５０，５２を含む流体貯蔵・計量分配装置及び、こうした流体貯蔵・計量分配装置および／または使用時換気ガス清浄器６１を、換気されたガスキャビネット２０内に含む一体型ガスキャビネットアセンブリを開示する。たとえば、ガスキャビネット２０から供給された処理ガスが、有毒又は有害な特性のものである場合、ガスキャビネット２０は、物理的吸着剤及び化学吸着媒体の使用によって、運転の安全面で強化されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】特別な装置を必要とせずに、対象ガス使用装置からの排気に含まれるフッ素によって、排気システムを構成する樹脂製材料が腐食されること抑制し、排気システムの寿命を延長させること。
【解決手段】本発明は、フッ素ガスまたは反応性の高いフッ素系ガスを排出する対象装置から排出された排気を処理するための処理装置、および、上記対象装置と上記処理装置とを接続する樹脂製部分を含む送気管を備える排気システムであって、少なくとも上記送気管内の樹脂製部分の一部に、フッ素と反応する物質を含有する反応用ガスが供給されることを特徴とする、排気システムである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、二酸化炭素地中注入のための圧力及び温度調節機能が向上した二酸化炭素分配装置を提供するためのものである。
【解決手段】本発明は、複数の貯蔵タンクから地中注入のための二酸化炭素の取り入れられるように複数個に分枝形成された多岐管部と、入側は多岐管部と連通形成され、出側は地中管井に向かう注入配管と連結されて、多岐管部を通じて取り入れられた二酸化炭素を上記注入配管を通じて供給するように形成された分配チャンバー部と、分配チャンバー部の内部に取り入れられた二酸化炭素の温度を調節する温度調節部と、上記分配チャンバー部を通じて地中注入される二酸化炭素の流量及び油圧を調節する流量油圧調節部と、を含む構成からなり、地中注入時の二酸化炭素の温度及び圧力条件の安定性が確保できることは勿論、これをリアルタイムまたは時間帯別に、あるいはユーザ要請によって、何時でもユーザ端末機を通じてモニターリングできる効果がある。 （もっと読む）

【課題】固体成膜原料を、従来からのＣＶＤ法やＡＬＤ法による成膜方法に使用できる形態で安定的に供給する。
【解決手段】固体成膜原料２１を気化させて供給する気化供給装置１であって、超臨界流体を生成して供給する超臨界流体供給部１０と、超臨界流体供給部１０から供給される超臨界流体を固体成膜原料２１に接触させて、超臨界流体に固体成膜原料２１を溶解させる超臨界流体調整部２０と、固体成膜原料２１が溶解した超臨界流体を気体に相転移させて、気体中に固体成膜原料２１を析出させるとともに、析出した固体成膜原料２１を気化させる気化部３０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】より容易且つ安価に真空度を確保することができる真空脱泡装置を提供する．
【解決手段】被脱泡液５を貯留するための耐圧容器２と、該容器２に接続され該容器２内を減圧するための減圧装置３１と、該被脱泡液５を攪拌するための攪拌器３と、該攪拌器３に接続され該攪拌器３を駆動させるための駆動装置４とを備える真空脱泡装置１において、該攪拌器３及び該駆動装置４は、該容器２内に設けられる。 （もっと読む）

【課題】注入槽の大きさにあわせて簡便に配管することができ、且つ、配管後には作業状況にあわせて液体流出口の位置を適宜変更可能とする液体供給装置を提供する
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【解決手段】(Ａ)液体を貯蔵するための貯蔵タンク１と、(Ｂ)前記貯蔵タンク１とポンプ４に連結し、貯蔵タンク１内の液体を吸引するための吸引チューブ３と、（Ｃ）前記吸引チューブ３と供給チューブ７を連結し、チューブ内の液体を吸引し圧送するためのポンプ４と、(Ｄ)前記ポンプ４に連結し、ポンプ４から圧送される液体を注入槽８に供給するための供給チューブ７と、(Ｅ)供給チューブ７の注入槽８側先端開口部１６を注入槽８の開口部上方の任意の位置に安定して保持するための手動保持手段９と、を備えることを特徴とする液体供給装置。 （もっと読む）

【課題】 加圧容器に、液体を安定して確実に供給することができる液体供給装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
タンクから供給ポンプを介して加圧容器に注液する液体供給装置であって、前記加圧容器に接した注液流路にピストン形状の弁構造体を抜き差しして、流路の開閉を制御する第１の流路開閉手段であるピストンバルブが配置され、前記供給ポンプと前記ピストンバルブとの間にさらに別の弁構造を有する第２の流路開閉手段が配置されていることを特徴とする。
また、上記液体供給装置を使用して加圧容器に注液する液体供給方法であって、第1の流路開閉手段が開状態の場合は、必ず第１の流路開閉手段と第２の流路開閉手段との間の液圧力が加圧容器内から供給装置側へ逆流する液圧力より高くなるように供給ポンプの運転／停止、両開閉装置の開／閉タイミングおよび開度を制御することを特徴とする。 （もっと読む）