【課題】液体の塗布を良好に行うこと。
【解決手段】塗布装置１００は、ノズルヘッド１０６に備えられた透過率検出部６０によってノズルヘッド１０６内の液体１２０の光透過率を検出し、その光透過率の値に基づいて、ノズルヘッド１０６内で滞留する気泡の大きさ及び量を判定する。そして、塗布装置１００において、透過率検出部６０によって検出された光透過率の値が第１許容値または第２許容値を超えた後、ノズルヘッド１０６から液体１２０が吐出不能となるまでに、ノズルヘッド１０６を待機位置に移動させてノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去することができるので、ノズルヘッド１０６に気泡が溜まり過ぎたことによって液体１２０の塗布が中断してしまうトラブルを低減して、液体１２０の好適な塗布を可能にする。 （もっと読む）

【課題】生産性良く液滴を扁平な形状に形成する装置を提供する。
【解決手段】ノズル２０から基板７に光硬化性の機能液からなる液滴２９を吐出するヘッドユニット１３と、基板７に着弾した液滴２９に気流３８を吹き付ける吹付装置１４と、基板７に着弾した液滴２９に紫外光４７ａを照射する照射装置１５と、ヘッドユニット１３が液滴２９を吐出するときに、基板７に対して、ヘッドユニット１３、吹付装置１４及び照射装置１５を主走査方向１１ａに相対移動するキャリッジ１１と、主走査方向１１ａと交差する副走査方向４ａに、基板７に対して照射装置１５を相対移動させるステージ４と、を有し、吹付装置１４は、ノズル２０の主走査方向１１ａに配置され、照射装置１５はノズル２０の主走査方向１１ａとは異なる場所に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 カメラに対するディスペンスノズルの位置の補正を高精度に実現できるディスペンス装置およびディスペンスノズルのキャリブレーション方法を提供すること。
【解決手段】 チップが搭載された基板を載置保持する可動ステージと、アンダーフィル剤を充填するディスペンスノズルと、撮像手段とを備え、この撮像手段が、搭載チップの位置を画像認識する機能と、前記ディスペンスノズルの位置を画像認識する機能とを備えたことを特徴とするディスペンス装置およびディスペンスノズルのキャリブレーション方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ヘッド数の増加による設置費用を減らし、維持補修が容易である処理液の吐出ヘッドユニットおよびこれを具備した処理液の吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の処理液の吐出ヘッドユニット２００は、フレーム２１０と、フレーム２１０に設置される１つの処理液供給モジュール２２０と、１つの処理液供給モジュール２２０に中央集中方式で流体連通されるようにフレーム２１０に形成され、基板Ｓ上にインクジェット方式で処理液を吐出する複数の処理液吐出ヘッド２７０とを含む。 （もっと読む）

【課題】ＥＬ材料液等の液体を供給管に充填させる時間を短縮できるようにするとともに、供給管内に充填される液体に気泡が発生しないようにする。
【解決手段】塗布装置１００が、液体タンク１０８と、液体を吐出するノズルヘッド１０６と、タンク１０８からノズルヘッド１０６にまで配管された供給管１０７と、タンク１０８内の液体１２０を供給管１０７に送り出す供給器１１６と、供給管１０７又はノズルヘッド１０６に設けられた切替部１１０と、切替部１１０に接続されたバキュームポンプ１１３と、を備える。切替部１１０が、供給管１０７をバキュームポンプ１１３に連通させた状態と、供給管１０７をバキュームポンプ１１３から遮断した状態とに選択的に切り替わるよう設けられている。 （もっと読む）

【課題】吐出される液滴の大きさが変化し難い液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板７に光硬化性の機能液からなる液滴２８を吐出するヘッドユニット１３と、ヘッドユニット１３と基板７とを相対移動させるステージ及びキャリッジ１１と、基板７に着弾した液滴２８に紫外光３６を照射する照射ユニット１４と、照射ユニット１４とヘッドユニット１３との間の熱伝動を防止する断熱部２３と、を有する。断熱部２３は気流３３を形成する第２送風装置３７と気流３３が流動する流路部３８とを有する。 （もっと読む）

【課題】表面に段差の形成された基板の当該表面に的確にペーストを塗布することができるようにしたペースト塗布装置を提供するものである。
【解決手段】
測定位置にて前記基板表面までの距離を検出する距離検出手段と、前記距離検出手段による検出値に基づいて前記垂直動機構を制御して前記ノズルの先端と前記基板との間の間隔を調整する制御手段と、表面に上側面と下側面とによる段差の形成された基板にペーストを塗布する場合に、前記上側面と前記下側面との間の高低差としての深さ値を記憶する記憶手段とを有し、前記制御手段は、前記ペーストを前記設定されたパターンで前記基板上に塗布する過程において、前記測定位置が前記上側面と前記下側面のうち前記塗布位置とは異なる面上に位置するときには、前記記憶手段に記憶された前記深さ値に基づいて前記距離検出手段の検出値に基づく前記垂直動機構の移動量を制御する構成となる。 （もっと読む）

【課題】素子基板の構成材料と同じシリコンからなるオリフィスプレートを用いて液体吐出ヘッドを製造する際に信頼性の高い長尺の液体吐出ヘッドを製造することを可能にする。
【解決手段】オリフィスプレートを作製するためのシリコン基板２１の表面に、パターニングされたＡｌ層２２を形成し、Ａｌ層２２をマスクとしてシリコン基板２１のドライエッチングを行うことで、シリコン基板２１の表面における吐出口に対応する位置に配置された、凹部としての穴２１ａ、および溝状の切断ライン２１ｄを形成する。次に、シリコン基板２１の裏面を研削、研磨してシリコン基板２１を薄くすることにより穴２１ａを貫通させ、シリコン基板２１に吐出口３を形成するとともに、切断ライン２１ｂでシリコン基板２１が複数枚のオリフィスプレート１６分割される。これにより、シリコン基板２１に吐出口３が形成されてなるオリフィスプレート１６が作製される。 （もっと読む）

【課題】ヘッドキャップにおける排出路がヘッドキャップに開口する排出開口の付近では、付着物が集中して付着し易い。当該部分の付着物を除去し易い液状体吐出装置、及びヘッド保守装置を提供する。
【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドと、液状体吐出ヘッドの吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通する給排流路と、給排流路に連通し、給排流路を介してヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、給排流路に連通し、給排流路を介してヘッドキャップ内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を備える。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも一つの防食性、液体、金属粒子含有コーティング剤を加工品（２）に塗布するための方法に関し、次の工程、コーティング剤の第１層を加工品（２）に塗布すること、第１層にコーティング剤の第２層を塗布すること、を有する。防食性、液体、金属粒子含有コーティング剤から構成される二つの層のコーティングの時間効率的塗布を可能とする方策を示唆するために、第２層は、第１層がまだ乾燥を必要としている間に塗布されることが提示される。

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