【課題】基材を加熱しながら、基材表面に紫外線照射を行うことにより基材表面の改質を行うことが可能な基材表面の改質装置、およびそれを備えた印刷装置を提供する。
【解決手段】基材表面の改質装置１００は、基材としての半導体装置３の表面を加熱する赤外線照射ユニット１０３と、半導体装置３と相対して設けられ、半導体装置３に紫外線Ｖを照射する紫外線ランプ１０６と、紫外線Ｖを透過し、且つ半導体装置３から放射される熱エネルギーおよび赤外線照射ユニット１０３から照射される加熱エネルギーを遮断するように、半導体装置３および赤外線照射ユニット１０３と紫外線ランプ１０６との間に設けられた遮蔽部としての合成石英ガラス板１０５と、が備えられている。 （もっと読む）

【課題】前処理時に媒体にダメージを与えることを防止するとともに良好な印刷品質が得られる印刷方法及び印刷装置を提供する。
【解決手段】樹脂でモールドされた半導体装置３に対し、オゾンを含有する雰囲気で紫外線を照射して表面処理を行う表面処理部９と、半導体装置３の表面に活性光線で硬化する液体の液滴を吐出するノズルを有する吐出ヘッドと、半導体装置３上の液滴に活性光線を照射する照射部と、を備える印刷装置に関する。 （もっと読む）

【課題】効率的な前処理が可能であり、タクトタイムを短縮できる印刷装置を提供する。
【解決手段】吐出ヘッドと、吐出ヘッドの液滴吐出動作に先立ち、基材１の表面に紫外線を照射して基材の表面を改質する表面改質処理を行う処理部９と、を備えた印刷装置に関する。処理部９は、複数の照射部３２ａと、照射部が紫外線を照射するタイミングで複数の照射部３２ａを挟持するように基材を保持する基材保持機構２７ｂ，２８ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板に対する前処理後、塗布までの間に基板の表面の状態が変化するのを抑えること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を基板に塗布する塗布部と、前記液状体が塗布される前の前記基板に対して前処理を行う前処理部と、前記塗布部によって前記液状体が塗布される塗布空間と前記前処理部によって前記前処理が行われる前処理空間とを接続する接続空間を有し、前記接続空間の雰囲気が不活性ガスの雰囲気となるように調整可能に設けられた接続部とを備える。 （もっと読む）

【課題】鋼材との接着強度が長期間に亘って維持できる信頼性に優れた高耐久性防食鋼材の製造装置を提供する。
【解決手段】長尺状鋼鋼材６の表面に形成された溶融状態にある樹脂被膜に対して高温状態の無機質の粗粒体を吹付ける無機質粗粒体吹付け装置を備え、その無機質粗粒体吹付け装置は、長尺状鋼材６の全周を囲むように形成された粗粒体吹付け室５３を有し、粗粒体吹付け室５３の長尺状鋼材６と対向する内側に狭隘の絞込み部５５が形成され、高温状態の粗粒体と空気の混合流が粗粒体吹付け室５３に供給されて、絞込み部５５を通って溶融状態の樹脂被膜を担持した鋼材６の周面に噴射される構成になっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚制御、特に塗布膜の周縁部の膜厚均一化を容易に行うこと。
【解決手段】この面状塗布ユニット（ＡＣＴ）４０では、ステージ８０の上に基板Ｇを載置して、レジスト液供給機構８６およびノズル移動機構８８を動作させると、長尺ノズル８２の塗布走査により基板Ｇ上に基板の一端から他端に向ってレジスト液の面状塗布膜１００が形成されていく。その際、面状レジスト塗布膜１００が基板Ｇの外側へ向って広がる過程でライン状レジスト塗布膜７６と接触ないし一体化し、ライン状レジスト塗布膜７６によって面状レジスト塗布膜１００の外縁の位置が規定されると同時に膜厚も制御される。 （もっと読む）

【課題】ハンプの低減が図られる半導体装置の製造方法と、ハンプが低減された半導体装置と、レジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１を回転させながら、ハンプ処理用流体吐出ノズル５５から、純水等の不活性な液体６４ａを所定の圧力をもって吐出させ、ハンプ３ａが発生している領域へ噴き付ける。高圧の不活性な液体６４ａをハンプ３ａに噴き付けることによって、ハンプ３ａが押し潰されて、下層レジスト材料膜３の膜厚が半導体基板１の全面においてほぼ均一になる。 （もっと読む）

【課題】ランダムオービタル器具によるロボット式表面前処理を提供すること。
【解決手段】装置が、任意の軌道運動でバッキングパッドを移動させる表面前処理器具と、器具に連結された第１のボールジョイントと、第１のボールジョイントに連結された第２のボールジョイントと、器具を表面に押し付けるために、第２のボールジョイントに連結されたロボットエンドエフェクタとを備える。 （もっと読む）

【課題】 光沢処理、防汚処理、塗膜保護等の目的に適う機能を備えた塗面コート剤に対し、もう一工程の処理を施すことにより、耐久性の点で格段に優れた塗面コート剤とすることができる、塗面コート剤の処理装置、塗面コート剤の処理方法並びにその塗面コート剤を提供すること。
【解決手段】
塗面コート剤に無誘導巻き配置とした処理コイル３を用いてサイン波形を基本とするホワイトノイズ波形の電磁波を加え、塗面コート剤の成分を微小化、活性化させることにより、被処理物の塗装面における塗料分子間に奥深くまで浸透して塗膜と塗面コート剤の溶剤との結合をより強固にし、耐久性に優れた塗面コート剤とする。 （もっと読む）

【課題】高精細のパターン形成を可能にする印刷装置を提供する。
【解決手段】基材を加熱した状態で所定の前処理を行う前処理部と、加熱された基材を冷却する冷却部１１と、冷却された基材に対して液滴を吐出して所定パターンを印刷する印刷部とを備える。冷却部は、基材が載置されるステージＳＴと、ステージに設けられ基材を保持する保持面６２を有するヒートシンク部６１と、ヒートシンク部に空気を流動させる流動装置９１と、を備える。 （もっと読む）