【課題】対象物に着弾された液滴の濡れ広がりを防ぐことが可能な液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供すること。
【解決手段】導電性を有する第１材料及び当該第１材料を溶解又は分散する第１媒体と、前記第１媒体に対して撥液性を有する第２材料及び当該第２媒体を溶解又は分散すると共に前記第１媒体よりも沸点の低い第２媒体と含む液状体を保持する液状体保持部を有し、対象物へ向けて前記液状体を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドから吐出され前記対象物に着弾する前の前記液状体に光を照射可能な光照射装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルで塗布液を繰り返しプレートに予備塗布を行っても、プレートの清浄度を一定に保つ低コストの洗浄手段を具現化することによって、常に安定した塗布品質を実現する塗布装置及び塗布方法を提供する。それによって低コストで高品質のカラーフィルターやＴＦＴアレイ基板等の液晶ディスプレイ用部材を製造できる液晶ディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】塗布液を吐出するために一方向に伸びる吐出口を有する塗布器２４から平面を有するプレート２０４に向かって塗布液を吐出して予備塗布を行い、引き続いて被塗布部材に塗布を行う塗布方法において、前記予備塗布終了後にプレート２０４に２段の洗浄を行って、プレート２０４に予備塗布された塗布液の除去を行い、第２段の洗浄は第１段の洗浄を所定回数行うごとに実施することを特徴とする塗布方法。 （もっと読む）

【課題】塗り残しの発生を抑え、品質の良い塗布を行うことができる液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴塗布装置において、塗布面Ｋａを有する塗布対象物Ｋを収容する収容室１１と、収容室１１内に溶媒蒸気を供給する溶媒供給部１３と、溶媒が結露した塗布面Ｋａに向けて液滴を吐出する塗布ヘッドとを備える。 （もっと読む）

【課題】カーテン塗布方法により感熱記録材料等の塗工製品を製造する際に、最上層塗膜表面のクレーター（噴火口形状痕）の発生を抑制する。
【解決手段】少なくとも１層以上の塗布液をスリットから吐出し、該吐出された塗布液をカーテン状に案内するカーテンエッジガイドで自由落下させ、連続走行するウェブ上に塗布するカーテン塗布工程と、塗布された前記塗布液を乾燥することにより塗膜を形成する工程と、を備えた塗工方法において、連続走行するウェブの表面平滑度を３００秒以上とする。 （もっと読む）

【課題】システム構成を簡略化し、処理タクトを短縮化することが可能な基板処理システムを提供すること。
【解決手段】基板に所定処理を行う処理ユニットと、前記所定処理前の前記基板を収容した搬入用容器が供給されると共に、空の前記搬入用容器が回収される基板搬入ユニットと、前記所定処理後の前記基板を収容した搬出用容器が回収されると共に、空の前記搬出用容器が供給される基板搬出ユニットと、前記処理ユニット内のローディングポジションと前記基板搬入ユニットとの間で前記搬入用容器を搬送すると共に前記処理ユニット内のアンローディングポジションと前記基板搬出ユニットとの間で前記搬出用容器を搬送する搬送機構を有する搬送ユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】ボンディングツールへの良好な吸着を可能とすることで信頼性の高い液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１基板２２と、駆動素子２３と、第２基板２５と、第２基板２５の第１基板２２と反対側に設けられたケース部材１０１と、駆動回路部２６が実装されており、駆動回路部２６と第２基板２５の開口部６０に露出している駆動素子２３の端子部４７とを電気的に接続するフレキシブル基板２７と、を備える液滴吐出ヘッド１である。フレキシブル基板２７の端子部４７に対する接続部２７ｂの近傍に、駆動回路部２６の実装に起因して生じるフレキシブル基板２７を変形させる力を抑制する変形抑制部２８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】処理液の循環ポンプの大型化等を抑えた上で噴出量を増加させ、噴射ノズルから噴射される処理液の噴出幅、噴出厚さ及び噴出距離を増大させて、異物を巻き上げることなく良好に除去できる噴射ノズル及び該噴射ノズルを用いた槽内異物処理装置を提供する。
【解決手段】処理槽内に貯留した処理液中で用いられる噴射ノズル１は、ノズル本体２の先端壁４の外面に軸方向視で軸中心側に凸の円弧状に延びるＶ字溝５を一対に形成し、該各Ｖ字溝５の長手方向中間部の底部にはそれぞれ軸方向視三日月形状の噴射口６を形成してなる。ノズル本体２は処理槽の底部に向けて斜めに処理液を噴射するべく傾斜して配置され、かつ前記各噴射口６は上下に並ぶように配置される。この噴射ノズル１を用いて槽内異物除去装置が構成される。 （もっと読む）

【課題】大きな泡から小さな泡を安定して生成することが難しい。
【解決手段】泡にすることが可能な液体又はゲル若しくは液体及びゲルの両者である処理液２０１から大泡２０９を生成する大泡生成部２０５と、大泡生成部２０５で生成された大泡２０９から塗布に適した小泡２１０を生成する小泡生成部２１１と、被記録媒体１００に小泡２１０を塗布する塗布ローラ２１２とを備え、小泡生成部２１１は大泡２０５が通過することで小泡２１０を生成する複数の管路３１１を有する管路部材３０３を有し、管路部材３０３の複数の管路３１１の出口側は隣り合う管路３１１の径よりも広い隔壁３１２で隔てられている。 （もっと読む）

【課題】 広い設置スペースを必要とせず、生産性に優れる塗装乾燥装置を提供する。
【解決手段】 製品Ｐを上昇移動させながら連続的に予熱し乾燥させるべく、垂直方向に配置した予熱乾燥炉１０と、予熱を終えた製品Ｐを予熱乾燥炉１０から塗装のために引出す引出し機構２０と、引出し機構２０によって引き出された製品Ｐを塗装する塗装ロボット３０と、予熱乾燥装置１０に隣接して垂直方向に配置され、製品Ｐを下降移動させながら冷却する冷却炉４０を設けて構成する。 （もっと読む）

【課題】引火性の溶媒を用いた基材表面への成膜において、基材表面へのゴミの付着を抑制する成膜方法および成膜装置を提供する。また、検出欠陥を少なくする放射線検出器の製造方法を提供する。
【解決手段】成膜装置６００は、膜成分および引火性の溶媒を含む溶液を基材６０１の表面に塗布し、基材表面に膜を形成する。この成膜装置６００では、基材表面に溶液を塗布する塗布室６０２が略密閉され、クリーンエア供給手段６１３から塗布室６０２にクリーンエアが供給される。そして、塗布室内の溶媒の蒸気濃度が燃焼下限値未満の状態で、コロナ放電器６１１により生成されるイオンが基材表面に吹き付けられて基材表面が除塵され、除塵された基材表面に溶液が塗布される。 （もっと読む）