【課題】吐出する機能液が所定の温度に調整されるまでの待機時間を短くする液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】着色液３１を液滴４６にして吐出し所定のパターンを描画する液滴吐出装置８にかかわる。着色液３１を加熱または冷却して着色液３１を所定の温度に調整する第１加熱冷却装置４１を備え、第１加熱冷却装置４１は１つのパターンを描画するときに吐出する量の着色液３１を所定の温度に調整する。 （もっと読む）

【課題】金属混合液を用いて基板上に金属膜を適切且つ効率よく形成する。
【解決手段】金属膜形成システム１は、ウェハＷを搬入出する搬入出ステーション２と、ウェハＷ上に前処理液を塗布し、ウェハＷ上に下地膜を形成する前処理ステーション３と、下地膜が形成されたウェハＷ上に金属混合液を塗布し、ウェハＷ上に金属膜を形成する主処理ステーション４と、搬入出ステーション２と前処理ステーション３とを接続する第１のロードロックユニット１０と、前処理ステーション３と主処理ステーション４とを接続する第２のロードロックユニット１３とを有している。前処理ステーション３、主処理ステーション４、第１のロードロックユニット１０及び第２のロードロックユニット１３は、それぞれ内部を不活性ガスの大気圧雰囲気又は減圧雰囲気に切り替え可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物に接着剤の塗布膜を所望する膜厚で形成する。
【解決手段】半導体装置の製造装置１は、塗布対象物Ｗの塗布面に紫外線を照射する照射部５と、照射部５により紫外線が照射された塗布面に接着剤を塗布する塗布部６とを備え、照射部により紫外線が照射された塗布面に接着剤を塗布する。また前記塗布対象物を支持するハンドを有し、前記ハンドにより前記塗布対象物を搬送する搬送部をさらに備え、前記照射部は、前記搬送部により移動する前記塗布対象物の前記塗布面に前記紫外線を照射する。前記照射部は、前記紫外線を発生させるランプと、前記ランプによって発生する前記紫外線の光量を検出する検出器と、前記検出器によって検出された前記紫外線の光量に基づいて前記塗布面に対する照射光量を設定値に維持するように調整する調整手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】レンズを充分にかつ正しい色で染色する。
【解決手段】プラスチックレンズを被染色面が露出する状態で搬送する搬送装置１５と、前記被染色面と対向する位置に配設されて被染色面に濡れ性が向上する改質処理を施す改質装置（コロナ放電処理装置２１）とを備える。前記改質装置より搬送装置１５の搬送経路の下流側であって前記被染色面と対向する位置に配設され、前記被染色面に染料の粒子を飛ばして付着させる染料噴出装置（インクジェット装置２２）とを備えた。 （もっと読む）

【課題】コーターによりウエブに塗布液を塗布する塗布方法及び装置において、ウエブの異物（塵埃）付着による塗布欠陥を抑制することができる塗布方法及び装置を提供する。
【解決手段】ウエブ１２に近接させたコーター１４の先端リップ１４Ａにビード１６Ａを形成し、ビード近傍を減圧チャンバー２６により減圧して、ウエブ１２に塗布液１６を塗布する方法において、減圧チャンバー２６内に設置された超音波発生手段３６により超音波を発生させ、ウエブ１２に付着していた塵埃を超音波の振動により振い落とすとともに、振い落とされた塵埃を減圧チャンバー２６で吸い取る。 （もっと読む）

【課題】掠れやムラを生じさせず、所期の標識線を描くことができ、トレッド部をリボン製法で構成した場合でも、ゴムストリップの巻回層間の隙間に塗料が染み込んでしまうことがなく、製品タイヤの品質を高度に確保することができる、未加硫タイヤへの描線方法を提供する。
【解決手段】本発明の未加硫タイヤへの描線方法は、成型ドラムの回転軸と平行な軸を中心に回転可能且つ変位可能であり、温度制御可能なステッチングローラを有するステッチング手段を用いてタイヤのトレッド部の描線位置を平滑にした後、変位可能な描線手段を用いて、描線位置に標識線を描くことを特徴とする。また、本発明の未加硫タイヤへの描線装置は、上記ステッチング手段と上記描線装置とを具えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークに対して表面処理を行う表面前処理作業からインクを吐出して、当該インクの硬化作業までの時間を短縮させることができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ワークに機能液を吐出するノズルを有する液滴吐出ヘッドと、前記ワークに表面処理を施す表面処理部と、前記ワークに対して、前記液滴吐出ヘッドと前記表面処理部を、相対的に走査する走査部と、を備えた液滴吐出装置であって、前記表面処理部は、前記ノズルと所定の距離をおいて配置され、前記走査部により、前記液滴吐出ヘッドより先に、前記ワークと対向するように走査される。 （もっと読む）

【課題】生産効率を向上させる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ワーク５に液滴を吐出する前にワーク５に前処理を施す前処理部２０と、液滴を吐出可能に取り付けられた液滴吐出ヘッドを備え、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して液滴をワーク５に塗布する液滴吐出部３０と、液滴が吐出されたワーク５に後処理を施す後処理部５０と、ワーク５の平面を水平に保持可能なワーク保持部７７を有する搬送部７０と、を有し、前処理部２０と、液滴吐出部３０と、後処理部５０とが搬送部７０のワーク保持部７７の移動範囲内において順に配置され、搬送部７０のワーク保持部７７がワーク５を保持した状態で前処理部２０と、液滴吐出部３０と、後処理部５０とを順次移動可能である。 （もっと読む）

【課題】ウォームアップに起因する待機時間を無くすことで液滴吐出処理を効率的に行うことができる、液滴吐出方法、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドから基板に紫外線硬化型のインクを吐出する液滴吐出方法である。液滴吐出ヘッドにおけるウォームアップ処理として液滴吐出ヘッド内のインクを吐出時に対応する温度に予備加熱する処理ＳＳ４、基板に対して前処理を施す前処理ユニットのウォームアップ処理として前処理ユニットを準備駆動する処理ＳＳ２、及びインクを吐出した基板に紫外線を照射する後処理ユニットのウォームアップ処理として後処理ユニットを準備駆動する処理ＳＳ３の少なくともいずれかを行うか否か判定する判定ステップＳＳ１と、判定ステップの判定結果に基づいて、処理の少なくともいずれかを行う実行ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】表面にマークを描画する基板の裏面に位置検出用マークが形成されているときにも、基板の位置及び角度を検出して、生産性良く描画する装置を提供する。
【解決手段】表裏面を有する半導体基板１の表面２ａに液滴を吐出する塗布部１３と、裏面２ｂに形成された第１位置検出用マーク７及び第２位置検出用マーク８を撮影しての位置及び角度を検出する基板位置検出部１２と、基板位置検出部１２が検出した半導体基板１の位置及び角度の情報を用いて塗布部１３の所定の場所へ所定の角度で半導体基板１を移動する搬送部１６と、を有し、基板位置検出部１２は、塗布部１３が液滴を吐出する向きと反対の向きから第１位置検出用マーク７及び第２位置検出用マーク８を撮影する。 （もっと読む）