【課題】保持ローラから異物が移って基板が汚染されることを抑制または防止することができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置１は、ほぼ円形の基板Ｗの周端面にその外周面を当接させることにより当該基板Ｗを挟持して保持する複数の保持ローラ２と、複数の保持ローラ２を回転させることによって、当該保持ローラ２に保持された基板Ｗを回転させる基板回転機構１５と、保持ローラ２を洗浄するためのローラ洗浄ブラシ４９と、複数の保持ローラ６に保持された基板Ｗの周縁部に複数の保持ローラ６とは異なる位置で当接し、当該基板Ｗの周縁部を洗浄するための周縁洗浄ブラシ３９とを含む。 （もっと読む）

【課題】間紙に付着している粉塵等の付着物を効果的に除去することができると共に、省設置スペースとし、且つメンテナンスを容易とすることができる間紙クリーニング装置を提供する。
【解決手段】ブラシクリーニング手段４は、縦方向に形成された搬送路３５の左右に対配置された搬送ローラ２１により前記間紙Ｐを縦立させて上方に搬送する間紙搬送手段と、前記間紙搬送手段により上方に搬送される間紙Ｐの表裏面に対し、前記搬送路３５の左右に対配置されたロールブラシ２３を回転させることにより除塵処理するロールブラシ手段と、前記ロールブラシ手段により除塵処理され、前記間紙搬送手段により上方に搬送される間紙Ｐの表裏面に対し、前記搬送路３５の左右に対配置された直線ブラシ２４を摺接させて除塵処理する直線ブラシ手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 磁気ディスク用ガラス基板等のスクラブ洗浄に用いられるロールブラシが使用時間の増加に伴って経時劣化し、その洗浄能力が低下する問題がある。しかし、洗浄能力の低下の要因として従来考えられていたものとは異なる要因が見出された。
【解決手段】 ストッパーがブラシの両端をブラシ軸に押圧することによって、ブラシとブラシ軸との密着度が高まり、これらが空転し難くなって、スクラブ洗浄装置が高い洗浄能力を長期間維持することができる。また、ブラシの寿命を延ばすこともできる。 （もっと読む）

【課題】被処理物を表面処理する処理槽から処理ガスが漏れるのを防止し、かつ処理空間での処理ガスの流れを安定化する。
【解決手段】被処理物９を搬送手段２０によって搬入開口１３から処理槽１０の内部に搬入し、処理空間１９に配置する。供給系３０から処理ガスを処理空間１９に供給し、被処理物９を表面処理する。その後、被処理物９を搬出開口１４から搬出する。排気系４０で処理槽１０の内部からガスを排出する。このガス排出によって外部のガスが開口１３，１４を通して処理槽１０の内部に流入する。この流入ガスの平均流速が、０．１ｍ／ｓｅｃ以上、かつ流入ガスが処理空間１９に達する大きさ未満になるよう設定する。 （もっと読む）

【課題】除塵対象の片側のみ除塵する除塵装置において、除塵ヘッドに対向する簡易な構成の受け部を追加し、隣接する除塵対象間の隙間を通過する噴射室からの洗浄ガスの流れ方向を変えた後に吸引室で吸引するようにして、不要な塵埃の飛散を低減する除塵装置を提供する。
【解決手段】除塵ヘッド１００に対向するように配置され、噴射室１１１の噴射口１１１ａから噴射された洗浄ガスを受けて方向を転換させる受け部２００を備え、隣接する二個の除塵対象１０間の隙間に向けて噴射室１１１の噴射口１１１ａから洗浄ガスを噴射し、受け部２００で方向を転換させた洗浄ガスを上流側吸引室１１２の吸引口１１２ａおよび下流側吸引室１１３の吸引口１１３ａから吸引する除塵装置１とした。 （もっと読む）

【課題】貯蔵プールの水中で、狭隘部や障害物があっても、目的とする部位の各種作業を遠隔地点から行うことにある。
【解決手段】水中を航行する遠隔操縦式移動体であるＲＯＶ６，１７，２６に電動ウインチ８と空気袋６ｂに接続された吸着パッド６ａや、内視鏡カメラ２２やサンプリングヘッド２９を装備させ、それらを貯蔵プール１の外側から操作卓１３等で操縦して、容器２を吸着パッド６ａで吸着保持して検査個所から移動させる作業や、内視鏡カメラ２２を用いてその移動跡での観察作業を行ったり、サンプリングヘッドで貯蔵プール壁面に付着した物質の採取作業を行ったりする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線センサのＸ線入射面に付着している又は付着し得る、水滴や塵等の環境を、生産ラインを長時間停止させることなく除去することが可能な、Ｘ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品５０にＸ線を照射し、物品を透過したＸ線を検出することにより、物品５０に対する検査を実行するＸ線検査装置であって、Ｘ線照射部４と、ラインセンサ６を有するＸ線検出部５と、ラインセンサ６に近接して配置され、ラインセンサ６のＸ線入射面６Ａに付着している又は付着し得る環境を、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去するスクレパー１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄力を向上させたバキュームクリーナを得る。
【解決手段】上搬送ロール２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ及び下搬送ロール２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄはワーク２８を挟んで搬送する。支持部１６ａ，１６ｂは上搬送ロール２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ及び下搬送ロール２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄを支持する。バイブレータ３４ａ，３４ｂは、それぞれ支持部１６ａ，１６ｂに振動を与える。上搬送ロール２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ及び下搬送ロール２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄがワーク２８を挟み、かつバイブレータ３４ａ，３４ｂが支持部部１６ａ，１６ｂに振動を与えている状態で、バキュームブロック２０ａ，２０ｂ，２０ｃはワーク２８に付着したゴミを吸引除去する。 （もっと読む）

【課題】 シート状部材の側面の異物を除去しつつ、シート状部材の製造に必要な工程数を削減することが可能なシート状部材清掃装置およびシート状部材清掃方法を提供する。
【解決手段】 シート状部材清掃装置１において、異物除去部４は、粘着性を有する平面状の除去面１１を有する。支持台７上のシート状部材２の側面１２に対して略平行な状態を保ちつつ除去面１１が移動すると、シート状部材２を位置決めしつつ、除去面１１が側面１２に一度に接触する。除去面１１が側面１２から離反すると、側面１２に付着していた異物２８が除去面１１に移り、シート状部材２の側面１２が清掃される。 （もっと読む）

【課題】長尺の円筒形状の部品を自動的に洗浄可能であり、部品にダメージを与えることなく洗浄可能な非研磨性洗浄装置を提供する。
【解決手段】ブラスト剤を洗浄対象となる部品に吹き付けて上記部品に付着した汚れを除去する洗浄機と、上記部品を上記洗浄機へ出し入れするために、上記洗浄機の左右に配置された２台の送り装置から構成し、上記送り装置は、２列に配置された、水平方向及び垂直方向の角度が可変である複数のローラーと、上記ローラーを回転させる駆動ドラムと、上記ローラーと上記駆動ドラムを制御するためのコントローラとを備え、上記コントローラで、上記ローラーの回転速度、および上記ローラーの１回転あたりに上記部品を上記洗浄機に対して移動させる距離を示す送り速度を変化させる。 （もっと読む）