【課題】粘着ロールの上下方向への案内をスムーズに行うことで、粘着ロールの位置決めを正確に行うこと。
【解決手段】ワークを搬送しながらワークの表面に付着した塵埃を除去する除塵装置において、ワークの表面に付着している塵埃を吸着する粘着ロール４と、粘着ロール４に付着した塵埃を転写する粘着テープロールを保持するテープ保持部と、粘着ロール４を回転駆動させる駆動モータと、駆動モータに連結される駆動側磁気部材３７と、粘着ロール４に連結され駆動側磁気部材３７と所定の間隔をあけて対向配置される従動側磁気部材３８とを有し、駆動モータの回転駆動を粘着ロール４へ非接触状態で伝達する伝達機構３０と、従動側に配置され、粘着ロール４の回転軸線方向に直交する方向に伸びるリニアシャフト４１と、リニアシャフト４１と接触しながら該リニアシャフト４１の軸方向に沿って移動することで、粘着ロール４をその回転軸線方向に直交する方向へ案内するリニアブッシュ４２とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】粘着ラバーローラにワークが接触しても、ワークの温度を所定以上に維持可能なクリーンローラ装置を提供すること。
【解決手段】ワークＷを搬送しつつ、当該ワークＷに付着している塵埃を除去するためのクリーンローラ装置１０であって、駆動源３１の作動によりワークＷを搬送する搬送機構３０と、ワークＷの少なくとも一方の面に、ワークＷの移動に伴って転動しつつ接触して、当該ワークＷの一方の面に付着している塵埃を吸着保持すると共に、ヒータ５１２を内蔵する塵埃吸着ローラ体５１と、粘着テープが巻回されている粘着テープロール５３２を保持する粘着テープ保持部５３１を有する粘着テープ保持ユニットと、
を備えている。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液を被処理部物に供給しながらブラシ処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、被処理物をブラッシング処理するためのブラシとを具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】稼動中に装置が使用する電力、エア、純水の消費量を、待機中のとき大幅削減し、且つ、再稼動において、直ちに洗浄を開始することができる液晶枚葉洗浄装置を提供する。
【解決手段】搬送手段１５を具備するロードバッファ部１０とアンロードバッファ部５０と、ブラシ洗浄手段２５を具備するロールブラシ部２０と、バブルジェット手段３５を具備するバブルジェットアクアナイフ部３０と、エア噴射手段４５を具備するエアナイフ部４０と、純水供給制御手段６４を具備する純水供給部６０と、装置コントロール手段７５を具備する装置制御部７０とを有し、装置コントロール手段７５は、待機のとき、待機信号により純水供給機能以外の全ての機能を停止させ、純水供給制御手段６４は、待機信号を受けて純水供給手段６２の純水の供給を制御する。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板を洗浄ブラシで洗浄する際、洗浄効果を向上させることができるようにした洗浄ブラシを提供することにある。
【解決手段】基板の板面を洗浄するための洗浄ブラシであって、
ブラシ軸１５と、ブラシ軸に設けられた太さの異なる複数種の毛材１６ａ，１６ｂとを具備する。 （もっと読む）

【課題】基板の表面から除去した異物を周囲に飛散させることがなく、確実に異物を捕捉することができ、基板表面から異物を除去した後の清浄な状態を維持して次の工程に進めることができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板１００を搬送する搬送手段２０と、搬送された基板１００の表面に対して供給するエアの吹き付け角度が調整可能なエア吹き出し口３６を有するエアブロー部３０と、エアブロー部３０にエアを供給するエア供給部４０と、エアブロー部３０から吹きつけられたエアにより基板表面から除去された異物をエアと共に収集し、異物のみを捕捉する集塵部５０と、を具備し、エアブロー部３０の外表面の一部には、エア吹き出し口３６からのエアと異物とを集塵部５０へ誘導するための誘導溝が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被洗浄面への異物の再付着が防止され、効率よく確実に異物が被洗浄面から除去されるブラシロール、及びそのブラシロールを搭載した洗浄装置を提供する。
【解決手段】ブラシロール１はブラシ部２及び回転軸３を有し、ブラシ部２は長尺状のブラシ毛材８を有すると共に、回転軸３の外周に螺旋状に巻き付けられ、回転軸３は略円筒状の内筒体１６が中空状の外筒体１１に挿入された二層構造をなし、内筒体１６を構成する軸体部１７の外周の特定箇所に形成された内孔部２４は、外筒体１１が回転することにより、外筒体１１を構成する本体部１２の外周に開設された外孔部２３と順次、重なり合うと共に、圧縮流体が噴射するよう形成されている。 （もっと読む）

【課題】 貝表面の全体を清浄することが困難であった。
【解決手段】 側面Ｖ字状の貝移動通路の側面に開口部を形成し、貝移動通路の上部に貝移動通路内に突出するように設けた貝移送体の回転により貝移動通路内の貝を貝移動通路の入口側から出口側に移送し、その移送中に、貝移動通路の外側方に設けた汚れ除去具が貝移動通路の開口部から貝移動通路内に突出して回転して貝の表面の汚れを除去する貝表面清浄機において、汚れ除去具は貝移動通路の両外側に貝移動通路に沿って配置した回転軸に爪取付盤が間隔をあけて取り付け、爪取付盤は円盤状の本体の外周面又は放射状の羽根の外側に爪を取付けて、回転軸回転により爪取付盤が回転して爪により貝表面の汚れを掻き落として除去することを特徴とする貝表面清浄機。 （もっと読む）

【課題】フイルム状基材表面に付着した粘着力のある異物を、フイルム状基材の全面を均一に洗浄して効率よく除去するとともに、除去した異物が再付着しにくく、しかもデリケートなフイルム表面にすり傷等の外観欠陥を発生させない洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】搬送されてくるフイルム状基材９を洗浄する洗浄装置であって、前記洗浄を行う洗浄部がスキージ４と洗浄液吹き出しノズル５とを有するフイルム状基材の洗浄装置である。また、搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する方法において、スキージをフイルム上に押付けながら洗浄液をスキージ押付け部付近に吹き出すフイルム状基材の洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】除塵作業後の被除塵物に粉塵が再付着するのを抑止する。
【解決手段】粉塵拭き取り用又は粉塵掃き取り用のワイプ部材４を備える除塵ロボット６を設け、搬送手段により搬送される被除塵物２をワイプ部材４で除塵する除塵用動作を除塵ロボット６に実行させる構成にするとともに、被除塵物２から離れた位置に設定した清掃域でワイプ部材４の清掃が実施可能なように、除塵用動作後のワイプ部材４を清掃域に移動させる清掃用動作を除塵ロボット６に実行させる構成にする。 （もっと読む）