フイルム状基材の洗浄方法及び洗浄装置
【課題】フイルム状基材表面に付着した粘着力のある異物を、フイルム状基材の全面を均一に洗浄して効率よく除去するとともに、除去した異物が再付着しにくく、しかもデリケートなフイルム表面にすり傷等の外観欠陥を発生させない洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】搬送されてくるフイルム状基材９を洗浄する洗浄装置であって、前記洗浄を行う洗浄部がスキージ４と洗浄液吹き出しノズル５とを有するフイルム状基材の洗浄装置である。また、搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する方法において、スキージをフイルム上に押付けながら洗浄液をスキージ押付け部付近に吹き出すフイルム状基材の洗浄方法である。
【解決手段】搬送されてくるフイルム状基材９を洗浄する洗浄装置であって、前記洗浄を行う洗浄部がスキージ４と洗浄液吹き出しノズル５とを有するフイルム状基材の洗浄装置である。また、搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する方法において、スキージをフイルム上に押付けながら洗浄液をスキージ押付け部付近に吹き出すフイルム状基材の洗浄方法である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はフイルム状基材を連続的に移動させながらスキージをフイルム状基材に押し当て、且つ、洗浄液をスキージ押付け部付近に吹き出して、フイルム面に付着した異物を効率的に除去するフイルム状基材の洗浄方法及び洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ及びプラズマディスプレイの出現により、様々な種類の機能性フイルムが多用されている。特にテレビ用ディスプレイでは高精細、高画質化が進行し、フイルム状基材に異物が存在すると画質欠陥となるので付着異物を洗浄することが要求されてきている。そのため、フイルム面に付着した異物を効率的に洗浄するフイルム状基材の洗浄方法及び洗浄装置を考案する必要がある。
【０００３】
液晶ディスプレイ及びプラズマディスプレイに使用されるガラス基板の枚葉式洗浄機については、既に多くの洗浄装置が考案されているが、いわゆるロールツーロール（ロール状に巻いた樹脂フイルム状基材を繰り出して、搬送しながらフイルム状基材を連続して処理し、ロールに巻き取る方式）でフイルム状基材を高度に洗浄する洗浄方法及び洗浄装置は、未だあまり知られていない。
【０００４】
例えば、特許文献１及び特許文献２には、ロールツーロールのフイルム洗浄装置についての発明が記載されており、被洗浄物を連続的に移動させながら洗浄液を高圧で噴霧することにより洗浄する方法が記載されている。また、例えば、特許文献３及び特許文献４にはブラシロールを使用したフイルム洗浄についての発明が記載されている。
【特許文献１】特開２００８−２９９９０号公報
【特許文献２】特開２００８−２３４６６号公報
【特許文献３】実開平１−６６８４８号公報
【特許文献４】実開平２−８３０８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
フイルム状基材に付着した異物には浮遊異物が付着したものや製品を加工する際に発生して付着した樹脂状異物等、数種類の異物がある。浮遊異物でも粘着性の少ないものは洗浄を行うことにより比較的簡単に除去できる。このような異物は前記記載の洗浄液を高圧で噴霧する洗浄方法でも除去できる。
【０００６】
しかしながら、粘着性のある浮遊異物や製品を加工する際に発生して付着した樹脂状異物は粘着力が強く簡単に除去することは困難である。しかもロール状に強く巻かれているために巻き締められて扁平形状になり、粘着力も増していっそう除去することが困難になっている。そのため、洗浄液を高圧噴霧する洗浄方法や、洗浄液と高圧エアーを混合して噴霧する二流体洗浄方法が採用されたりしているが十分な洗浄効果が得られていないのが実情である。
【０００７】
フイルムの洗浄方法としてはブラシを被洗浄物であるフイルム状基材に直接接触させて洗浄する方法も採用されている。しかし、ブラシでは接触するところと非接触のところが生じ、フイルム全面を均一に洗浄することが困難である。しかも、ブラシが接触したところはブラシ先端が点接触で激しくフイルム面と衝突するために微細なすり傷等が発生し易い。それから、使用していくなかでブラシの劣化が進み、ブラシ先端部分が破損したりして新たな異物発生源となる場合もあり、いくつかの問題がある。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、フォルム状基材表面に付着した粘着力のある異物を、フイルム状基材の全面を均一に洗浄して効率よく除去するとともに、除去した異物が再付着しにくく、しかもデリケートなフイルム表面にすり傷等の外観欠陥を発生させない洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下のものに関する。
（１） 搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する洗浄装置であって、前記洗浄を行う洗浄部がスキージと洗浄液吹き出しノズルとを有することを特徴とするフイルム状基材の洗浄装置。
（２） 搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する洗浄装置であって、スキージと洗浄液吹き出しノズルを有し前記洗浄を行う洗浄部と、リンス液吹き出しノズルを有し前記洗浄後の洗浄液を洗い流すリンス部と、水切り用エアーナイフを有し前記リンス後のリンス液を切る液切り部と、乾燥用エアーナイフを有し前記液切り後の液を乾燥する乾燥部と、を有することを特徴とするフイルム状基材の洗浄装置。
（３） スキージがフイルム状基材表面に押付けられるスキージ押付け部付近に、洗浄液吹き出しノズルからの洗浄液が、前記スキージ押付け部よりも上流側から当たるように、前記洗浄液吹き出しノズルが設けられることを特徴とする上記（１）または（２）に記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（４） スキージはフイルム状基材に対して角度調整及び押し込み量調整ができる機構部を有することを特徴とする請求項１から３の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（５） スキージが樹脂板であることを特徴とする上記（１）から（４）の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（６） スキージが樹脂板であり、且つ、被洗浄物のフイルム状基材よりも硬度が低いことを特徴とする上記（１）から（５）の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（７） スキージ材質がテフロン（登録商標）であることを特徴とする上記（１）から（６）の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（８） スキージ材質が金属であり、かつ、フイルム状基材と接触するスキージエッジ部分のＲが０．５ｍｍ乃至３ｍｍであることを特徴とする除木（１）から（７）の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（９） スキージ長さが被洗浄物であるフイルム幅より長いことを特徴とする上記（１）から（８）の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（１０） 搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する方法において、スキージをフイルム上に押付けながら洗浄液をスキージ押付け部付近に吹き出すことを特徴とするフイルム状基材の洗浄方法。
（１１） スキージに角度を付けて、スキージエッジ部分がフイルム面に接触するようにした上記（１０）記載にフイルム基材の洗浄方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フォルム状基材表面に付着した粘着力のある異物を、フイルム状基材の全面を均一に洗浄して効率よく除去するとともに、除去した異物が再付着しにくく、しかもデリケートなフイルム表面にすり傷等の外観欠陥を発生させない洗浄装置及び洗浄方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係わる実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図７は本発明の実施の形態を示す図である。
【００１２】
図１に示すように、フイルム状基材９は巻出部１から繰出され、ローラ３を経由して搬送され、洗浄部、リンス部、液切り部、乾燥部を経由して巻取部２に巻き取られる。洗浄部は、スキージ４と洗浄液吹き出しノズル５を有し、搬送されてくるフイルム状基材９の洗浄を行う。リンス部は、リンス液吹き出しノズル６を有し、洗浄後に残留した洗浄液１４を洗い流す。液切り部は、エアーナイフ７を有し、リンス後のリンス液を液切りする。乾燥部は、熱風を吹き出すエアーナイフ８を有し、液切り後のリンス液を乾燥する。これらの洗浄部、リンス部、液切り部、乾燥部は、筐体１０の中に設置されている。図１では詳細機構部は省略されているがスキージ４の角度や押付け圧力を調節する機構部、洗浄液吹き出しノズル５及びリンス液吹き出しノズル６の角度や圧力を調節する機構部、エアーナイフ７、８の角度や距離や圧力を調節する機構部、フイルム状基材のテンションを調節する機構部や排気口等も配置されている。
【００１３】
スキージ４を保持する方法は、特に限定されないが、例えば、図３、図４に示すように、スキージ４をスキージホルダー１３に保持した状態で、洗浄装置内に保持することができる。また、洗浄液吹き出しノズル５やリンス液吹き出しノズル６を保持する方法は、特に限定されないが、例えば、図５、図６に示すように、これらのノズルを、フイルム状基材９の幅方向に、複数並べて共通の配管に繋げた状態で、洗浄装置内に保持することができる。なお、図５、図６では、洗浄液吹き出しノズル５やリンス液吹き出しノズル６を洗浄液吹き出しノズル５で、洗浄液１４やリンス液を洗浄液１４で代表させて示している。スキージ４は、フイルム状基材９表面に押付けられるように、スキージ４の角度及び押付け圧力を調整されると同時に、洗浄液吹き出しノズル５からの洗浄液１４の吹き出しは、スキージ４よりも上流側（図１の搬送方向とは逆側）から、スキージ押付け部１１付近に当たるように、洗浄液吹き出しノズル５の角度及び距離が調整される。つまり、スキージ４がフイルム状基材９表面に押付けられるスキージ押付け部１１付近に、洗浄液吹き出しノズル５からの洗浄液１４が、スキージ押付け部１１よりも上流側から当たるように、洗浄液吹き出しノズル５が設けられる。これにより、スキージをフイルム上に押付けながら、洗浄液吹き出しノズル５から洗浄液１４をスキージ押付け部１１付近に向けて吹き出す洗浄装置及び洗浄方法が可能となる。
【００１４】
図２は図１の平面図である。フイルム状基材９の幅方向（搬送方向に対して直角方向）を全てカバーするためのスキージ４長さと洗浄液吹き出しノズル５数を有している。通常、洗浄液ノズル５はスキージ４の下流側（搬送方向に対して）に位置し、スキージ押付け部１１に吹き出される。スキージ４と洗浄液吹き出しノズル５は洗浄仕様に応じてフイルム状基材９の両側に配置することができるし、同じ面に二段乃至三段、配置してもよい。スキージ４の長さはフイルム状基材９の幅（搬送方向に対して直角方向の長さ）より大きくすることにより、スキージ４とフイルム状基材９の幅方向全面の接触が均一になるようにしている。
【００１５】
フイルム状基材９の付着異物はいくつか種類がある。単に浮遊異物が付着したものは洗浄液１４を吹き出すだけで簡単に除去できる。しかし、樹脂状異物は粘着性があり、ロール状に巻かれたりすると巻き締められて扁平形状となり、強く粘着しているために、洗浄液１４を吹き出すだけでは除去することが困難である。このような粘着力の強い異物を高度に洗浄するには、まず、かなり強い洗浄力が必要である。本発明では、洗浄部は、スキージ４と洗浄液吹き出しノズル５を有するため、スキージ４の角度及び押付け圧力を調整しながらスキージ４をフイルム状基材９表面に押付けると同時に、スキージ押付け部１１付近に洗浄液１４を吹き出しながら洗浄する方法が採れる。このため、フイルム基材９の表面に存在する樹脂系のへばりついた付着異物も、スキージ４で剥がされた後、洗浄液吹き出しノズル５から吹き出した洗浄液１４と一緒に洗い流される。このように、スキージ４によってかき落としながら、洗浄液１４で除去できるので、効果的に除去できる。
【００１６】
フイルム状基材９の洗浄で重要なのは上記の洗浄力の他に、除去した異物を再付着させることなく洗い流すことである。これについては、スキージ押付け部１１付近に向けて洗浄液１４を吹き出すことにより、スキージ押付け部１１に当たった洗浄液１４が、スキージ４とフイルム基材９に囲まれて行き場を失い、スキージ４に沿ってフイルム基材９の幅方向に勢いよく排出されるので、除去した付着異物も一緒にフイルム基材９の外へ洗い流されることにより、除去した異物の再付着を防止することができる。
【００１７】
また、フイルム状基材９の洗浄で重要なことは洗浄の際にすり傷を発生させないことである。特にスキージ４を直接接触させる場合はこれに留意する必要がある。すり傷が発生する要因の一つは、除去した異物がスキージ４とフイルム基材９表面に挟まれた状態になることであり、フイルム基材９より硬い異物の場合はすり傷が発生する可能性がある。本発明では、スキージ押付け部１１付近に洗浄液１４を吹き出して瞬時に洗い流すので、異物の挟み込みを防止できる。また、洗浄液１４をスキージ押付け部１１付近に吹き出すことにより、フイルム基材９表面とスキージ４との接触摩擦力を著しく低下させ、フイルム基材９表面のスキージ４の移動を滑らかにすることにより防止できる。ほとんどのフイルム状基材９及び樹脂系スキージ４は液体に濡れると接触摩擦力が著しく低下するという特性があるが、そのなかでもテフロン（登録商標）は特に顕著であり、スキージ４材質にテフロン（登録商標）を使用するとより好適である。
【００１８】
すり傷を防止する方法としては、使用する樹脂系スキージ４の硬度を、被洗浄物のフイルム状基材９の硬度より低くすることである。これに洗浄液１４による接触摩擦力低下を組合わせれば、すり傷発生は完全に防止できる。フイルム状基材９よりも硬度の低いスキージ４用の樹脂の種類としては、例えば、ウレタン樹脂で硬度５０Ｈｓ乃至９０Ｈｓのなかから選択することもできる。フイルム状基材９よりわずかに低硬度であればよく、著しく低硬度にする必要はない。あまり低硬度にすると異物と接触したときにスキージ４の方が変形して、洗浄力が低下する。なお、本発明において、Ｈｓとは、Ｈａｒｄｎｅｓｓ ｓｐｒｉｎｇの略であり、ＪＩＳ Ｋ ６２５３に基づいて、タイプＡデュロメータを用いて測定されたデュロメータ硬さ（スプリング式）をいう。
【００１９】
異物除去を効果的に実施するには、フイルム状基材９の幅方向全てにスキージ４を完全に接触させる必要がある。そのためにはスキージ４長さをフイルム基材９の幅より大きくすることが重要であると同時に、フイルム状基材９の張力制御が必要である。張力は、フイルム状基材９の材質及び厚みにもよるが２０Ｎｍ乃至２５０Ｎｍ付加することが好適であるし、１００Ｎｍ乃至２００Ｎｍがより好適である。張力が２０Ｎｍ以下ではフイルム状基材９とスキージ４が全幅にわたって均一に接触することが困難になるし、２５０Ｎｍ以上ではフイルム状基材９が伸びたり、切断したりして好ましくない。
【００２０】
フイルム状基材９表面にスキージ４を軽く接触させ、この状態からのスキージ４押し込み量は３ｍｍ乃至５０ｍｍが好適であるし、１０ｍｍ乃至２０ｍｍがより好適である。押し込み量３ｍｍ以下ではスキージ４とフイルム状基材９表面が均一に接触しないし、押し込み量５０ｍｍ以上ではフイルム状基材９が伸びたり、切断したりして好ましくない。
【００２１】
スキージ４は、図１に示すような方向（矢印で示したフイルム状基材９の搬送方向）に、あるいは図１とは逆の方向（矢印の反対方向）に、フイルム状基材９表面と垂直な姿勢から５度乃至６０度程傾けて、スキージエッジ部１２が接触するようにすると好適であるが、３０度乃至４５度がより好適である。垂直な姿勢から５度以下ではスキージエッジ部がフイルム全幅にわたって安定して接触しないし、６０度以上ではスキージでの押付け圧力がフイルム面に伝えることが困難になり好ましくない。
【００２２】
スキージ材質に耐食性のある金属を使用するときは、スキージエッジ部にＲをとる必要がある。金属は樹脂と比較すると硬いし、液体に濡れても接触摩擦力が樹脂のときほど低下しないので、エッジ部にＲを取ってカバーする必要がある。金属性スキージ４のエッジ部にＲをとるときは０．５ｍｍ乃至０．３ｍｍのＲをとると好適であるし、１ｍｍ乃至２ｍｍがより好適である。Ｒが０．５ｍｍ以下ではフイルム状基材９表面にすり傷を発生させる可能性があるし、Ｒが３ｍｍ以上では微小な異物を逆に押しつぶすようになり好ましくない。
【００２３】
フイルム状基材はフイルム幅が３００ｍｍ〜２０００ｍｍと広範囲にある。特に問題となるのは幅広になるときで、洗浄方法としては高圧で洗浄液１４を噴霧する方法や高圧エアーと洗浄液１４を混合して噴霧する二流体洗浄方法があるが、使用するユーティリティが増大するために、ランニングコストや装置価格が高価になる。本発明はスキージ４と洗浄液吹き出しノズル５を設置するだけなので、ランニングコストや装置価格を安価にできる。
【００２４】
洗浄液吹き出しノズル５やリンス液吹き出しノズル６に用いるノズルは、吹き出し時のスプレー形状が扇型で、扇形に広がったスプレー形状の全域にわたって流量分布が均等ないわゆるフラットタイプであるのが望ましい。つまり、スプレー形状１５の正面からの形状は扇形（図７（ａ））で、スプレー形状１５の断面形状は、細長い楕円（図７（ｂ））となるものが望ましい。このようなものとして、例えば、均等扇形ノズルのＶＥＰシリーズ（株式会社いけうち製、商品名）が挙げられる。そして、洗浄液吹き出しノズル５から吹き出す洗浄液が、フイルム状基材９の幅方向全体に扇型に広がった状態で、スキージ押付け部１１付近に上流側から当たるように、洗浄液吹き出しノズル５が配置される。また、リンス液吹き出しノズル６から吹き出すリンス液が、フイルム状基材９の幅方向全体に扇型に広がった状態で、フイルム状基材９に当たるように、リンス液吹き出しノズル６が配置される。
【実施例】
【００２５】
（実施例１）
図１に示すように、異物が付着した４４０ｍｍ幅のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フイルム９（５０μｍ厚）を巻出部１に装着し、張力１００Ｎｍを付加し、搬送速度３ｍ／ｍｉｎで洗浄した。洗浄液１４及びリンス液は純水を使用し、スキージ４には角形状テフロン（登録商標）（長さ５５０ｍｍ×高さ４０ｍｍ×厚み１０ｍｍ）を使用し、ＰＥＴフイルム９表面に垂直に押し当てた状態から、矢印で示した搬送方向とは逆方向に、３０度程斜めにしてスキージエッジ部１２が、ＰＥＴフイルム９の幅方向全体に亘って、ＰＥＴフイルム９表面と均一に接触するようにした。スキージ４の押し込み量は１５ｍｍとし、洗浄液吹き出しノズル５からの洗浄液１４の吹き出しが、スキージ４よりも上流側（搬送方向とは逆側）から、スキージ押付け部１１付近に当たるように、洗浄液吹き出しノズル５のノズル角度及び距離を調整し、吹き出し圧力０．３５Ｍｐａで、洗浄液１４量は０．７Ｌ／ノズル／ｍｉｎとした。スキージ４の形状は、角形状スキージや剣形状スキージ等の中から選択できるが、ここでは角形状スキージを選択し、表面は研磨してある。図７（ａ）、（ｂ）に示すように、洗浄液吹き出しノズル５には、フラット型の均等扇形ノズルであるＶＥＰシリーズ（株式会社いけうち製、商品名）のうち、噴角９０°、噴量０．７Ｌ／ノズル／ｍｉｎ（０．３ＭＰａ）のノズルを用いた。
【００２６】
洗浄されたＰＥＴフイルム９はリンス部に移動し、リンス液吹き出しノズル６で両面同時に洗い流される。このとき、リンス液吹き出しノズル６からの吹き出し圧力は０．３５Ｍｐａで純水量は０．７Ｌ／ノズル／ｍｉｎである。このあと、液切り部に送られ両面同時にエアーナイフ７で水切りを行うが、このときのエアー圧力は０．２ＭＰａでエアーナイフとフイルムとの距離は５ｍｍ乃至１０ｍｍ程度である。水切り後は乾燥部に移動し、ヒータで６０℃に加温された熱風が両面同時にエアーナイフ８で吹き出される。エアー圧力と距離は液切り部と同じである。
【００２７】
洗浄されたＰＥＴフイルム９を巻取部２に巻取り、異物有無及びすり傷有無を詳細に観察した結果、異物及びすり傷は観察されず、異物除去が効果的に行われていた。
（実施例２）
【００２８】
実施例１ではスキージ４の材質に水に濡れると接触摩擦力が特に著しく低下するテフロン（登録商標）を使用したが、ここではコストを下げるためにテフロン（登録商標）より安価なウレタン樹脂を使用することにした。ウレタン樹脂の硬度は５０Ｈｓ乃至９０Ｈｓの範囲のなかから選択することが可能で、ここでは７０Ｈｓを選択した。スキージ４の形状は実施例１のときと同じである。
【００２９】
洗浄プロセス、洗浄条件は実施例１のときと同じであるが、洗浄後のＰＥＴフイルム９を詳細に観察した結果、異物及びすり傷は観察されず、異物除去が効果的に行われていた。
（実施例３）
【００３０】
スキージ４にＳＵＳ３０４材質を使用し、ＰＥＴフイルム９と接触するスキージエッジ部１２には０．５ｍｍのＲをとり、Ｒ部は研磨してなめらかにした。スキージ４の角度やスキージ４の押し込み量、洗浄液１４の吹き出し条件等は実施例１と同じである。
【００３１】
洗浄プロセス、洗浄条件は実施例１のときと同じであるが、洗浄後のＰＥＴフイルム９を詳細に観察した結果、異物及びすり傷は観察されず、異物除去が効果的に行われていた。
【００３２】
（比較例）
実施例１と同じ条件で、洗浄液１４の吹き出しを停止して、スキージ４のみで洗浄を行った。異物除去は行われるが、除去された異物がスキージエッジ部１２に付着したり、ＰＥＴフイルム９の他のところに再付着する現象が観察された。すり傷についても数箇所で観察された。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】フイルム状基材の洗浄装置全体構成図（正面図）
【図２】フイルム状基材の洗浄装置構成図（平面図）
【図３】スキージの正面図
【図４】スキージの側面図
【図５】洗浄液及びリンス液の吹き出しノズル正面図
【図６】洗浄液及びリンス液の吹き出しノズル側面図
【図７】スプレー形状の正面図（ａ）及びスプレー形状の断面図（ｂ）
【符号の説明】
【００３４】
１ 巻出部
２ 巻取部
３ ローラ
４ スキージ
５ 洗浄液吹き出しノズル
６ リンス液吹き出しノズル
７ 水切り用エアーナイフ
８ 乾燥用エアーナイフ
９ フイルム状基材（ＰＥＴフイルム）
１０ 筐体
１１ スキージ押付け部
１２ スキージエッジ部
１３ スキージホルダー
１４ 洗浄液
１５ スプレー形状
【技術分野】
【０００１】
本発明はフイルム状基材を連続的に移動させながらスキージをフイルム状基材に押し当て、且つ、洗浄液をスキージ押付け部付近に吹き出して、フイルム面に付着した異物を効率的に除去するフイルム状基材の洗浄方法及び洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ及びプラズマディスプレイの出現により、様々な種類の機能性フイルムが多用されている。特にテレビ用ディスプレイでは高精細、高画質化が進行し、フイルム状基材に異物が存在すると画質欠陥となるので付着異物を洗浄することが要求されてきている。そのため、フイルム面に付着した異物を効率的に洗浄するフイルム状基材の洗浄方法及び洗浄装置を考案する必要がある。
【０００３】
液晶ディスプレイ及びプラズマディスプレイに使用されるガラス基板の枚葉式洗浄機については、既に多くの洗浄装置が考案されているが、いわゆるロールツーロール（ロール状に巻いた樹脂フイルム状基材を繰り出して、搬送しながらフイルム状基材を連続して処理し、ロールに巻き取る方式）でフイルム状基材を高度に洗浄する洗浄方法及び洗浄装置は、未だあまり知られていない。
【０００４】
例えば、特許文献１及び特許文献２には、ロールツーロールのフイルム洗浄装置についての発明が記載されており、被洗浄物を連続的に移動させながら洗浄液を高圧で噴霧することにより洗浄する方法が記載されている。また、例えば、特許文献３及び特許文献４にはブラシロールを使用したフイルム洗浄についての発明が記載されている。
【特許文献１】特開２００８−２９９９０号公報
【特許文献２】特開２００８−２３４６６号公報
【特許文献３】実開平１−６６８４８号公報
【特許文献４】実開平２−８３０８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
フイルム状基材に付着した異物には浮遊異物が付着したものや製品を加工する際に発生して付着した樹脂状異物等、数種類の異物がある。浮遊異物でも粘着性の少ないものは洗浄を行うことにより比較的簡単に除去できる。このような異物は前記記載の洗浄液を高圧で噴霧する洗浄方法でも除去できる。
【０００６】
しかしながら、粘着性のある浮遊異物や製品を加工する際に発生して付着した樹脂状異物は粘着力が強く簡単に除去することは困難である。しかもロール状に強く巻かれているために巻き締められて扁平形状になり、粘着力も増していっそう除去することが困難になっている。そのため、洗浄液を高圧噴霧する洗浄方法や、洗浄液と高圧エアーを混合して噴霧する二流体洗浄方法が採用されたりしているが十分な洗浄効果が得られていないのが実情である。
【０００７】
フイルムの洗浄方法としてはブラシを被洗浄物であるフイルム状基材に直接接触させて洗浄する方法も採用されている。しかし、ブラシでは接触するところと非接触のところが生じ、フイルム全面を均一に洗浄することが困難である。しかも、ブラシが接触したところはブラシ先端が点接触で激しくフイルム面と衝突するために微細なすり傷等が発生し易い。それから、使用していくなかでブラシの劣化が進み、ブラシ先端部分が破損したりして新たな異物発生源となる場合もあり、いくつかの問題がある。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、フォルム状基材表面に付着した粘着力のある異物を、フイルム状基材の全面を均一に洗浄して効率よく除去するとともに、除去した異物が再付着しにくく、しかもデリケートなフイルム表面にすり傷等の外観欠陥を発生させない洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下のものに関する。
（１） 搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する洗浄装置であって、前記洗浄を行う洗浄部がスキージと洗浄液吹き出しノズルとを有することを特徴とするフイルム状基材の洗浄装置。
（２） 搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する洗浄装置であって、スキージと洗浄液吹き出しノズルを有し前記洗浄を行う洗浄部と、リンス液吹き出しノズルを有し前記洗浄後の洗浄液を洗い流すリンス部と、水切り用エアーナイフを有し前記リンス後のリンス液を切る液切り部と、乾燥用エアーナイフを有し前記液切り後の液を乾燥する乾燥部と、を有することを特徴とするフイルム状基材の洗浄装置。
（３） スキージがフイルム状基材表面に押付けられるスキージ押付け部付近に、洗浄液吹き出しノズルからの洗浄液が、前記スキージ押付け部よりも上流側から当たるように、前記洗浄液吹き出しノズルが設けられることを特徴とする上記（１）または（２）に記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（４） スキージはフイルム状基材に対して角度調整及び押し込み量調整ができる機構部を有することを特徴とする請求項１から３の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（５） スキージが樹脂板であることを特徴とする上記（１）から（４）の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（６） スキージが樹脂板であり、且つ、被洗浄物のフイルム状基材よりも硬度が低いことを特徴とする上記（１）から（５）の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（７） スキージ材質がテフロン（登録商標）であることを特徴とする上記（１）から（６）の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（８） スキージ材質が金属であり、かつ、フイルム状基材と接触するスキージエッジ部分のＲが０．５ｍｍ乃至３ｍｍであることを特徴とする除木（１）から（７）の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（９） スキージ長さが被洗浄物であるフイルム幅より長いことを特徴とする上記（１）から（８）の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
（１０） 搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する方法において、スキージをフイルム上に押付けながら洗浄液をスキージ押付け部付近に吹き出すことを特徴とするフイルム状基材の洗浄方法。
（１１） スキージに角度を付けて、スキージエッジ部分がフイルム面に接触するようにした上記（１０）記載にフイルム基材の洗浄方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フォルム状基材表面に付着した粘着力のある異物を、フイルム状基材の全面を均一に洗浄して効率よく除去するとともに、除去した異物が再付着しにくく、しかもデリケートなフイルム表面にすり傷等の外観欠陥を発生させない洗浄装置及び洗浄方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係わる実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図７は本発明の実施の形態を示す図である。
【００１２】
図１に示すように、フイルム状基材９は巻出部１から繰出され、ローラ３を経由して搬送され、洗浄部、リンス部、液切り部、乾燥部を経由して巻取部２に巻き取られる。洗浄部は、スキージ４と洗浄液吹き出しノズル５を有し、搬送されてくるフイルム状基材９の洗浄を行う。リンス部は、リンス液吹き出しノズル６を有し、洗浄後に残留した洗浄液１４を洗い流す。液切り部は、エアーナイフ７を有し、リンス後のリンス液を液切りする。乾燥部は、熱風を吹き出すエアーナイフ８を有し、液切り後のリンス液を乾燥する。これらの洗浄部、リンス部、液切り部、乾燥部は、筐体１０の中に設置されている。図１では詳細機構部は省略されているがスキージ４の角度や押付け圧力を調節する機構部、洗浄液吹き出しノズル５及びリンス液吹き出しノズル６の角度や圧力を調節する機構部、エアーナイフ７、８の角度や距離や圧力を調節する機構部、フイルム状基材のテンションを調節する機構部や排気口等も配置されている。
【００１３】
スキージ４を保持する方法は、特に限定されないが、例えば、図３、図４に示すように、スキージ４をスキージホルダー１３に保持した状態で、洗浄装置内に保持することができる。また、洗浄液吹き出しノズル５やリンス液吹き出しノズル６を保持する方法は、特に限定されないが、例えば、図５、図６に示すように、これらのノズルを、フイルム状基材９の幅方向に、複数並べて共通の配管に繋げた状態で、洗浄装置内に保持することができる。なお、図５、図６では、洗浄液吹き出しノズル５やリンス液吹き出しノズル６を洗浄液吹き出しノズル５で、洗浄液１４やリンス液を洗浄液１４で代表させて示している。スキージ４は、フイルム状基材９表面に押付けられるように、スキージ４の角度及び押付け圧力を調整されると同時に、洗浄液吹き出しノズル５からの洗浄液１４の吹き出しは、スキージ４よりも上流側（図１の搬送方向とは逆側）から、スキージ押付け部１１付近に当たるように、洗浄液吹き出しノズル５の角度及び距離が調整される。つまり、スキージ４がフイルム状基材９表面に押付けられるスキージ押付け部１１付近に、洗浄液吹き出しノズル５からの洗浄液１４が、スキージ押付け部１１よりも上流側から当たるように、洗浄液吹き出しノズル５が設けられる。これにより、スキージをフイルム上に押付けながら、洗浄液吹き出しノズル５から洗浄液１４をスキージ押付け部１１付近に向けて吹き出す洗浄装置及び洗浄方法が可能となる。
【００１４】
図２は図１の平面図である。フイルム状基材９の幅方向（搬送方向に対して直角方向）を全てカバーするためのスキージ４長さと洗浄液吹き出しノズル５数を有している。通常、洗浄液ノズル５はスキージ４の下流側（搬送方向に対して）に位置し、スキージ押付け部１１に吹き出される。スキージ４と洗浄液吹き出しノズル５は洗浄仕様に応じてフイルム状基材９の両側に配置することができるし、同じ面に二段乃至三段、配置してもよい。スキージ４の長さはフイルム状基材９の幅（搬送方向に対して直角方向の長さ）より大きくすることにより、スキージ４とフイルム状基材９の幅方向全面の接触が均一になるようにしている。
【００１５】
フイルム状基材９の付着異物はいくつか種類がある。単に浮遊異物が付着したものは洗浄液１４を吹き出すだけで簡単に除去できる。しかし、樹脂状異物は粘着性があり、ロール状に巻かれたりすると巻き締められて扁平形状となり、強く粘着しているために、洗浄液１４を吹き出すだけでは除去することが困難である。このような粘着力の強い異物を高度に洗浄するには、まず、かなり強い洗浄力が必要である。本発明では、洗浄部は、スキージ４と洗浄液吹き出しノズル５を有するため、スキージ４の角度及び押付け圧力を調整しながらスキージ４をフイルム状基材９表面に押付けると同時に、スキージ押付け部１１付近に洗浄液１４を吹き出しながら洗浄する方法が採れる。このため、フイルム基材９の表面に存在する樹脂系のへばりついた付着異物も、スキージ４で剥がされた後、洗浄液吹き出しノズル５から吹き出した洗浄液１４と一緒に洗い流される。このように、スキージ４によってかき落としながら、洗浄液１４で除去できるので、効果的に除去できる。
【００１６】
フイルム状基材９の洗浄で重要なのは上記の洗浄力の他に、除去した異物を再付着させることなく洗い流すことである。これについては、スキージ押付け部１１付近に向けて洗浄液１４を吹き出すことにより、スキージ押付け部１１に当たった洗浄液１４が、スキージ４とフイルム基材９に囲まれて行き場を失い、スキージ４に沿ってフイルム基材９の幅方向に勢いよく排出されるので、除去した付着異物も一緒にフイルム基材９の外へ洗い流されることにより、除去した異物の再付着を防止することができる。
【００１７】
また、フイルム状基材９の洗浄で重要なことは洗浄の際にすり傷を発生させないことである。特にスキージ４を直接接触させる場合はこれに留意する必要がある。すり傷が発生する要因の一つは、除去した異物がスキージ４とフイルム基材９表面に挟まれた状態になることであり、フイルム基材９より硬い異物の場合はすり傷が発生する可能性がある。本発明では、スキージ押付け部１１付近に洗浄液１４を吹き出して瞬時に洗い流すので、異物の挟み込みを防止できる。また、洗浄液１４をスキージ押付け部１１付近に吹き出すことにより、フイルム基材９表面とスキージ４との接触摩擦力を著しく低下させ、フイルム基材９表面のスキージ４の移動を滑らかにすることにより防止できる。ほとんどのフイルム状基材９及び樹脂系スキージ４は液体に濡れると接触摩擦力が著しく低下するという特性があるが、そのなかでもテフロン（登録商標）は特に顕著であり、スキージ４材質にテフロン（登録商標）を使用するとより好適である。
【００１８】
すり傷を防止する方法としては、使用する樹脂系スキージ４の硬度を、被洗浄物のフイルム状基材９の硬度より低くすることである。これに洗浄液１４による接触摩擦力低下を組合わせれば、すり傷発生は完全に防止できる。フイルム状基材９よりも硬度の低いスキージ４用の樹脂の種類としては、例えば、ウレタン樹脂で硬度５０Ｈｓ乃至９０Ｈｓのなかから選択することもできる。フイルム状基材９よりわずかに低硬度であればよく、著しく低硬度にする必要はない。あまり低硬度にすると異物と接触したときにスキージ４の方が変形して、洗浄力が低下する。なお、本発明において、Ｈｓとは、Ｈａｒｄｎｅｓｓ ｓｐｒｉｎｇの略であり、ＪＩＳ Ｋ ６２５３に基づいて、タイプＡデュロメータを用いて測定されたデュロメータ硬さ（スプリング式）をいう。
【００１９】
異物除去を効果的に実施するには、フイルム状基材９の幅方向全てにスキージ４を完全に接触させる必要がある。そのためにはスキージ４長さをフイルム基材９の幅より大きくすることが重要であると同時に、フイルム状基材９の張力制御が必要である。張力は、フイルム状基材９の材質及び厚みにもよるが２０Ｎｍ乃至２５０Ｎｍ付加することが好適であるし、１００Ｎｍ乃至２００Ｎｍがより好適である。張力が２０Ｎｍ以下ではフイルム状基材９とスキージ４が全幅にわたって均一に接触することが困難になるし、２５０Ｎｍ以上ではフイルム状基材９が伸びたり、切断したりして好ましくない。
【００２０】
フイルム状基材９表面にスキージ４を軽く接触させ、この状態からのスキージ４押し込み量は３ｍｍ乃至５０ｍｍが好適であるし、１０ｍｍ乃至２０ｍｍがより好適である。押し込み量３ｍｍ以下ではスキージ４とフイルム状基材９表面が均一に接触しないし、押し込み量５０ｍｍ以上ではフイルム状基材９が伸びたり、切断したりして好ましくない。
【００２１】
スキージ４は、図１に示すような方向（矢印で示したフイルム状基材９の搬送方向）に、あるいは図１とは逆の方向（矢印の反対方向）に、フイルム状基材９表面と垂直な姿勢から５度乃至６０度程傾けて、スキージエッジ部１２が接触するようにすると好適であるが、３０度乃至４５度がより好適である。垂直な姿勢から５度以下ではスキージエッジ部がフイルム全幅にわたって安定して接触しないし、６０度以上ではスキージでの押付け圧力がフイルム面に伝えることが困難になり好ましくない。
【００２２】
スキージ材質に耐食性のある金属を使用するときは、スキージエッジ部にＲをとる必要がある。金属は樹脂と比較すると硬いし、液体に濡れても接触摩擦力が樹脂のときほど低下しないので、エッジ部にＲを取ってカバーする必要がある。金属性スキージ４のエッジ部にＲをとるときは０．５ｍｍ乃至０．３ｍｍのＲをとると好適であるし、１ｍｍ乃至２ｍｍがより好適である。Ｒが０．５ｍｍ以下ではフイルム状基材９表面にすり傷を発生させる可能性があるし、Ｒが３ｍｍ以上では微小な異物を逆に押しつぶすようになり好ましくない。
【００２３】
フイルム状基材はフイルム幅が３００ｍｍ〜２０００ｍｍと広範囲にある。特に問題となるのは幅広になるときで、洗浄方法としては高圧で洗浄液１４を噴霧する方法や高圧エアーと洗浄液１４を混合して噴霧する二流体洗浄方法があるが、使用するユーティリティが増大するために、ランニングコストや装置価格が高価になる。本発明はスキージ４と洗浄液吹き出しノズル５を設置するだけなので、ランニングコストや装置価格を安価にできる。
【００２４】
洗浄液吹き出しノズル５やリンス液吹き出しノズル６に用いるノズルは、吹き出し時のスプレー形状が扇型で、扇形に広がったスプレー形状の全域にわたって流量分布が均等ないわゆるフラットタイプであるのが望ましい。つまり、スプレー形状１５の正面からの形状は扇形（図７（ａ））で、スプレー形状１５の断面形状は、細長い楕円（図７（ｂ））となるものが望ましい。このようなものとして、例えば、均等扇形ノズルのＶＥＰシリーズ（株式会社いけうち製、商品名）が挙げられる。そして、洗浄液吹き出しノズル５から吹き出す洗浄液が、フイルム状基材９の幅方向全体に扇型に広がった状態で、スキージ押付け部１１付近に上流側から当たるように、洗浄液吹き出しノズル５が配置される。また、リンス液吹き出しノズル６から吹き出すリンス液が、フイルム状基材９の幅方向全体に扇型に広がった状態で、フイルム状基材９に当たるように、リンス液吹き出しノズル６が配置される。
【実施例】
【００２５】
（実施例１）
図１に示すように、異物が付着した４４０ｍｍ幅のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フイルム９（５０μｍ厚）を巻出部１に装着し、張力１００Ｎｍを付加し、搬送速度３ｍ／ｍｉｎで洗浄した。洗浄液１４及びリンス液は純水を使用し、スキージ４には角形状テフロン（登録商標）（長さ５５０ｍｍ×高さ４０ｍｍ×厚み１０ｍｍ）を使用し、ＰＥＴフイルム９表面に垂直に押し当てた状態から、矢印で示した搬送方向とは逆方向に、３０度程斜めにしてスキージエッジ部１２が、ＰＥＴフイルム９の幅方向全体に亘って、ＰＥＴフイルム９表面と均一に接触するようにした。スキージ４の押し込み量は１５ｍｍとし、洗浄液吹き出しノズル５からの洗浄液１４の吹き出しが、スキージ４よりも上流側（搬送方向とは逆側）から、スキージ押付け部１１付近に当たるように、洗浄液吹き出しノズル５のノズル角度及び距離を調整し、吹き出し圧力０．３５Ｍｐａで、洗浄液１４量は０．７Ｌ／ノズル／ｍｉｎとした。スキージ４の形状は、角形状スキージや剣形状スキージ等の中から選択できるが、ここでは角形状スキージを選択し、表面は研磨してある。図７（ａ）、（ｂ）に示すように、洗浄液吹き出しノズル５には、フラット型の均等扇形ノズルであるＶＥＰシリーズ（株式会社いけうち製、商品名）のうち、噴角９０°、噴量０．７Ｌ／ノズル／ｍｉｎ（０．３ＭＰａ）のノズルを用いた。
【００２６】
洗浄されたＰＥＴフイルム９はリンス部に移動し、リンス液吹き出しノズル６で両面同時に洗い流される。このとき、リンス液吹き出しノズル６からの吹き出し圧力は０．３５Ｍｐａで純水量は０．７Ｌ／ノズル／ｍｉｎである。このあと、液切り部に送られ両面同時にエアーナイフ７で水切りを行うが、このときのエアー圧力は０．２ＭＰａでエアーナイフとフイルムとの距離は５ｍｍ乃至１０ｍｍ程度である。水切り後は乾燥部に移動し、ヒータで６０℃に加温された熱風が両面同時にエアーナイフ８で吹き出される。エアー圧力と距離は液切り部と同じである。
【００２７】
洗浄されたＰＥＴフイルム９を巻取部２に巻取り、異物有無及びすり傷有無を詳細に観察した結果、異物及びすり傷は観察されず、異物除去が効果的に行われていた。
（実施例２）
【００２８】
実施例１ではスキージ４の材質に水に濡れると接触摩擦力が特に著しく低下するテフロン（登録商標）を使用したが、ここではコストを下げるためにテフロン（登録商標）より安価なウレタン樹脂を使用することにした。ウレタン樹脂の硬度は５０Ｈｓ乃至９０Ｈｓの範囲のなかから選択することが可能で、ここでは７０Ｈｓを選択した。スキージ４の形状は実施例１のときと同じである。
【００２９】
洗浄プロセス、洗浄条件は実施例１のときと同じであるが、洗浄後のＰＥＴフイルム９を詳細に観察した結果、異物及びすり傷は観察されず、異物除去が効果的に行われていた。
（実施例３）
【００３０】
スキージ４にＳＵＳ３０４材質を使用し、ＰＥＴフイルム９と接触するスキージエッジ部１２には０．５ｍｍのＲをとり、Ｒ部は研磨してなめらかにした。スキージ４の角度やスキージ４の押し込み量、洗浄液１４の吹き出し条件等は実施例１と同じである。
【００３１】
洗浄プロセス、洗浄条件は実施例１のときと同じであるが、洗浄後のＰＥＴフイルム９を詳細に観察した結果、異物及びすり傷は観察されず、異物除去が効果的に行われていた。
【００３２】
（比較例）
実施例１と同じ条件で、洗浄液１４の吹き出しを停止して、スキージ４のみで洗浄を行った。異物除去は行われるが、除去された異物がスキージエッジ部１２に付着したり、ＰＥＴフイルム９の他のところに再付着する現象が観察された。すり傷についても数箇所で観察された。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】フイルム状基材の洗浄装置全体構成図（正面図）
【図２】フイルム状基材の洗浄装置構成図（平面図）
【図３】スキージの正面図
【図４】スキージの側面図
【図５】洗浄液及びリンス液の吹き出しノズル正面図
【図６】洗浄液及びリンス液の吹き出しノズル側面図
【図７】スプレー形状の正面図（ａ）及びスプレー形状の断面図（ｂ）
【符号の説明】
【００３４】
１ 巻出部
２ 巻取部
３ ローラ
４ スキージ
５ 洗浄液吹き出しノズル
６ リンス液吹き出しノズル
７ 水切り用エアーナイフ
８ 乾燥用エアーナイフ
９ フイルム状基材（ＰＥＴフイルム）
１０ 筐体
１１ スキージ押付け部
１２ スキージエッジ部
１３ スキージホルダー
１４ 洗浄液
１５ スプレー形状
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する洗浄装置であって、前記洗浄を行う洗浄部がスキージと洗浄液吹き出しノズルとを有することを特徴とするフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項２】
搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する洗浄装置であって、スキージと洗浄液吹き出しノズルを有し前記洗浄を行う洗浄部と、リンス液吹き出しノズルを有し前記洗浄後の洗浄液を洗い流すリンス部と、水切り用エアーナイフを有し前記リンス後のリンス液を切る液切り部と、乾燥用エアーナイフを有し前記液切り後の液を乾燥する乾燥部と、を有することを特徴とするフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項３】
スキージがフイルム状基材表面に押付けられるスキージ押付け部付近に、洗浄液吹き出しノズルからの洗浄液が、前記スキージ押付け部よりも上流側から当たるように、前記洗浄液吹き出しノズルが設けられることを特徴とする請求項１または２に記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項４】
スキージはフイルム状基材に対して角度調整及び押し込み量調整ができる機構部を有することを特徴とする請求項１から３の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項５】
スキージが樹脂板であることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項６】
スキージが樹脂板であり、且つ、被洗浄物のフイルム状基材よりも硬度が低いことを特徴とする請求項１から５の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項７】
スキージ材質がテフロン（登録商標）であることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項８】
スキージ材質が金属であり、かつ、フイルム状基材と接触するスキージエッジ部分のＲが０．５ｍｍ乃至３ｍｍであることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項９】
スキージ長さが被洗浄物であるフイルム幅より長いことを特徴とする請求項１から８の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項１０】
搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する方法において、スキージをフイルム上に押付けながら洗浄液をスキージ押付け部付近に吹き出すことを特徴とするフイルム状基材の洗浄方法。
【請求項１１】
スキージに角度を付けて、スキージエッジ部分がフイルム面に接触するようにした請求項１０記載にフイルム基材の洗浄方法。
【請求項１】
搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する洗浄装置であって、前記洗浄を行う洗浄部がスキージと洗浄液吹き出しノズルとを有することを特徴とするフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項２】
搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する洗浄装置であって、スキージと洗浄液吹き出しノズルを有し前記洗浄を行う洗浄部と、リンス液吹き出しノズルを有し前記洗浄後の洗浄液を洗い流すリンス部と、水切り用エアーナイフを有し前記リンス後のリンス液を切る液切り部と、乾燥用エアーナイフを有し前記液切り後の液を乾燥する乾燥部と、を有することを特徴とするフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項３】
スキージがフイルム状基材表面に押付けられるスキージ押付け部付近に、洗浄液吹き出しノズルからの洗浄液が、前記スキージ押付け部よりも上流側から当たるように、前記洗浄液吹き出しノズルが設けられることを特徴とする請求項１または２に記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項４】
スキージはフイルム状基材に対して角度調整及び押し込み量調整ができる機構部を有することを特徴とする請求項１から３の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項５】
スキージが樹脂板であることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項６】
スキージが樹脂板であり、且つ、被洗浄物のフイルム状基材よりも硬度が低いことを特徴とする請求項１から５の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項７】
スキージ材質がテフロン（登録商標）であることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項８】
スキージ材質が金属であり、かつ、フイルム状基材と接触するスキージエッジ部分のＲが０．５ｍｍ乃至３ｍｍであることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項９】
スキージ長さが被洗浄物であるフイルム幅より長いことを特徴とする請求項１から８の何れかに記載のフイルム状基材の洗浄装置。
【請求項１０】
搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する方法において、スキージをフイルム上に押付けながら洗浄液をスキージ押付け部付近に吹き出すことを特徴とするフイルム状基材の洗浄方法。
【請求項１１】
スキージに角度を付けて、スキージエッジ部分がフイルム面に接触するようにした請求項１０記載にフイルム基材の洗浄方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１０−９４５７７（Ｐ２０１０−９４５７７Ａ）
【公開日】平成２２年４月３０日（２０１０．４．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２６５１８６（Ｐ２００８−２６５１８６）
【出願日】平成２０年１０月１４日（２００８．１０．１４）
【出願人】（０００００４４５５）日立化成工業株式会社 (4,649)
【出願人】（５０１０４１１５９）日化設備エンジニアリング株式会社 (15)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月３０日（２０１０．４．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１０月１４日（２００８．１０．１４）
【出願人】（０００００４４５５）日立化成工業株式会社 (4,649)
【出願人】（５０１０４１１５９）日化設備エンジニアリング株式会社 (15)
【Ｆターム（参考）】
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