【課題】鉛直方向の省スペース化が実現できる基板液処理装置のミスト回収機構を提供すること。
【解決手段】ミスト案内カップの周縁端領域の上方に設けられた液体案内上部カップと、ミスト案内カップの周縁端領域に対してその下方から上方まで鉛直方向に移動可能に設けられた液体案内中央カップと、ミスト案内カップの周縁端領域に対してその下方から上方まで鉛直方向に移動可能に設けられた液体案内下部カップと、を備える。各カップの鉛直方向位置は、３つの回収状態を選択的に実現できるように制御される。各回収状態で回収される液体は、第一ドレイン用タンク乃至第三ドレイン用タンクにそれぞれ案内されるようになっている。第一ドレイン用タンク乃至第三ドレイン用タンクは、径方向に並ぶように配置されている。 （もっと読む）

【課題】水分を十分に除去しながら、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）あるいはこれに代わる水切り乾燥液の使用量が少ない水切り工程を含む洗浄方法・装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１（洗浄方法）は、被洗浄物に洗浄溶剤を適用する第１洗浄処理槽２及び第２洗浄処理槽３（薬剤洗浄工程）と、洗浄処理後の被洗浄物を水ですすぐ第１すすぎ槽４及び第２すすぎ槽５（すすぎ工程）と、被洗浄物に付着した水分を除去するための水切り乾燥槽群６（水切り乾燥工程）を備える。水切り乾燥槽群６は、前記被洗浄物を浸漬した後で引き上げる温純水引き上げ槽１１（水引き上げ工程）と、水を取り込む乾燥用溶剤の蒸気を当てる溶剤乾燥槽１３（溶剤乾燥工程）を含む。 （もっと読む）

【課題】バガス等のバイオマス原料の洗浄において、ピスを含めた原料の歩留まりを下げることなく、効率的に異物を除去する装置及び方法を提供する。
【解決手段】
一方側にバイオマス及び水の投入部１１が設けられ、一方側から他方側に延在してバイオマスを撹拌しつつ他方側に移行させる撹拌手段１２が設けられた、実質的に水平の処理水槽１６を使用するバイオマスの洗浄装置及びバイオマス洗浄方法を提供する。前記処理水槽の他方側に水及びこれに同伴するバイオマスのオーバーフロー排出口１８、他方側の下方に前記処理水槽内と連通する、下窄まりの沈降分離部２５が設けられ、前記沈降分離部の下端から下方に延びる排出管路が設けられる。前記沈降分離部２５においてバイオマスに混入する異物を沈降分離させ、前記排出管路より前記沈降分離部２５における沈降分離物を排出する。 （もっと読む）

【課題】洗浄用保持冶具及び洗浄方法において、被洗浄体に傷がつくのを抑えると共に洗浄用保持冶具内の液残りを防ぐ。
【解決手段】洗浄用保持冶具は、被洗浄体（１００）の少なくとも一部を収容する収容部１１と、この収容部１１に開口する流路（１２）と、を備え、収容部１１は、この収容部１１の周方向に亘って被洗浄体（１００）に線接触又は面接触により接触し、流路（１２）は、収容部１１の被洗浄体（１００）との接触部分を挟んだ２つの空間Ｓ１，Ｓ２を連結する。 （もっと読む）

【課題】 気泡の微細化効果が劇的に向上し、気体を加圧溶解して高濃度の気泡を発生させる場合においても、気泡の微細化を十分に達成できる微細気泡発生機構を提供する。
【解決手段】 増速流ガイド部１５０から拡大部１５１へ放出される気泡を含んだ液体の流れは、その一部をなす周囲流ＦＳが流れ反射部１５４と拡大部１５１とにまたがる旋回流となり、含有した気泡を激しく撹拌する。特に、粗大な気泡は、浮力と遠心力の影響を受けやすいため旋回流をなす周囲流ＦＳに組み込まれやすい一方、高速の中心流ＦＭには、浮力と遠心力の影響が小さい微細化した気泡を取り込まれやすい傾向がある。その結果、粗大な気泡ほど旋回流の中に長くとどまり、微細化が十分進めば中心流ＦＭに取り込まれる傾向となるので、気泡の微小化を十分かつ均一に進行させることができる （もっと読む）

【課題】運転日時、運転内容、洗浄結果などを履歴として残し、所望により確認することのできる洗浄管理機能を搭載した洗浄装置の提供。
【解決手段】洗浄装置１の運転情報記憶部２８には、運転日時、消毒効果を示すＡ０値、運転時間（運転に要した時間）を含む運転情報が、運転ごとに記憶される。操作パネル２４にて指定された運転についての運転情報を運転情報記憶部２８から取得して、少なくとも運転日時、Ａ０値、運転時間を出力する。洗浄インジケータの結果についても、運転情報として同様に管理するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 構造簡単で、容易に脱水カゴを洗浄水槽の内部と外部とで出し入れでき、作業者の労力負担を軽減できる食品洗浄機における脱水カゴ出し入れ装置の提供。
【解決手段】 脱水カゴ９を着脱可能に支持する支持リング２と、脱水カゴの載置台３と、載置台上に載置された脱水カゴから離反して載置台よりも下方に下降した外部下降リング位置３ｂと、脱水カゴが洗浄水槽よりも上方に移動した外部上昇リング位置３ｃと、脱水カゴを支持した状態で洗浄水槽内にセットされた内部下降リング位置１ｂと、脱水カゴが洗浄水槽よりも上方に移動した内部上昇リング位置１ｃと、支持リングを昇降させるシリンダ２０を備え、支持リングが外部上昇リング位置と内部上昇リング位置との間を手動で水平移動可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】液体を効果的に線条材表面から除去することにより、液体の蒸発に投入するエネルギーを低減すると共に、液体の蒸発に要する時間を短縮して線条材表面が変色する前に乾燥を完了させることを可能とする線条材の製造方法を提供する。
【解決手段】線条素材６ａを線条材６ｂに加工する機械加工工程と、機械加工工程の後段に設けられ線条材６ｂを洗浄する洗浄工程と、洗浄工程の後段に設けられ線条材６ｂに付着した洗浄液１４を除去する乾燥工程とを含む線条材の製造方法であって、洗浄工程は、線条材６ｂとマイクロバブル２３を含む洗浄液１４とが接触する工程を含み、乾燥工程は、線条材６ｂに気体を吹き付けて洗浄液１４の除去を行うガスブロー工程を含む方法である。 （もっと読む）

【課題】 外装体と洗浄治具本体の間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを低減し、洗浄での歩留まりを向上させることができる洗浄治具を提供する。
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、洗浄治具を搬送するための搬送手段と、洗浄ノズル手段の内部流路と接続する複数の洗浄ノズル部と、洗浄ノズル手段が接続された噴出手段と、純水が蓄えられている純水槽と、純水槽から前記噴出手段へ純水を送る高圧ポンプ手段と、を備え、洗浄ノズル手段が円筒形の洗浄ノズル部とこの洗浄ノズル部とつながる内部流路とを備え、洗浄ノズル部が、前記搬送手段と平行となる平行線に対して、３０度〜６０度の角度で傾斜して円筒形の洗浄ノズル部の円筒の中心線が設けられていることを特徴とすることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】基板の縁部を対象とする縁部洗浄において、表裏均一で良好な洗浄効果を確保することができる基板洗浄装置および基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板の縁部を挟み込む２つの押圧部材のそれぞれの押圧面に洗浄液を供給する第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構の第１開閉バルブ２９，第２開閉バルブ３０を制御して、表裏それぞれの押圧面に対して２つのノズルによって洗浄剤を供給する個別の塗布動作を、予め定められたインターバル時間Ｔ３で規定される所定のタイムラグによって時間的に隔てられた異なるタイミングにて行う。これにより、供給タンクから洗浄剤の供給対象となる縁部の表裏両面に至る液送配管が異なる場合にあっても、表裏均一で良好な洗浄効果を確保することができる。 （もっと読む）