【課題】基板表面に付着したパーティクル等の汚染物質を除去するための基板処理装置および基板処理方法において、処理不良の基板が発生するのを未然に防止するとともに、無駄な凝固体の形成・解凍除去を抑制して稼動効率を高める。
【解決手段】基板の表面に形成される液膜の膜厚が所定範囲内となっている場合のみ、その基板に対して凍結処理（ステップＳ５）、凍結膜の解凍除去（ステップＳ６）および基板乾燥（ステップＳ７）を実行している。したがって、液膜の膜厚が所定範囲を超えて十分なパーティクル除去率が期待できない場合には、レシピの途中であるが、基板に対する凍結処理（ステップＳ５）、凍結膜の解凍除去（ステップＳ６）および基板乾燥（ステップＳ７）を行うことなく、基板処理を終了する。 （もっと読む）

【課題】基板表面上に吐出された処理液の滞留を防止し基板全面における処理の均一化を有効に達成できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】スプレーパイプ部２２と、スプレーパイプ部２２の長手方向に一列に互いに近接して形設され処理液をその吐出口２６から基板Ｗの表面１０２へ吐出する複数のノズル部２４から構成される複数のスプレーノズル１４とを備える基板処理装置において、基板Ｗの表面１０２に対する複数のノズル部２４の吐出口２６の対向角度を、水平姿勢で搬送される基板Ｗの表面１０２の基板搬送方向Ｘに関して交差する方向における中央部付近から両端部付近にかけて、鉛直線に対して漸次大きくなるように、複数のノズル部２４を複数のスプレーパイプ部２２に形設することにより、基板Ｗの表面１０２上において吐出後の処理液の積極的な液流れを発生させる。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることのできる洗浄システムを提供する。
【解決手段】洗浄システム１０は、貯留タンク３０から洗浄部１６に洗浄液を導入する導入通路１７や、洗浄部１６内の洗浄液を貯留タンク３０に戻すための排出通路１８、吸入通路２１、吐出通路２２を備える。吸入通路２１や吐出通路２２内の流体を貯留タンク３０に圧送するポンプ２０を備える。貯留タンク３０の上壁部３１に貫通孔３９が形成される。ポンプ２０の駆動時における貯留タンク３０への流体の流入量を可変設定する変更装置を備える。流入量が多くなる態様での変更装置の作動時には貫通孔３９を介して貯留タンク３０の外部に放出される空気量より上記流入量が多くなり、且つ流入量が少なくなる態様での変更装置の作動時には上記流入量が貫通孔３９を介して放出される空気量以下になるように、貫通孔３９の開口形状と変更装置の作動態様とが設定される。 （もっと読む）

【課題】基板表面に付着したパーティクル等の汚染物質を除去するための基板処理装置および基板処理方法において、高いスループットを得られ、しかも優れた処理性能でパーティクル等を除去する。
【解決手段】凍結後の液膜ＬＦ（凝固膜ＦＦ）の到達温度を低くすることによってパーティクルの除去効率を高めることができる。しかも、基板表面Ｗｆ全体に凝固膜ＦＦが形成される前後で冷却ガスの流量を変更しているので、処理に要する時間を短縮しながら優れた処理性能でパーティクル等を除去することができる。特に、液膜ＬＦを凍結させる段階での冷却ガスの流量については基板表面Ｗｆ上の液膜ＬＦを吹き飛ばさない程度に抑えることが必要であるが、凝固膜ＦＦが全面形成された後の段階ではこのような制約がなく、冷却ガスの流量を多くすることが可能であり、これにより冷却能力を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】構造物表面に固着したスケールにスケール除去液を所定時間接触させることができ、簡単に且つ安全にスケールを除去することができるスケール除去装置を提供する。
【解決手段】スケール除去液１０を用いて、スケール２００が固着した構造物表面１０６から検査対象となる部位のスケールを除去するスケール除去装置であって、スケール除去液１０を収納する液容器４と、液容器内のスケール除去液が注入される液注入口２３と、液注入口に設けられた液逆止弁２４とを有し、一面側が開放したケース本体２と、ケース本体の開放した側の縁部に設けられ、密着性及び気密性を有するシール部３とを備え、シール部３が構造物表面１０６に当接されることにより構造物表面１０６とケース本体２との間に充填空間２１が形成され、充填空間２１にスケール除去液１０が充填されることによりケース本体２が構造物表面１０６に吸着保持されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス頻度を低減させながらも、除液効率を高く維持する。
【解決手段】洗浄されたコインの洗浄液を除去するコイン除液装置５０であって、コインを挟み込んで搬送する柔軟性ロール８２によって、コインの表面に付着した洗浄液を除去する際に、掻き上げ手段７０によって、この柔軟性ロール８２の表面を長手方向に亘って掻くことで、柔軟性ロール８２の表面の油分をロール表面から浮き上がらせるようにした。 （もっと読む）

【課題】効率よく、かつ医療器具の細部分まで洗浄できる医療器具の洗浄方法および医療器具の洗浄装置を提供する。
【解決手段】医療器具にオゾンガスを接触させること、および、医療器具を洗浄液で洗浄する液体洗浄工程をさらに含むこと、また、前記液体洗浄工程で用いた洗浄液を貯水する工程を含み、前記貯水工程で貯水された洗浄液を前記液体洗浄工程で再利用することにより、前記医療器具を洗浄する。また、オゾンガスを発生させるオゾンガス発生部１６と、前記オゾンガスを利用して前記医療器具を洗浄する洗浄部１７とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロチップの性能を回復させることが可能なクリーニング法及びクリーニング液を提供する。
【解決手段】マイクロ流体デバイスに形成された流路であって、ポリマー皮膜を有する表面を有し、且つ核酸及び／又はタンパク質を含む試料が接触した流路を、２５℃において少なくとも同体積の水への溶解性を有する有機溶媒のみからなるクリーニング液、又は５０体積％以上の前記有機溶媒を緩衝液中に含むクリーニング液に接触させることによってクリーニングする、マイクロ流体デバイスのクリーニング方法。前記緩衝液のｐＨが８〜１０である前記の方法。前記緩衝液が３〜８Ｍのタンパク質変性剤をさらに含む前記の方法。前記緩衝液のｐＨが２〜４である前記の方法。 （もっと読む）

【課題】複数個の伸線用のダイスをダイス保持部の回転部材の外周部分の複数個の保持部に環状に配列保持し、回転部材の傾斜回転及び割出回転により複数個のダイスを順次、超音波ホーンに対向して超音波洗浄することができ、超音波ホーンによりダイスの表面や極細孔径のダイス孔の内面に付着している伸線加工により生じた粉状屑等の汚染物質を良好に洗浄することができる。
【解決手段】ダイス保持部１は外周部分に複数個のダイスＤを環状に配列可能な複数個の保持部４ａをもつ回転部材４、回転部材の外周部分に配列された複数個のダイスが洗浄液Ｍ中に没入又は洗浄液中から露出するように回転部材を傾斜位置で傾斜回転自在に支持する支持機構５及び回転部材を割出回転可能な割出回転機構６からなる。 （もっと読む）

【課題】処理槽内の処理液に含まれるごく微細な異物を低コストで効率良く除去できる処理槽における異物除去システムを提供する。
【解決手段】異物除去システムは、比重の小さい異物を含む処理液を回収する上中層用回収部と、上中層用回収部からの処理液を濾過液と異物とに分離する第２サイクロン装置２３と、第２サイクロン装置２３からの濾過液をさらに濾過して処理槽に還流する処理液濾過装置５０と、を備える。処理液濾過装置５０は、直線管からなる供給配管５４を介して第２サイクロン装置２３の濾過液排出口２３ｂに連通するハウジング５２と、ハウジング５２の上面に取り付けられる蓋部材６４と、蓋部材６４に供給配管５４と同軸に着脱自在に取り付けられるブラシ６６と、を備える。 （もっと読む）