【課題】複数の半導体ウエハ等といった複数の被処理物を処理液に浸漬するに際して、これら被処理物の間で処理具合にばらつきが生じないようにする。
【解決手段】処理装置１が、処理液３０が貯留される処理槽２と、処理槽２内に配置され、処理槽２内で回転する回転車４と、被処理物３２をそれぞれ保持し、回転車４に取り付けられ、回転車４の第１の回転軸６を中心にした円周方向に沿って配列された複数の保持具１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板洗浄工程中に電析の発生を防止しつつ基板の状態を観察することが可能な基板洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】発電層が形成された基板１２を洗浄する洗浄部と、それらの上流側に設けられて、基板１２を基板搬入口から洗浄部に搬入する搬入部と、洗浄された基板１２の発電層を乾燥させる乾燥部と、乾燥部の下流側に設けられて乾燥した基板１２を基板搬出口へ搬出する搬出部と、基板搬入口を除く搬入部、洗浄部、乾燥部、基板搬出口を除く搬出部内に入射する光を遮断する光遮断手段９と、それに設けられる観察窓１０と、観察窓１０から入射する光のうち発電層の発電に寄与する波長の少なくとも一部を遮断し、発電層の発電電圧を波長の少なくとも一部を遮光しない場合の発電電圧の１／１０以下にする光透過手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持する専用の台が不要にし、洗浄の死角となる部分を少なくする。
【解決手段】円筒状のワークＷを挟み込む位置に配置し、ワークＷの回転軸線と平行な軸線回りに回転し、ワークＷの外周面に接触する少なくとも３個以上の円筒状のローラ５２、５３、６３、６７と、少なくとも３個以上のローラ５２、５３、６３、６７のうち少なくとも１個を回転駆動する流体モータ８８、８９と、ワークＷに向けて流体を噴出させるノズル２０、２１、２２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 水面下に超音波振動子を配置した水槽の水中へ被洗浄物を搬送コンベヤでもって連続的に又は間欠的に水平に搬出入できて効率的な洗浄が行え、しかも通過する開口部からの水槽の洗浄水の排出量を低く抑えて小型化する。
【解決手段】 側壁の左右に開口部２，３を設けた水槽１内に超音波振動子７を上下及び前後に対向するように設け、開口部２，３を介して被洗浄物を収容するネットトレー５ｆが通過するように搬送コンベヤ５を設け、各開口部に上下動するシャッター４と水吹出ノズル８を設け、水槽１の外側に未洗浄の洗浄物を収容したネットトレー５ｆを搬送コンベヤ５に取り付ける投入ステーション１１と、水槽で洗浄したネットトレー５ｆ及び被洗浄物にリンス液を吹付けその後空気を吹付けて乾燥させる仕上げステーション（乾燥室１０）と、洗浄処理完了したネットトレー５ｆを搬送コンベヤ５から取り外す回収ステーション１２とを設ける。 （もっと読む）

【課題】前工程から横姿勢で搬送されるガラス板を縦姿勢に姿勢変換をして次工程に受け渡すという一連の処理を、先行するガラス板から後続のガラス板に亘って的確に行い、無駄な待ち時間を可及的に低減させ、作業時間の短縮ひいては生産性の向上を図る。
【解決手段】横軸２廻りに一方向Ａに間欠回転する回転体３の外周部に、ガラス板４を保持する保持部５を複数配列し、回転体３の回転停止時に一の保持部５が受取エリア６で横姿勢のガラス板４を受け取り、その受け取り完了時に回転体３の回転を開始させ、その回転に伴ってガラス板４が縦姿勢で受渡エリア７に位置した時点で回転体３の回転を停止させ、その回転停止時に、一の保持部５が受渡エリア７で縦姿勢のガラス板４を受け渡し可能となると同時に、一の保持部５の回転方向後側に存する他の保持部５が受取エリア６で後続の横姿勢のガラス板４を受け取り可能となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】部品実装機の吸着ノズルを能率良くクリーニングできるようにする。
【解決手段】部品実装機のホルダ着脱機構に着脱可能に取り付けられた交換用吸着ノズルホルダ１１を該部品実装機から取り外して該交換用吸着ノズルホルダ１１に収納された吸着ノズル１２を吸着ノズル用クリーニング装置２１でクリーニングするために、吸着ノズル用クリーニング装置２１のクリーニング槽２２内に、部品実装機のホルダ着脱機構と共通のクリーニング用ホルダ着脱機構２３を設け、部品実装機のホルダ着脱機構から取り外した交換用吸着ノズルホルダ１１を、クリーニング槽２２内のクリーニング用ホルダ着脱機構２３に取り付けて、該交換用吸着ノズルホルダ１１に収納された複数本の吸着ノズル１２を超音波洗浄等によりクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】多孔質セラミックからなる保持テーブルの保持部の孔に詰まった研削屑を効果的に除去して保持部の吸引力を回復させることができる洗浄方法を提供する。
【解決手段】研削加工したワークを保持テーブル２０の保持部２１上から搬出した後に保持部２１に水とエアとの混合流体を供給して保持部２１から吹き出させることにより、保持部２１内を洗浄し、保持部２１内の孔に詰まっている研削屑を除去する。 （もっと読む）

【課題】発熱体の劣化を防止しつつ流体の加熱効率を高めて、運転性能を向上させた洗浄装置を提案する。
【解決手段】洗浄用の水を供給する給水路４と、給水路４内の流体を誘導加熱により加熱する流体加熱装置６とを具備してなり、流体加熱装置６により加熱された流体を被洗浄物に供給する洗浄装置において、流体加熱装置６は、給水路４の中途部に配設され、内部中空を有する筒状の本体部６４、及び本体部６４の内部空間と区画されかつ外部空間と連通される収容部６５が設けられる管体６０と、管体６０の外側に巻回される誘導加熱コイル６１と、管体６０の収容部６５に収容されて配設される発熱体６２と、誘導加熱コイル６１に高周波電流を印加する高周波電源部６３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】湿潤および浸透効果に優れるため、配向膜基板上に存在する汚染物質に対する洗浄効果に優れた洗浄液組成物を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄液組成物は、アルカリ化合物を含まない洗浄液組成物であって、組成物の総重量に対して、Ｃ１〜Ｃ５の低級アルコール０．１重量％〜１５重量％、水溶性グリコールエーテル化合物０．１重量％〜１５重量％、有機リン酸０．０１重量％〜１０重量％、アゾール系化合物０．００１重量％〜１０重量％、および残量の水を含む。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄方法、被洗浄物の洗浄装置を提供する。
【解決手段】浸漬時に空気１６を保持可能な穴部１４を表面に有する被洗浄物（多結晶シリコン１２）を洗浄槽１８に浸漬して前記洗浄槽１８を気密封止し、前記洗浄槽１８内の空気を排出することにより前記洗浄槽１８内を減圧する工程と、気体４４を前記洗浄槽１８内に導入することにより前記洗浄槽１８内を加圧する工程と、を繰り返すことにより、前記穴部１４に保持された空気１６を前記洗浄液２８と入れ替えて前記穴部１４の洗浄を行う被洗浄物の洗浄方法であって、前記気体４４として、空気より溶解度の低いものを前記洗浄槽１８に導入することを特徴とする。 （もっと読む）