【課題】液切処理にかかる時間を短縮できる液切処理装置、液処理装置及び液切処理方法を提供する。
【解決手段】液処理装置１は、キャリア２に液処理を施す液処理部１０と、液処理後のキャリア２が搬送される搬送部２０とを有する。搬送部２０は、搬送レール２１と、液切処理部２２とを有する。液切処理部２２は、回転テーブル２４と、回転テーブル２４上に固定され、搬送レール２１から搬送されるキャリア２を水平状態に保持する回転レール２３と、回転テーブル２４を回転駆動し、回転レール２３に保持されたキャリアを高速回転させる駆動モータとを有する。 （もっと読む）

【課題】被処理体の一面側の洗浄領域に洗浄液を局所的に供給して、被処理体の側面や他面側への洗浄液の回り込みを防止できる洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】被処理体であるテンプレートＴの転写パターン（洗浄領域）を当該転写パターンが下方に向くように保持機構４により吸着保持する。前記転写パターンを含み、テンプレートＴの外縁よりも内方側の領域との間に洗浄液を満たして通流させるための通流空間を液収容部３１により形成し、前記通流空間に液収容部３１の底面に形成された第１の開口部３１ａからリンス液を供給し、前記転写パターンを囲むように液収容部３１と転写パターン２外側領域との間に形成された隙間３０を介して排液部３２に排液する。リンス液は液収容部３１内を通流するので、洗浄領域に局所的に供給され、テンプレートＴの側面や他面側への洗浄液の回り込みを抑えながら洗浄処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】フィルターエレメントのみならず集塵容器をも安全に洗浄することができる集塵装置とする。
【解決手段】フィルターエレメント２１と、このフィルターエレメント２１を収納する集塵容器１０とを有し、この集塵容器１０内がフィルターエレメント２１上流の集塵室Ｒ１と、フィルターエレメント２１下流のろ過室Ｒ２とに区分され、集塵室Ｒ１に臨むガス流入路Ｄ１と、ろ過室Ｒ２に臨むガス流出路Ｄ２とが集塵容器１０に備えられた集塵装置１であって、集塵室Ｒ１に臨む液供給路Ｄ７及び液排出路Ｄ４が集塵容器１０に備えられ、液排出路Ｄ４及びガス流入路Ｄ１に開閉弁Ｖ４，Ｖ１が備えられ、これらの開閉弁Ｖ４，Ｖ１を閉じて液供給路Ｄ７から洗浄液Ｗ１を供給すると、洗浄液Ｗ１によって集塵室Ｒ１が浸漬し、更にろ過室Ｒ２も浸漬する構成とされる。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の上部からの洗浄液が漏れ出るのを抑制あるいは防止した、基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】略垂直姿勢の基板Ｗを上方から洗浄槽１内に収容し、基板Ｗの表面および裏面にそれぞれ対向しかつ略水平方向に延在して配置された管状部材２ａ１〜２ａ３，２ａ４〜２ａ６から、基板Ｗの両面にそれぞれ洗浄液を噴射して洗浄する基板洗浄装置Ｓである。基板Ｗの両面にそれぞれ対向する洗浄槽１の側壁１１ａと、側壁１１ａ側に配置された管状部材２ａ１〜２ａ３，２ａ４〜２ａ６との間に形成される通気路Ｆ１に、邪魔板Ｃ１〜Ｃ３，Ｃ４〜Ｃ６を配設した。 （もっと読む）

【課題】ガラス表面が傷ついて強度が低下するのを防止し、コーティング被膜の保護作用により、ガラス肉厚を薄くしてガラスびんを軽量化することも可能とするリターナブルガラスびんのコーティング方法を提供する。
【解決手段】リターナブル炭酸飲料びん等として使用することができる耐アルカリ性能を有するコーティング被膜をガラスびんの外周面に施す。硬化後被膜の最も薄い部分の膜厚が３０μｍ以上となるようにウレタンを主成分とする樹脂をガラスビンの外周面にコーティングする。コーティング液の粘度をＳ（ｍＰａ・ｓ）、ガラスびんの自転速度をＲ（ｒｐｍ）とした場合、Ｓ≦２２で、Ｓ・Ｒ^０．６／２．４≧６０とすることで、最も薄い部分の膜厚が３０μｍ以上となり、被膜に泡が入るおそれもない。 （もっと読む）

【課題】基板表面に付着したパーティクル等の汚染物質を除去するための基板処理方法および基板処理装置において、パーティクル除去効率を向上させる。
【解決手段】基板Ｗの表面Ｗｆに、ＤＩＷにポリスチレン微粒子Ｐを分散させた処理液Ｌによる液膜ＬＰを形成する。冷却ガス吐出ノズル３から冷却ガスを吐出させながら該ノズルを基板Ｗに対し走査移動させて、液膜ＬＰを凍結させる。液膜中に混入された微粒子Ｐが凝固核となって氷塊ＩＣの生成が促進されるため、液相から固相への相変化時間を短くしてパーティクル除去効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】確実な洗浄効果で洗浄時間を短縮、安定させ、撹拌洗浄で発生する泡を抑制し、次工程への取り出しの自動化、節水を図る。
【解決手段】被洗浄物を水の中で撹拌させて洗浄を行う洗浄装置であって、水平な回転軸７を中心とする半円筒面で小さな排水穴１７があけられた底面とする断面がＵ字形状の洗浄槽１には、投入口２、シャッター１５で開閉できる排出口１５と取出口３が設けられている。
回転軸には撹拌板８が、螺旋状に配列させて取り付けられている、洗浄水位の保持に堰の形態のオーバーフロー１３と、洗浄完了後の取り出し時の被洗浄物の排出を補助する放水管１２を備えている。 （もっと読む）

【課題】設備コストおよびエネルギーコストの面で優れた、むらなく浸漬処理を施すことが可能な線材コイルの浸漬処理装置を提供する。
【解決手段】線材コイル２をつり下げるためのフック１と処理液４で満たされた処理槽３とで構成される線材コイルの浸漬処理装置であって、フック１が、線材コイル２をフック１から分離させる一つ以上の分離用部材５を有し、フック１を処理槽３内に下降させることにより線材コイル２を処理液４に浸漬する線材コイルの浸漬処理装置。 （もっと読む）

【課題】洗浄効率の向上を図ることにより環境負荷となる洗浄水自体の使用量を低減し、洗浄後の洗浄水の処理に要するコストを低減する。
【解決手段】洗浄水が自由に流入出可能な構造を有すると共に複数の被洗浄体を収容する洗浄用籠、上記洗浄用籠を設置する洗浄槽、上記洗浄用籠を回転させる回転装置、上記洗浄用籠内の上記被洗浄体が集合する受噴射籠面に向けて洗浄水と気体との気液混合物を噴射する少なくとも２個の互いに分散設置されたインゼクター、上記洗浄槽の上方から流出する洗浄済み水を回収すると共に重量差を利用して上記洗浄済み水を汚れ成分と洗浄水とに分離する回収分離槽、上記回収分離槽において分離された上記洗浄水を上記各インゼクターに再供給する洗浄水再供給装置を備え、上記各インゼクターは、洗浄時間の後半では噴射を停止、あるいは弱めるように構成した。 （もっと読む）

【課題】インゴットをスライスして形成されるウエハを１枚ずつ分離して、ウエハの表裏面を容易かつ均一に洗浄可能にするウエハの分離装置の提供。
【解決手段】支持台Ｃに接着剤により貼着されたインゴットが支持台Ｃの一部まで含めて短冊状にスライスされて形成されたウエハＷを、当該ウエハＷが支持台Ｃにぶら下げられた状態で保持するホルダ２０と、ウエハＷを１枚ずつ吸着して、支持台Ｃの部分で分離するための分離ハンド２２とを含む分離装置２である。 （もっと読む）