【課題】ウェーハの表面に触れることなく加工処理することができるレーザダイシング装置及び方法、割断装置及び方法、並びにウェーハ処理方法を提供する。
【解決手段】ウェーハＷは、裏面に透明なダイシング用テープＴが貼着されて、ダイシング用フレームＦにマウントされる。ダイシング用フレームＦにマウントされたウェーハＷは、裏面を吸引されて、透明なウェーハテーブル２０に保持される。レーザ光は、透明なウェーハテーブル２０及び透明なダイシング用テープＴを通してウェーハＷの裏面に入射される。これにより、ウェーハＷの表面に触れることなくウェーハＷを保持して、ウェーハＷの裏面にレーザ光を入射することができ、ウェーハＷの表面に形成された素子等を破壊することなく、レーザダイシングすることができる。 （もっと読む）

【課題】レーザー加工時にワークから発生する塵埃及び煙をエア吸引装置によって確実に吸引することにより、ワークへの塵埃及び煙の付着を防止することができるレーザー加工装置を提供すること。
【解決手段】レーザー加工装置２０は、支持手段３０、レーザー照射装置４０、エア噴出装置５０及びエア吸引装置６０を備える。支持手段３０は、ワーク２の下方に位置してワーク２を支持するとともに、吸引口３５を有する。レーザー照射装置４０は、ワーク２に対してレーザーＬ１を照射する。エア噴出装置５０は、支持手段３０の上方に設置され、ワーク２に対してエアＡ１を噴出させる。エア吸引装置６０は、レーザー加工時にワーク２から発生する塵埃及び煙をエアＡ１とともに吸引口３５を介してワーク２の下方から吸引する。 （もっと読む）

【課題】真空断熱材製造時のレーザー光による金属箔溶接封止を確実に行うことのできる真空レーザー溶接封止機を提供する。
【解決手段】真空レーザー溶接封止機は、チャンバ下部（２）と、このチャンバ下部と係合して密閉空間（８）を形成し、かつ開閉可能で、光透過窓（６）を備えたチャンバ蓋（１）と、前記空間内には、被封止物を金属外被材で包まれた状態で載置する支持体と、前記金属外被材どうしを密着させる押さえ機構（１６）とを有する本体部（１０）と、前記本体部の外部に設けられ、前記空間内の排気を行って真空にする真空化装置と、前記本体部の外部に設けられ、前記光透過窓を介してレーザーを前記密着された金属外被材に照射することにより前記金属外被材を溶接して封止するレーザー溶接機構（３１−３３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】挟持部材によってパイプ材を挟持固定する状態をより安定化させる。
【解決手段】ベースプレート１５７に対して内歯車１７５を回転させることで、内歯車１７５に噛合するピニオン１５９，１６１をベースプレート１５７に対して回転させる。この回転により、ピニオン１５９，１６１に噛合するラック１６３ｂ２，１６５ｂ２を有する移動プレート１６３，１６５を互いに接近移動させることで、移動プレート１６３，１６５に個別に支持させたローラ１６７，１６９によりパイプ材を挟持固定する。この状態で、内歯車１７５の外歯１７５ｂに、ベースプレート１５７外周の円筒部１８３に沿って移動可能なスライドバー１８７に設けたロック爪１８５を係合させることで、内歯車１７５の回転によるピニオン１５９，１６１及びラック１６３ｂ２，１６５ｂ２を介しての移動プレート１６３，１６５の互いに離反する方向の移動を規制する。 （もっと読む）

【課題】板状ワークの加工と棒状ワークの加工との切り替え作業を容易に行えるようにする。
【解決手段】平板を加工する際には、パイプ用パレット５を補助フレーム１３に退避させつつ、平板用パレット３をワーク搬出入フレーム１１から本体フレーム９の加工領域７に移動させる。パイプを加工する際には、平板用パレット３をワーク搬出入フレーム１１に退避させつつ、パイプ用パレット５を補助フレーム１３から本体フレーム９の加工領域７に移動させる。パイプ用パレット５には、パイプが例えば補助フレーム１３側から挿入されて該パイプの挿入方向後端部を把持するメインチャックモジュール３７と、レーザ加工ヘッド２１を備えるＸ軸キャリッジ１５と一体となってＸ軸方向に移動するサポートチャックモジュール３９とを、装置フレーム１に対してＸ軸方向に移動可能に備えている。 （もっと読む）

【課題】クランプ部材によりパイプ材を把持した状態で、クランプ部材を備えるスクロール盤の回転を規制する。
【解決手段】パイプ材Ｗが挿入される主軸９９と、主軸９９に取り付けたジョーガイド１１１と、ジョーガイド１１１に、その直径方向に移動可能に設けられて、パイプ材Ｗを把持するジョー１０１と、ジョーガイド１１１の軸方向に隣接する位置にあって主軸９９に対して回転可能で、かつ、この回転によってジョー１０１をジョーガイド１１１に対して直径方向に移動させるスクロール盤１１３，１１５と、ジョーガイド１１１に設けられてスクロール盤１１３，１１５を押し付けて回転規制するブレーキパッド１４７と、ブレーキパッド１４７のスクロール盤１１３，１１５に対する押し付け動作を解除して回転を許容させるブレーキ開放バー１３９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークを載置可能なパレットを加工領域でより安定して固定できるようにする。
【解決手段】パイプ用パレット５を本体フレーム９の加工領域７に、補助フレーム１３から移動させて位置決めする際に、Ｘ軸方向とＹ軸方向の２方向の位置決めを行う第１のパレットロックモジュール５５と、Ｚ軸方向の位置決めを行う第２のパレットロックモジュール７７とを使用する。第１のパレットロックモジュール５５は、パイプ用パレット５に設けたパレットロックシリンダ６１の駆動により、ポジショニングローラ５１を下降させて本体フレーム９側の連結凹部５３ａに入り込ませる。第２のパレットロックモジュール７７は、パイプ用パレット５に設けたロックシリンダ８１の駆動により、ロッキングレバー７１を介してその先端の係止ローラ７３を、本体フレーム９側の係止凹部７５ａに下方から入り込ませる。 （もっと読む）

【課題】パイプ材を把持自在なメインチャックにダクトユニットを接続した構成であっても、前記メインチャックに対して長尺のパイプ材を容易に供給し挿通することのできるレーザ加工機を提供する。
【解決手段】パイプ材を把持して回転割出し自在なメインチャック３３を備えると共に、前記パイプ材にレーザ加工を行うレーザ加工ヘッド１７を前記パイプ材の長手方向へ移動自在に備えたレーザ加工機であって、前記メインチャック３３に接続自在かつ当該メインチャック３３から突出したパイプ材の端部側を覆い自在なダクトユニット４５を備え、このダクトユニット４５における筒状のダクトフレーム５１における端部を開閉可能に備えており、前記ダクトユニット４５における上面又は側面を、前記端部と同時に開閉可能に設けてある。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工機の構成によらずワークサポートの清掃をレーザ加工とは独立して実行可能で、スラグの除去効果が高く、安全かつ容易に清掃作業を行えるワークサポート清掃装置を得ること。
【解決手段】間隔を空けて立設された複数の板材からなり、レーザ加工機のワークを保持するワークサポート３を清掃するワークサポート清掃装置であって、複数の針８及び複数の針８を別々に往復動させる機構を含む自動高速多針タガネ４と、開口９が形成されたベースプレート５と、ベースプレート５の上側に設置されて、針８が開口９を貫通してベースプレート５の下側に露出するように自動高速多針タガネ４を支持する清掃装置本体６と、開口９を挟んで対峙するようにベースプレート５の底面に設けられて、ワークサポート３上における清掃装置本体６の移動を案内する一対の案内板１０ａ、１０ｂと、清掃装置本体６の操作用の取手７とを有する。 （もっと読む）

【課題】板状のワーク及び長尺のパイプ材のレーザ加工を行うことができると共に、レーザ加工時に発生した塵埃が周囲に飛散することを抑制することのできるレーザ加工機を提供する。
【解決手段】レーザ加工ヘッド１７がＸ軸方向及びＹ軸方向へ移動自在なレーザ加工領域１９のＸ軸方向の適宜一側にレーザ発振器７を備え、前記レーザ加工領域１９のＸ軸方向の一側に備えた平板加工用パレット２３又は長尺材加工用パレット２７の一方の加工用パレットを備えると共に、当該一方の加工用パレットを前記レーザ加工領域１９へ移動位置決め可能に備え、前記レーザ加工領域１９のＸ軸方向の他側に備えた長尺材加工用パレット２７又は平板加工用パレット２３の他方の加工用パレットを備えると共に、当該他方の加工用パレットを、前記レーザ加工領域１９へ移動位置決め可能に備え、前記長尺材加工用パレット２７上において長尺材を把持して回転自在なメインチャック３３を、集塵装置に接続可能に備えている。 （もっと読む）