一般式（１）：Ｓｉ₂（ＮＭｅ₂）₅Ｙであって、ＹがＨ、Ｃｌ又はアミノ基からなる群より選択される式を有したペンタキス（ジメチルアミノ）ジシラン、その製造方法及びＳｉＮ又はＳｉＯＮからなるゲート誘電体膜又はエッチストップ誘電体膜を製造するためのその使用。 （もっと読む）

【課題】単一結晶相でありかつ高品質であるニトリドシリケート系化合物を、安価に、かつ再現性よく製造できるニトリドシリケート系化合物の製造方法、並びに、そのニトリドシリケート系化合物を提供する。
【解決手段】本発明のニトリドシリケート系化合物２の製造方法は、アルカリ土類金属Ｍ１とガリウムとの複合酸化物（但し、Ｍ１は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａから選ばれる少なくとも１つの元素を示す。）と、珪素化合物と、炭素とを含む原料を、窒化性ガス雰囲気中で反応させる。 （もっと読む）

【課題】
資源的に最も豊富でありかつ極めて優れた特性を有するものの、製造コストが高価に過ぎる為に活用されていないケイ素系ファインセラミックス、βサイアロンの製造コストが低減されて、広範な社会基盤材料としての活用が嘱望されている。
【解決手段】
燃焼合成により合成したβサイアロンを平均粒径５００ｎｍ以下、最大粒径５μｍ以下に粉砕分級後、ゴム型を用いた成型、マイクロウエーブ焼結を介して製品化する事により、製造コストが低減できると共に、従来材以上に優れた機能が確保できた。これによりβサイアロンが社会基盤材料として活用できる。 （もっと読む）

【課題】 高温で安定なナノスケール寸法の階層的規則性セラミック材料及びその製造方法の提供。
【解決手段】 ナノスケールセラミック複合材（１００）の製造方法は、一般に、ポリマーセラミック前駆体を改質する段階、改質ポリマーセラミック前駆体をブロック共重合体と混合して混合物を形成する段階、混合物から規則構造体を形成する段階であって、改質ポリマーセラミック前駆体がブロック共重合体の特定の種類のブロックと選択的に会合する段階、及びナノスケールセラミック複合材（１００）の形成に有効な時間及び温度で規則構造体を加熱する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】 炭化タンタル膜や炭窒化タンタル膜を化学気相成長法により形成するための原料として、供給しやすく、高い蒸気圧を有する化合物を提供し、さらに、その製造方法およびそれを用いた炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜の形成方法を提供する。
【解決手段】 ＴａＣｌ₅とＮａ（ＥｔＣｐ）とＮａＢＨ₄とをＴＨＦ中で反応させ、未反応原料を水で失活させた後、溶媒留去し、真空蒸留することにより、蒸気圧が０．１Ｔｏｒｒ／９５℃、融点が３８℃である新規化合物ビス（エチルシクロペンタジエニル）トリヒドロタンタル（Ｔａ（ＥｔＣｐ）₂Ｈ₃）が得られ、この化合物を原料として、化学気相成長法により、炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】炭窒化ケイ素膜形成用前駆体の化学気相成長により基材上に炭窒化ケイ素膜を形成するための方法を提供する。
【解決手段】以下の式、即ち、


及びそれらの混合物によって表され、アミノシランからなる群より選択された前駆体を用いることを含む方法。 （もっと読む）

【課題】 炭素多孔体に匹敵する比表面積および孔容積を有する窒化ホウ素系多孔体、および、その製造方法を提供すること。ここに、窒化ホウ素系多孔体は、一般式ＢＣ_XＮ（
０≦Ｘ≦１）で表される多孔体（すなわち、窒化ホウ素多孔体および炭窒化ホウ素多孔体）すべてを含むものである。
【解決手段】 本発明による窒化ホウ素系多孔体ＢＣ_XＮ（０≦Ｘ≦１）を製造する方法
は、メソポーラスカーボンとホウ素源とを混合する工程と、混合する工程によって得られた混合物を、窒素雰囲気中、１３００℃〜１８００℃の温度で、３０分〜６０分間、加熱する工程とを包含する。 （もっと読む）

【課題】紫外ＬＥＤや青色ＬＥＤを光源とする白色ＬＥＤに好適な蛍光体のα型サイアロン粉末を再現性良く、安定して、多量に製造する方法を提供する
【解決手段】（Ｍ１）_Ｘ（Ｍ２）_Ｙ（Ｓｉ、Ａｌ）_１２（Ｏ、Ｎ）_１６（Ｍ１はＬｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｙ及びランタニド金属（ＬａとＣｅを除く）からなる群から選ばれる１種以上の元素で、Ｍ２はＣｅ、Ｐｒ、Ｅｕ、Ｔｂ、Ｙｂ及びＥｒからなる群から選ばれる１種以上の元素で、０．３＜Ｘ＋Ｙ＜１．５、かつ０＜Ｙ＜０．７）で示され、金属シリコンと、窒化アルミニウムと、Ｍ１含有化合物と、Ｍ２含有化合物と、必要に応じて、酸化アルミニウム、窒化ケイ素、及びα型サイアロンからなる群から選ばれる１種以上と、からなる混合粉末を窒化性雰囲気中１３００〜１５５０℃で加熱処理後、非反応性又は窒化性雰囲気中１６００〜１９００℃で加熱処理し、粉砕することを特徴とするα型サイアロン粉末の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 数μｍから十数μｍ程度の略球状の塗布性に優れたアルファサイアロン蛍光体粉末を効率よく簡便に製造することができる製造方法の提供。
【解決手段】 湿式ミルによりアルファサイアロン蛍光体を構成する各元素を含む原料粉末を溶媒とともに混練する混練工程と、スプレードライヤーにより前記混練工程で得られた混練物を噴霧乾燥することにより原料粉末の凝集体の粒径を整える造粒工程と、前記造粒工程で造粒した凝集体粉末を加圧成形せずに粉末のまま容器に収めて焼結し、アルファサイアロン蛍光体粉末を得る焼結工程とを有することを特徴とするアルファサイアロン蛍光体粉末の製造方法。 （もっと読む）

【課題】軽量で、高度に細孔構造が発達し、ガス吸蔵能に優れた多孔性物質の製造方法を提供する。
【解決手段】高表面積物質の存在下に、アミン・ボランアダクト構造を持つ化合物を脱水素反応させることにより多孔性物質を製造する方法。 （もっと読む）