【課題】機械的強度に優れていて変形も少ないセラミック基体を有するとともに、セラミック基体との接着強度及び同時焼結性に優れた低抵抗かつ好適形状の導体を有するセラミック部品を提供すること。
【解決手段】本発明のセラミック配線基板１０は、銅の融点よりも高い温度で焼結するセラミックを主体とするセラミック基体１１に導体１８，１９，２３，２７，２８が形成されたものである。導体１８，１９，２３，２７，２８は、無機化合物フィラーと銅との混合相からなる。フィラーは、チタン−アルミニウム系金属化合物、チタン酸化物及びアルミニウム酸化物のうちから選択される少なくとも２種の無機化合物を主体とする。フィラー中のチタン酸化物及びアルミニウム酸化物としては、チタン−アルミニウム系金属化合物が熱分解して酸化することにより生じたものが好適である。 （もっと読む）

【課題】強化材である窒化物セラミックス粉末の酸化を防止するとともに、金属と複合化して得られる複合材料の反り、クラックおよび未含侵等の問題を解消し、熱伝導性、機械的強度等に優れた金属基複合材料を提供する。
【解決手段】セラミックス粉末の成形体に大気加熱を伴う高圧含侵により金属を含侵させた金属基複合材料であって、窒化物セラミックス粉末からなる強化材と、前記強化材の表面を被覆した酸化物セラミックス粉末からなる被覆層と、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるマトリックス金属とを備え、前記被覆層は、開気孔に前記マトリックス金属が浸透した浸透層と、前記強化材に密着し、前記マトリックス金属が浸透していない非浸透層とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吸着特性と均熱性と耐絶縁破壊特性に優れるヒータ付き静電チャックの提供。
【解決手段】アルミナを含む焼結体からなる基体２と、基体２中の上部側に設けられたESC電極３と、基体中の下部側に埋設された抵抗発熱体４とを備えているヒータ付き静電チャック１の基体２は、ESC電極３から基体２の上面２ａまでの誘電体層２１と、ESC電極３から基体２の下面２ｂまでの支持部材２２とから構成されている。支持部材２２は、誘電体層２１と接するESC電極近傍領域２２ａと、このESC電極近傍領域２２ａよりも下方の下方領域２２ｂとで炭素含有量が相違し、誘電体層２１中の炭素含有量が１００ｗｔｐｐｍ以下、ESC電極近傍領域２２ａの炭素含有量が、０．１３ｗｔ％以下、下方領域２２ｂの炭素含有量が０．０３ｗｔ％以上であり、このESC電極近傍領域の炭素含有量が下方領域の炭素含有量よりも小さい。抵抗発熱体４はニオブ又は白金を含む。 （もっと読む）

【課題】窒化けい素セラミックス基板を用い、パワーモジュールのリーク電流の発生を抑制し、大電力化、大容量化した場合でも絶縁性、動作の信頼性を大幅に向上させることのできるパワーモジュールを提供する。
【解決手段】厚さ１．５ｍｍ以下の窒化けい素焼結体表面に幅が１μｍ以上のマイクロクラックがなく、幅が１μｍ未満のサブミクロンクラックが単位面積１００μｍ^２当たりに０〜２個である窒化けい素焼結体から成り、一定条件下での電流リーク値が４２０ｎＡ以下、熱伝導率が５０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、３点曲げ強度が５００ＭＰａ以上、残留炭素含有量が５００ｐｐｍ以下である窒化けい素セラミックス基板２に金属回路板を設け、半導体素子を搭載してなるパワーモジュールであり、窒化けい素セラミックス基板２は、粒界相中における結晶化合物相の割合が２０％以上であり、ＭｇをＭｇＯに換算して０．５〜３．０質量％含有する。 （もっと読む）

本発明は、２体積パーセント未満の多孔度を有する、ダイヤモンド粒子と、炭化ホウ素とを含む炭化ホウ素複合材料に関する。本発明は、このような材料を製造するための方法であって、複数のダイヤモンド粒子を炭化ホウ素でコーティングするステップと、この複数のダイヤモンド粒子を合わせることによって、グリーン体を形成するステップと、このグリーン体を、摂氏約１２００度から約２０００度の範囲の温度及び約２０００Ｍｐａを超えない圧力又は真空にさらすステップとを含む方法にさらに関する。
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【課題】 炭化硼素の持つ高い比剛性を利用した高比剛性複合材料でありながら研削性が優れた複合材料、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 炭化硼素Ｘ体積部、炭化珪素Ｙ体積部、シリコンＺ体積部を主成分とし、１０＜Ｘ＜６０、２０＜Ｙ＜７０、５＜Ｚ＜３０であり、炭化硼素と炭化珪素の１０μｍ以上の粒子が１０〜５０体積部であることを特徴とする複合材料。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸及びＹ軸の面方向のあらゆる方向に優れた熱伝導率を示す炭素繊維強化炭素複合材料を得る。
【解決手段】ピッチ系炭素繊維をＸ軸及びＹ軸の面方向にランダムに分散させたシート状分散体を積層した炭素繊維積層体の炭素繊維の表面上に熱分解炭素を堆積して該炭素繊維の周囲を被覆することにより、前記炭素繊維積層体内に熱分解炭素が充填されていることを特徴とする炭素繊維炭素複合成形体及びこれを用いて得られる炭素繊維強化炭素複合材料。 （もっと読む）

【課題】 炭化硼素の持つ高い比剛性を利用した高比剛性複合材料でありながら研削性が優れた複合材料、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 炭化硼素Ｘ体積部、炭化珪素Ｙ体積部、シリコンＺ体積部を主成分とし、１０＜Ｘ＜６０、２０＜Ｙ＜７０、５＜Ｚ＜３０であり、炭化硼素と炭化珪素の１０μｍ以上の粒子が１０〜５０体積部であることを特徴とする複合材料。 （もっと読む）

【課題】硬度や破壊靱性が大きく、割れても破片が飛散しにくい軽量な耐衝撃複合部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】耐衝撃複合部材１は、衝撃に対して破壊または破片飛散を防止する耐衝撃複合部材であって、金属基複合材料からなる基体２と、網目状に形成され、基体に埋設されている金属メッシュ３と、を備える。このように、耐衝撃複合部材１は、基体２に金属基複合材料を用いているため、軽量で、その硬度や破壊靱性が大きくなる。また、金属メッシュ３が埋設されているため、割れたときに破片が飛散し難い。その結果、たとえば銃弾が当たったとき、銃弾を破壊してその貫通を阻止し、割れた破片の飛散を防止する。 （もっと読む）

【課題】硬度や破壊靱性が大きく、割れても破片が飛散しにくい軽量の耐衝撃複合部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】耐衝撃複合部材１は、セラミックスの強化材と金属からなる母材とにより形成され、衝撃に対して破壊または破片飛散を防止する耐衝撃複合部材１であって、母材のみにより形成される母材領域３と、母材と強化材との複合材料により形成され、母材領域を介して離散的に形成される複数の複合材料領域２と、を備える。耐衝撃複合部材１は、複合材料領域２に金属基複合材料を用いているため、軽量で、その硬度や破壊靱性が大きい。また、複合材料領域２の間隙に金属の母材領域３を有するため、割れたときに破片が飛散しにくい。その結果、たとえば銃弾が当たったとき、その貫通が阻止され、割れた破片の飛散が防止される。 （もっと読む）