国際特許分類[C23C14/14]の内容
化学;冶金 (1,075,549) | 金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般 (47,648) | 金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般 (43,865) | 被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆 (14,491) | 被覆材料に特徴のあるもの (5,176) | 金属質材料,ほう素またはけい素 (937)
国際特許分類[C23C14/14]の下位に属する分類
金属質基板上またはほう素もしくはけい素の基板上に被覆するもの (60)
その他の無機質基板上に被覆するもの (12)
有機質基板上に被覆するもの (158)
国際特許分類[C23C14/14]に分類される特許
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金属膜を形成した反射板
【課題】成形加工性、金属膜の密着性、耐落球衝撃性の優れた、金属膜を形成した反射板を得ることを課題とする。
【解決手段】ポリフェニレンスルフィド樹脂組成物を成形した成形品に金属膜を形成した反射板であって、前記ポリフェニレンスルフィド樹脂組成物が、(a)ポリフェニレンスルフィド樹脂、(b)非晶性樹脂、(c)イソシアネート基を有するアルコキシシラン化合物を配合してなるポリフェニレンスルフィド樹脂組成物であって、前記(a)ポリフェニレンスルフィド樹脂が連続相(海相)を形成し、前記(b)非晶性樹脂が数平均分散粒子径1nm以上1000nm未満で分散した分散相(島相)を形成するとともに、前記(b)非晶性樹脂の分散粒子について、粒子径1000nm以上の粒子の数が全粒子数の1.0%以下である金属膜を形成した反射板。
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半導体装置の製造方法
【課題】半導体装置の製造コストを低減させ、信頼性を向上させる。
【解決手段】半導体ウエハSWを支持するステージ53と、半導体ウエハSWに対向するターゲット54と、半導体ウエハSWとターゲット54との間に配置されたコリメータ61と、半導体ウエハSWとターゲット54との間の空間とコリメータ61とを囲むロアーシールド62及びダークスペースシールド63とを備える成膜装置を用い、スパッタリング法によって半導体ウエハSWにNi−Pt合金膜を形成する。この際、ロアーシールド62およびダークスペースシールド63の内面のうち、コリメータ61の下面61bより上に位置する領域にAl膜71を予め形成しておくが、コリメータ61の下面61bより下に位置する領域にはAl膜71を形成しない。ロアーシールド62及びダークスペースシールド63を取り外して洗浄する際に、アルカリ溶液によってAl膜71を溶解する。
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磁気記録用Ni系合金及びスパッタリングターゲット材ならびに磁気記録媒体
【課題】 Ni系合金とその上層のRu層との格子整合を向上させた磁気記録媒体のシード層用合金およびそれを使用したスパッタリングターゲット材並びに磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 Ni系合金であって、Sn,In,Ga,Ge,Siの1種又は2種以上をat.%で0.5〜20%含有し、残部がNiからなる垂直磁気記録媒体におけることを特徴とする磁気記録媒体のシード層用合金。上記のNi系合金にW,Ta,Mo,Cr,Nb,Vの1種又は2種以上を0.5〜20%含有させたことを特徴とする磁気記録媒体のシード層用合金。
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向上した防食性を有するマグネシウム部品
【課題】本発明は、向上した防食性を有するマグネシウム部品に関する。
【解決手段】この部品は、Xが元素周期律表の第III族主族の元素、第III族の遷移元素、または希土類元素からなる群から選ばれた元素であり、Yが元素周期律表の第III族または第IV族主族の元素、第III族または第IV族の遷移元素、または希土類元素からなる群から選ばれた元素である、ガラス質の二元系Mg−X合金またはガラス質の三元系Mg−X−Y合金が塗布されたものである。塗膜は、陰極線アトマイゼーションのような物理蒸着法により作製される。
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金属調加飾シート及びその製造方法
【課題】静電容量センサの動作不良の発生を防ぎかつ少量生産時における生産効率向上を図ることが可能な金属調加飾シート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の金属調加飾シート30は、基礎樹脂フィルム31と、プライマー層32と、金属層33と、ホットメルト接着剤層35と、透明樹脂フィルム36とを順番に積層した構造になっている。そして、金属層33は、複数の金属体33Aが互いに分離した状態で散在する金属体散在構造になっている。これにより、金属層33全体が1枚の連続した導電体ではなくなり、金属調加飾シート30にて車両用ドアハンドル10の外面を覆っても、静電容量センサ15の動作不良の発生が防がれる。また、ホットメルト接着剤を用いたので、少量生産を行う場合には、液状の接着剤を用いる場合と比較して接着工程に要する時間を短縮することができ、生産効率の向上を図ることができる。
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成膜装置、成膜基板製造方法、および成膜基板
【課題】LASERスクライブ法を用いてパターニングする際に、好適に除去できるモリブデン層を成膜可能な成膜装置、成膜基板製造方法、及び成膜基板を提供することを目的とする。
【解決手段】成膜室11B内において基板搬送方向Dの上流側から下流側にかけて不活性ガスの圧力勾配が生じさせる。この圧力勾配は、上流側の不活性ガスの圧力が高く、下流側の不活性ガスの圧力が低くなるように形成する。このような圧力勾配が生じた成膜室11B内でモリブデン層の成膜を実施することで、基板側から表面側にかけて、金属密度勾配が形成されたモリブデン層を成膜することができる。この金属密度勾配では、モリブデン層の膜厚方向において、表面側から基板側へ近づくにつれて、密度が低くなるように密度勾配を形成する。このような密度勾配を有するモリブデン層にLASERスクライブ法を適用すると、モリブデン層を好適に除去することができる。
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バリア性フィルムおよびそれを用いた積層体
【課題】バイオマスエチレングリコールを用いたカーボンニュートラルなポリエステル樹脂フィルムからなる基材層を有するバリア性フィルムを提供する。
【手段】基材層と、前記基材層の少なくとも一方の面に形成された蒸着層とを有するバリア性フィルムであって、前記基材層が、ジオール単位とジカルボン酸単位とからなるポリエステルを主成分として含んでなる樹脂組成物からなり、前記樹脂組成物が、ジオール単位がバイオマス由来のエチレングリコールであり、ジカルボン酸単位が化石燃料由来のジカルボン酸であるポリエステルを、樹脂組成物全体に対して、50〜95質量%含んでなり、前記蒸着層が、無機物または無機酸化物の蒸着膜からなることを特徴とする。
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金属蒸着フィルムの製造方法
【課題】ロール状のフィルムに金属を蒸着する製造工程において、良好な外観とガスバリア性能の金属膜を提供する。
【解決手段】蒸着装置6のフィルム室14と蒸着室13の間に隙間11,12を設け、そのコンダクタンスをフィルムが蒸着室に入る側にて、フィルムの出る側に対して3倍以上とすることで蒸着初期の処理面のみに反応ガスの酸素を接触させて酸化膜を形成してフィルム面への密着力を確保し、その上に金属蒸着膜を形成することで、金属膜全体の酸化の度合いを下げて良好な外観とガスバリア性能を得る。
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TFT用銅スパッタリングターゲット材、TFT用銅膜、及びスパッタリング方法
【課題】成膜条件(成膜中の圧力、成膜に用いるガス種等)を変更しなくても、成膜された銅膜中の引張残留応力を低減できるTFT用銅スパッタリングターゲット材、TFT用銅膜、及びスパッタリング方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るTFT用銅スパッタリングターゲット材は、銅材からなり、銅と不可避的不純物とからなる無酸素銅、又は銅合金からなるスパッタ面を備え、かつ、(111)面と、(200)面と、(220)面と、(311)面との総和に対する、(111)面の占有割合が、15%以上であるTFT用銅スパッタリングターゲット材である。
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垂直磁気記録媒体の製造方法
【課題】DCスパッタ法を用いて、MgO膜を有する磁気記録媒体を高い生産性で製造することができ、同時にMgO膜の酸素欠損を抑制して高い結晶性を有するMgO下地層を与える方法の提供。
【解決手段】酸素含有ガス中でMgおよびMgOを含むターゲットを用いる反応性DCスパッタ法によって、非磁性基体にMgOからなる中間層を形成する工程と、中間層の上に、L10系規則合金を含む磁気記録層を形成する工程とを少なくとも含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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