【課題】気泡の混入、圧送圧力、気体溶存量、送液量などの動作状態を簡便に検出可能な送液ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ室を、出口流路を介して出口側バッファ室に接続し、出口側バッファ室から液体を圧送する。そして、ポンプ室の容積を減少させた時にポンプ室内に生じる圧力振動を検出する。この圧力振動は、気泡の混入、圧送圧力、気体溶存量、送液量など、送液ポンプの動作状態に関する種々の情報を含んでいる。そこで、検出したポンプ室内の内部圧力を閾値と比較して、パルス状の比較信号に変換する。こうすれば、送液ポンプの動作状態に関する各種情報を簡便に検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いてダイアフラムを駆動する送液ポンプにおいて、ポンプ室に混入した気泡を容易に除去可能とする。
【解決手段】圧電素子に対して負電圧を印加して圧電素子を収縮させることによってポンプ室の容積を増加させ、印加した負電圧を解除することによってポンプ室の容積を減少させる。このようにポンプ室内の流体を圧送することとすれば、ダイアフラムが変形していない時（初期状態）のポンプ室の容積を幾らでも小さくすることができる。従って、初期状態ではポンプ室の気泡の溜まり易い箇所が潰れるようにすることで、ポンプ室内に気泡が残ることを回避することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 吐出弁による吐出口に対するシール性が確保されるとともに、流体の圧力損失を低減させる。
【解決手段】 バルブホルダー２０に立設された壁２１Ａ，２１Ｂ内に、吐出口２７Ａ，２７Ｂを有する吐出通路２６Ａ，２６Ｂが設けられている。吐出弁４０は、被固定子４２と、この被固定子４２に連結部４３Ａ，４３Ｂを介して連結された弁部４１Ａ，４１Ｂとを備える。吐出弁４０は、弁部４１Ａ，４１Ｂを互いに近接させるように連結部４３Ａ，４３Ｂを弾性変形させながら、壁２１Ａ，２１Ｂ間に収容する。被固定子４２の被固定用凹部４５を固定用凸部２８に嵌合させることにより、弁部４１Ａ，４１Ｂが連結部４３Ａ，４３Ｂの弾性変形によって吐出口２７Ａ，２７Ｂに付勢される。 （もっと読む）

【課題】ポンプ室の内部圧力が低下する時定数τよりも短い周期で駆動しても、高効率で送液可能な送液ポンプを提供する。
【解決手段】送液ポンプの出口流路から流体流路に向けて液体を送液する。出口流路に直接流体流路が接続されている場合、流体流路には流路抵抗があるから、送液ポンプを駆動すると、ポンプ室の内部圧力が上昇し、その後、出口流路から直接流体流路に液体が流れることに伴って内部圧力が低下する。このときのポンプ室の内部圧力が低下する時定数τよりも短い周期で送液ポンプを駆動し、且つ、出口流路と液体流路との間にはポンプ室よりも大きなコンプライアンスを有する出口側バッファ室を設けておく。こうすれば、ポンプ室の内部圧力が低下する時定数τよりも短い周期で駆動した場合でも、ポンプ室と出口側バッファ室との間で生じる圧力振動を利用して、効率よく送液することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】気体溶存量の増加による性能低下を簡便に回避可能な送液ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ室を、出口流路を介して出口側バッファ室に接続し、出口側バッファ室から液体を圧送する。そして、ポンプ室と出口流路と出口側バッファ室とは共振系を構成しており、この共振系の固有振動数は気体溶存量に依存する。そこで固有振動数を測定して気体溶存量を検出する。こうすれば、送液しよう液体中の気体溶存量を簡便に検出することができるので、気体溶存量の増加によるポンプ性能の低下を簡便に回避可能となる。 （もっと読む）

【課題】ポンプ部分または供給管路に検出体を配設することなく、ダイアフラムポンプの空運転を検出できるようにして、異物混入や液漏れを防ぎ、供給タンク内の液切れも確実に検出できるダイアフラムポンプの運転制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】空気駆動式のダイアフラムポンプの本体１の排気圧力を検出する空気圧センサ８と、この空気圧センサ８の検出した変動周期Ｆｘを記憶する制御部９を有し、この制御部９は変動周期Ｆｘが基準変動周期Ｆｓ以下のときに、空運転と判断してダイアフラムポンプの本体１の運転停止または警告表示をする構成としたことにより、液体の圧力変化に比べて即応する空気圧の変動周期を検出して、迅速かつ確実に空運転に対処できる。 （もっと読む）

【課題】温度変化による圧力−流量特性の変動を抑制することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】圧電ポンプ１０１は、振動板ユニット１６０と可撓板１５１と基板１９１とを備える。振動板ユニット１６０は、圧電素子１４２の線膨張係数より大きな線膨張係数を有する金属材料で形成されている。可撓板１５１及び基板１９１は、振動板ユニット１６０の線膨張係数より大きな線膨張係数を有する材料で形成されている。振動板ユニット１６０は、振動板１４１と、枠板１６１と、連結部１６２とによって構成される。振動板１４１の周囲には枠板１６１が設けられていて、振動板１４１は３つの連結部１６２で枠板１６１に対して３点で柔軟に弾性支持されている。そして、枠板１６１は可撓板１５１に接着固定される。 （もっと読む）

【課題】送液ポンプを大型化させることなく、ポンプ室内の気泡を検出可能とする。
【解決手段】所定の最大電圧まで増加した後に減少する波形の駆動信号を印加することによって圧電素子を駆動し、ポンプ室の容積を増減させてポンプ室内の流体を送液する送液ポンプにおいて、駆動信号を印加してからの所定期間内に圧電素子に流れる電流を検出することで、ポンプ室内の気泡の有無を判定する。こうすれば、気泡を検出するための装置を別途設ける必要が無いので、送液ポンプを小型化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】パルス流噴射と連続流噴射とを切替え可能な流体噴射装置の制御方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置の制御方法は、流体室と前記流体室の容積を変更する容積変更手段とを有し、流体噴射開口部から流体をパルス流または連続流として噴射させる脈流発生部と、前記脈流発生部に所定の圧力で流体を供給する流体供給手段と、パルス流噴射と連続流噴射とを選択的に切り替える噴射指令切替え手段と、が備えられる流体噴射装置の制御方法であって、前記容積変更手段を駆動し流体を脈流に変換してパルス状に噴射させるパルス流噴射と、前記容積変更手段を停止し、パルス流噴射の場合よりも前記流体供給手段からの流体供給圧力を高めて流体を連続流として噴射させる連続流噴射と、に前記噴射指令切替え手段により選択的に切替える。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの取付作業が容易で、コストが低廉な流量調整装置を提供することである。
【解決手段】ダイヤフラム及びケース体を具備する流量調整装置であって、前記ダイヤフラムは、その端部に、ｏリング部を具備し、前記ケース体は、その内壁部に、前記ｏリング部が嵌合する凹部を具備し、前記凹部に前記ｏリング部が嵌合され、前記ダイヤフラムと前記ケース体内壁とによって室が構成されてなり、前記ケース体は、前記室に対する流体の供給・排出を行う為の孔を具備する。 （もっと読む）