【課題】薬液の注入不良を防止することが可能な薬液注入装置を提供すること。
【解決手段】薬液注入装置１は、薬液槽１０に貯留された薬液を本管１００に流れる水に注入するダイヤフラムポンプ１１と、ダイヤフラムポンプ１１により本管１００に注入される薬液の流量を検出する第１流量センサ１４と、本管１００を流れる水の流量を検出する第２流量センサ１５と、第１流量センサ１４及び第２流量センサ１５により検出された流量から、水に注入された薬液の濃度を算出するとともに、目標の薬液の濃度とするために、ダイヤフラムポンプ１１から注入される薬液の量を制御する制御装置１８と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】ポンプ装置の種々の密閉空間内に生じ得る圧力上昇を補償するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、チャンバの容量を調整してチャンバ内の圧力上昇を補償するようにポンプ装置のポンプ手段を動作させることによって、ポンプ装置のチャンバ内の圧力上昇を補償することが可能である。より具体的には、一実施形態では、分配チャンバ内の流体に対する不要な圧力上昇を補償するために、ピストンを戻すように分配モータを逆回転して、分配チャンバ内のあらゆる圧力上昇を補償することが可能である。 （もっと読む）

【課題】噴射する流体に触れる部品を減らし、再利用する場合の洗浄の煩雑さを解消し、廃却する場合は廃却する部品コストを削減する構造の流体噴射装置を提供する。
【解決手段】流体噴射装置は、圧力を発生させる圧力発生部２０と、圧力伝播媒体２０８を介して圧力を伝播させる圧力伝播管２０３と、圧力伝播管２０３で伝播された圧力によって容積が変更可能な流体室２０４と、流体室２０４に流体を供給する流体供給部２０５と、流体室２０４に連通し、流体を噴射する噴射管２０６と、圧力伝播管２０３と流体室２０４との間を区画し、圧力伝播管２０３で伝播された圧力に応じて流体室２０４の容積を変更させる隔壁２１０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】効率的に流体を流動可能なポンプを実現する。
【解決手段】ポンプ１０は、圧電素子４０及びダイアフラム５０からなる容積変更手段の駆動により容積が変更可能な流体室６０と、流体室６０に流体を流入させる入口流路３２と、流体室６０から流体を流出させる出口流路３４と、流体室６０と入口流路３２との間に設けられる逆止弁７０と、入口流路３２に設けられる弾性壁３５と、を有し、容積変更手段の駆動周波数ｆａと、弾性壁３５の振動周波数ｆｂとが、ｆａ＝ｆｂである。このような構成のポンプ１０は、流体を効率に流動させることができる。 （もっと読む）

【課題】低減された形状要因、緩徐な流体操作性、および流体使用量を減らしおよび信頼性を向上させる種々の特徴を有する多段式ポンプを提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、形状要因を低減し、また信頼性および有用性を向上させる特徴を有するポンプを提供する。さらに、本発明の実施形態は、緩徐な流体操作特性のための特徴を提供する。本発明の実施形態は、モータ駆動の送液ステージポンプおよびモータ駆動の分注ステージポンプを有するポンプを含み得る。送液ステージモータおよび送液ステージモータは、各種のモータを含むことができ、またポンプは、回転ダイヤフラムポンプまたは他のポンプであってもよい。一実施形態によると、ポンプチャンバを画定する分注ブロックおよび種々の流通路は、単体の材料から形成することができる。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたってダイアフラムが金属製ダイアフラム被装着部材から剥離することなく安定的固定状態を維持し、ダイアフラムの厚みを厳密管理無用とするダイアフラム装着構造体及びダイアフラム装着方法、並びにダイアフラム装着構造体を備えて成るダイアフラムカセット及びそのカセットを装着したダイアフラムポンプを提供すること。
【解決手段】ダイアフラム被装着部材のフランジ部に形成された蟻溝にはめ込まれたＰＦＡ又はＦＥＰ製の環状体とＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＶＤＦ、ＥＣＴＦＥ又はＰＣＴＦＥ製のダイアフラム本体とを備え、かつ溶着により一体化されたダイアフラムを有するダイアフラム装着構造体、ダイアフラムをダイアフラム被装着部材に装着するダイアフラム装着方法、ダイアフラム装着構造体を備えるダイアフラムカセット、そのダイアフラムカセットを備えるダイアフラムポンプ。 （もっと読む）

【課題】プランジャが後退してストッパに衝突することにより発生する騒音をプランジャの後退距離を不安定化することなく低減できるようにする。
【解決手段】ソレノイド１４に通電することによりプランジャ１６を戻しバネ４４の付勢力に抗して前進させてダイヤフラム１８を押し出し、通電を停止することによりプランジャ１６を戻しバネ４４の付勢力によって後退させてダイヤフラム１８を戻すように構成されたソレノイド駆動式のダイヤフラムポンプにおいて、戻しバネ４４の付勢力によって後退されるプランジャ１６を当接させて停止させるストッパ２２と、プランジャ１６とストッパ２２との間に介在され、当接時における衝撃を吸収する弾性部材６３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプ及び冷却システムにおいて、低消費電力化を図ること。
【解決手段】ポンプ室２０と、一方の主面１２ｘがポンプ室２０の内面を画定する弾性変形可能なダイヤフラム１２と、低温時にダイヤフラム１２の他方の主面１２ｙを押圧し、高温時にダイヤフラム１２から離れる熱変形部材１７とを備え、ポンプ室２０に加熱された流体Ｃが流入したときに、ダイヤフラム１２を押圧している熱変形部材１７が流体Ｃの熱により変形してダイヤフラム１２から離れ、ポンプ室２０の容積が拡大し、ダイヤフラム１２から離れた熱変形部材１７が流体Ｃの温度よりも冷えたときに、熱変形部材１７が変形してダイヤフラム１２の他方の主面１２ｙを押圧し、ポンプ室２０の容積が縮小して、ポンプ室２０の容積が拡大と縮小とを繰り返すことにより、流体Ｃのポンプ室２０への流入と流出とが繰り返されるマイクロポンプによる。 （もっと読む）

【課題】逆止弁を使用せずに流体を輸送でき、構造が簡単で、所望の流量を得ることが可能な圧電マイクロポンプを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム２０を間にしてポンプ室１５の外周部と対向するポンプ本体１０の部位に、ダイヤフラムと接する第１壁部１３ｂが形成され、この壁部と接するダイヤフラムの部位に第１開口部２１ａが設けられ、ポンプ本体の側壁であって、ダイヤフラムのポンプ室側の側面と接する第２壁部１２ｂに第２開口部１２ｃが設けられる。圧電素子の振動に伴うダイヤフラムの屈曲変位によって、第１開口部及び第２開口部を交互に開き、一方の開口部から流体を吸い込み、他方の開口部から流体を排出する。特に、ダイヤフラムを３次共振モードで駆動すると、最大流量が得られる。 （もっと読む）

【課題】効率よくスムーズに流体を排出することができる流体噴射装置を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１は、圧力室４０と、径方向に二以上の任意の整数に分割された内部電極を有する円柱形状の積層型圧電素子１０と、積層型圧電素子１０の圧力室４０側に密着固定されるダイアフラム３０と、最も内側にある内部電極１１ｃと対向する位置に前記圧力室４０を開口する出口孔６０と、を有し、積層型圧電素子１０を、内部電極の形成領域の一つ一つを独立して外側から内側方向に向かって時間差を有して順々に変位させ、圧力室４０の容積をダイアフラム３０により外側から内側に向かって順々に縮小していき、出口孔６０から流体を送出し、流体噴射開口部からパルス状に高速噴射する。 （もっと読む）