【課題】真空案内通路を開閉するダイヤフラム弁の耐久性を向上させる。
【解決手段】ハウジング本体２には、流体案内通路８の負圧側開口部９と真空案内通路１６の開口部１７とに連通する負圧弁室２１をハウジング本体２とにより形成し負圧側開口部９を開閉する負圧ダイヤフラム弁２０が装着されている。負圧ダイヤフラム弁２０は負圧側開口部９にほぼ同心状となって負圧側アクチュエータ２５に固定される弁体部２０ａと、ハウジング本体２に固定される外周部２０ｂと、弁体部２０ａと外周部２０ｂとの間に設けられ開閉時に弾性変形するダイヤフラム部２０ｃとにより形成される。ダイヤフラム部２０ｃには真空案内通路１６側に向けて突出した湾曲部２０ｄが形成される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】単一物の二重膜ダイヤフラムが開示されている。二重膜ダイヤフラムは、中央部分３１２により共に接合された上方ダイヤフラム膜３０８及び下方ダイヤフラム膜３１０を有している。上方ダイヤフラム膜３０８は、ダイヤフラムが第一の位置にあるとき、頂部密封面２２２に対して密封する形態とされている。下方ダイヤフラム膜３１０は、ダイヤフラムが第二の位置にあるとき、底部密封面２２４に対して密封する形態とされている。上縁部３１８は、上方ダイヤフラム膜３０８に装着することができ、上縁部３１８は、上方ダイヤフラム膜３０８を弁内に保持する形態とされる。下縁部３２０は、下方ダイヤフラム膜３１０に装着することができ、この場合、下縁部３２０は、下方ダイヤフラム膜３２０を弁内に保持する形態とされる。ダイヤフラムは、弾性材料から出来ており、また、ダイヤフラムを弁内の不作動位置に保持するばね力を発生させるような態様の形状とされている。
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【課題】
【解決手段】組み立てる間、ダイヤフラムにばね荷重を加え、ダイヤフラムに対する不作動位置を提供する形状を有するダイヤフラム膜２１２が開示されている。ダイヤフラム膜２１２は弾性材料にて出来ている。組み立てる間、ダイヤフラムにばね荷重が加えられ、ダイヤフラムを不作動位置に戻す力を提供する。
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【課題】
【解決手段】ロッカ型ダイヤフラム弁が開示されている。ダイヤフラム弁におけるダイヤフラム４２８は、非対称であり、ダイヤフラムの行程はダイヤフラムの中心から偏倚されている。ダイヤフラムが作用する２つの密封面３１８、３２０は、互いにある角度を成す２つの平面を形成する。ダイヤフラム４２８は、単一物として製造することができる。ダイヤフラム４２８は、弾性材料にて製造することができ、また、ダイヤフラムを弁内の不作動位置に保持するばね力を形成するような態様にて形状が設定される。
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【課題】流入する流体に異物が混入している場合でも確実に流体をシールし、コンパクトな構成ながら開閉ストロークを大きくでき大流量の流体を流せるダイヤフラム弁の提供。
【解決手段】本体（３）は流体流入路、流体流出路（２３、２４）と流体流入路の下流側の開口部（２１）に連続して形成された弁室（２０）を有し、開口部の外周に弁座部（２５）が形成されている。ダイヤフラム（１）はその裏側に取り付けられ駆動部材（３４）で往復動され弁座部に圧接または離間され、駆動部材の先端に接続される厚肉の中央部（７）と、その径方向外側に順次延設される環状の中間部（８）、外側部（１０）を含み、中間部の外周位置において環状のシール部（９）が弁座部に向かって突出し、外側部の外周縁には本体に嵌合される環状嵌合部（１１）を有する。ダイヤフラムの裏側には弁閉時にダイヤフラムのシール部を弁座部に押圧する押圧部材（２）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】基布を不要とすることができる止水弁用ダイヤフラムパッキンを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム式止水弁の弁胴部側に固定される固定部と、この固定部の内周側に形成された折り返し形状の可撓部と、この可撓部の内周側に形成された可動部とからなる止水弁用ダイヤフラムパッキンは、合成ゴムにより一体成形されている。ダイヤフラムパッキンは、可撓部の弾性変形により固定部に対してその軸線方向に可動部を相対変位させるとともにその相対変位位置に応じた弾性反力を発生する。可動部の相対変位位置がダイヤフラム式止水弁の弁閉位置に対応する最小変位位置のときの弾性反力は、０．４５Ｎ以上かつ１．４Ｎ以下の範囲内の大きさとされている。また、相対変位位置が最小変位位置以外の相対変位位置のときに発生する弾性反力は、最小変位位置のときに発生する弾性反力の０．４３倍以上かつ２．１０倍以下の比率範囲内の大きさとされている。 （もっと読む）

プラスティック製のマイクロ流体構造体は、実質的に硬いダイアフラムを有し、このダイアフラムは、基板の表面に対抗して載置された弛緩状態と、基板の表面から離れるように移動した作動状態との間で作動する。明細書の記載から明らかなように、ダイアフラムとともに形成されたマイクロ流体構造体は、簡便に製造され、バルブやポンプなどの構成部品として容易に作製することができる。
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【課題】小型化を図るのに有利なダイヤフラム式制御弁を提供する。
【解決手段】プランジャー３はダイヤフラム４の内周部４４の片面に対面する第１挟持面７１をもつ。弁体２はダイヤフラム４の内周部４４の他の片面に対面する第２挟持面７２をもつ。ボディ１は、プランジャー３の外径よりも小さな内径をもつと共にダイヤフラム４の外周部４３の厚み方向の片面に対面する第３挟持面７３を有するホルダ部材８と、ホルダ部材８に対向するダイヤフラム４の外周部４３の厚み方向の他の片面に対面する第４挟持面７４とをもつ。ダイヤフラム４の内周部４４は、プランジャー３の第１挟持面７１と弁体２の第２挟持面７２とで挟持されている。ダイヤフラム４の外周部４３は、ホルダ部材８の第３挟持面７３とボディ１の第４挟持面７４とで挟持されている。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの特性を妨げることなく簡易な構成によってダイヤフラムの膜部の絶縁破壊を防止することができる新規な流体機器を提供する。
【解決手段】ボディ本体１１内に形成された流体を流通させるための流体流路２０と、該流体流路２０内に配置された少なくとも一以上のダイヤフラム４０，５０とを備えた流体機器１０において、前記ダイヤフラム４０，５０の膜部４１，５１近傍に耐蝕性を有する導電性部材４５，５５が前記流体流路２０側に貫通して設置され、前記ボディ本体１１には前記導電性部材４５，５５をアースするアース手段が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ダイレクトタッチ型のメタルダイヤフラム弁において、適宜の流量係数Ｃｖを保持した状態下でバルブの耐久性即ち保証のできるバルブの連続開閉作動回数を大幅に図化させると共に、弁座の経時変形を押えて前記Ｃｖ値の経時変動をより少なくする。
【解決手段】 ダイレクトタッチ型の金属ダイヤフラム弁において、前記メタルダイヤフラムを複数枚のステンレス鋼薄板とニッケル・コバルト合金薄板との積層体より成り且つ中央部を上方へ膨出させた円形の逆皿形に形成すると共に、前記メタルダイヤフラムの最大膨出高さΔｈの５５〜７０％の距離をバルブの最大バルブストロークに規制する。 （もっと読む）