【課題】エラストマーバルブの構造体製造方法を提供する。
【解決手段】微細製作モールドの頂部上で第一エラストマー層を形成する工程であって、該微細製作モールドが、該第一エラストマー層２０の底部表面に沿って延びる第一凹部を形成する第一隆起突出部を有する、工程；第二エラストマー層２２を微細製作モールドの頂部上に形成する工程であって、該微細製作モールドが、該第二エラストマー層２２の底部表面に沿って延びる、第二凹部を形成する第二隆起突出部を有する工程；該第二エラストマー層２２の底部表面を、該第一エラストマー層２２の頂部表面上へ結合し、その結果、制御チャネルが、該第一および第二エラストマー層２０の間の第二凹部中に形成される工程；および平坦基板の頂部上の該第一エラストマー層を位置決めし、その結果、フローチャネル３２が該第一エラストマー層２２と該平坦基板との間の該第一凹部中に形成される工程、を包む。 （もっと読む）

【課題】流体通路等の汚染を抑制しつつ、ダイアフラムの帯電による絶縁破壊を好適に抑制する。
【解決手段】液体制御弁１０において、ピストンロッド１６の下端部には、フッ素樹脂等の合成樹脂（絶縁材料）よりなるダイアフラム弁体２６が連結されている。ダイアフラム弁体２６は、ピストンロッド１６に連結されるボス部２６ａと、シリンダボディ１２及び流路ボディ１４に狭持される周縁部２６ｂと、ボス部２６ａ及び周縁部２６ｂの間に形成されるダイアフラム膜部２６ｃとを有する。ダイアフラム弁体２６の非接液面側には、その全面にわたって導電層４１が形成されている。導電層４１は、相対的に高抵抗である高抵抗層と、その高抵抗層よりも低抵抗の低抵抗層とを積層して構成されている。 （もっと読む）

【課題】高温流体制御時でも安定したシールを行う流体制御弁を提供すること。
【解決手段】入力ポート１１と出力ポート１２とに連通する開口部１４を備える樹脂製弁本体２と、前記開口部１４の内壁に設けられた弁座１５と、前記樹脂製弁本体２の上面に連結される樹脂製弁上体３と、前記樹脂製弁本体２と前記樹脂製弁上体３との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体４とを備える流体制御弁１において、前記樹脂製弁本体２は、前記開口部１４の外側に環状溝１６が形成されており、前記ダイアフラム弁体４は、外縁に沿って肉厚に設けられた周縁部４ｃを含み、前記ダイアフラム弁体４より硬い材料を環状に形成したリング体３５が、前記周縁部４ｃに装着されている。 （もっと読む）

【課題】弁体が開く際の応答性の向上を図ったバルブ及び弁構造を提供する。
【解決手段】一方の領域Ｋ１の他方の領域Ｋ２に対する差圧が大きくなると弁体１４が開いて一方の領域Ｋ１の圧力を他方の領域Ｋ２に逃し、差圧が小さくなると弁体１４が閉じるバルブ１０において、隔壁２０に設けられた取付孔２１に取り付けられる軸部１１と、他方の領域Ｋ２側に配置され、かつ隔壁２０の表面における取付孔２１の周囲に設けられた少なくとも一つの圧力逃し孔２２の全てを取り囲む位置に密着することで、一方の領域Ｋ１と他方の領域Ｋ２との間を遮る傘形の弁体１４と、を備え、弁体１４における隔壁２０に対向する側の面には、隔壁２０の表面に向かって突出する凸部１５が設けられており、かつこの凸部１５は弁体１４が閉じた際に圧力逃し孔２２の開口部全体を塞ぐことなく該開口部上を部分的に通過する位置に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属ダイアフラムのリフト量のバラツキを減少させた流体制御弁の提供。
【解決手段】円形金属薄板を複数枚重ね、円形金属薄板を、弁座部１５と当接離間させて弁の開閉を行う金属ダイアフラム１８として用いる流体制御弁１０において、円形金属薄板である第１金属薄板１８ａと第２金属薄板１８ｂとが反りＷを揃えて重ねられ、金属ダイアフラム１８として用いることで、円形金属板の有する圧延異方性による反りＷの影響による金属ダイアフラム１８のリフト量のバラツキを減少させる。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータ１６が縮む時に圧電素子に掛かる引っ張り力を緩和し、高温環境下に於いても安定した流量制御を行えるようにする。
【解決手段】 弁座８ｄを有するボディ８と、弁座８ｄに当離座する金属ダイヤフラム９と、ボディ８側に昇降自在に支持されたアクチュエータボックス１３と、ボディ８側に固定された割りベース１１と、アクチュエータボックス１３を下方へ押圧附勢して金属ダイヤフラム９を弁座８ｄへ当座させる皿バネ１５と、アクチュエータボックス１３内に収容され、電圧の印加により上方へ伸長してアクチュエータボックス１３を皿バネ１５の弾性力に抗して押し上げる圧電アクチュエータ１６とから成る圧電素子駆動式制御弁１に於いて、割りベース１１と圧電アクチュエータ１６との間に、圧電アクチュエータ１６の圧電素子に常時圧縮力を加える予圧機構２０を介設する。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムの状態を監視する方法および装置を提供する。
【解決手段】
弁箱１０５と、弁箱を貫通する流路とを備えており、流路は、入口１１０と出口１１５とを有しており、この例示の流体制御デバイスは、流路を流れる流体の流れを制御するために流体制御デバイス内に設けられたダイヤフラム１３５と、ダイヤフラムの摩耗に関する状態を監視するためにダイヤフラムに結合されたセンサ１５０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高温環境下での、メタルダイヤフラムと弁座との間のギャップを一定に保持し、原料ガスを安定して供給することができるメタルダイヤフラム弁を提供すること。
【解決手段】弁棒１６の押圧によって弁座１４に接触し、弁棒１６の押圧解除によって原形状に弾性復帰することで、弁開閉を行うメタルダイヤフラム１５を、時効硬化熱処理によってビッカース硬度がＨｖ５００以上にした。これにより、高温環境下であっても、メタルダイヤフラム１５の反力（弾性力）の低下や熱膨張量が抑えられ、メタルダイヤフラム１５と弁座１４とのギャップαが一定に保持されるので、原料ガスの供給が安定的に行われる。 （もっと読む）

本発明に従ったロッカ弁機構１２５が提供される。該ロッカ弁機構１２５は、複数のポート１１３−１１５を含むポート部分１１０と、第一のプランジャ１３０と、該第一のプランジャ１３０に抗して作用し且つ該第一のプランジャ１３０に対して実質的に平行に動く第二のプランジャ１３１とを含む。上記ロッカ弁機構１２５は、第三のポート１１５をブロックする第一の位置に向けて偏倚され、また、第一のポート１１３をブロックする第二の位置まで作動される形態とされている。 （もっと読む）

本発明は、支持体層（２）の表面（２ａ）の下方に該表面（２ａ）側から空洞（３，３ａ）を形成することによって、振動性のダイヤフラム（４，４ａ）を前記支持体層（２）の前記表面（２ａ）に製造するステップと、中間層（６）により前記支持体層（２）を覆うステップと、前記中間層（６）を構造化するステップと、マイクロメカニカルモジュール（１）を閉鎖するカバー層（１１）により前記中間層（６）を覆うステップとを有する、流体流を制御するためのマイクロメカニカルモジュール（１）の製造方法に関する。本方法においては、前記カバー層（１１）内に形成されている弁開口部（１２，２２）を閉鎖および／または包囲する流体弁（１４，１７）のシールエレメント（８，１８）が前記ダイヤフラム（４，４ａ）に生じるように前記中間層（６）が構造化される。
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