【課題】ダイヤフラム弁装置における弁本体部を板厚に制約を受けることなく製作し、弁本体部すなわちダイヤフラム弁装置の軽量化、製造コストの低減化、研磨作業の軽減化による製造環境の改善。
【解決手段】ダイヤフラム３を弁本体部２へ膨出変位させ、弁本体部２内部を流動する流体の流通開口面積を制御するダイヤフラム弁装置１において、弁本体部２が、ダイヤフラム３が密着する着座部７，２６，２８を有する主体部８と、流入出の両フェルール９，１０と、ダイヤフラム３を支持するフランジ１１との四部品を具備し、かつ、これら四部品を金属の板材又はフープ材１１，１２から打ち抜き加工又はレーザ加工で得られたブランク１４，２３を形成し、該ブランクをプレス成型して得られた主体部８に両フェルール９，１０およびフランジ１１を溶接結合することにより弁本体部２を構成。 （もっと読む）

本発明は、液体をマイクロフルイディックネットワーク内で計量供給するマイクロフルイディック器具に関する。マイクロフルイディックチャネル又はチャンバが、基板キャリヤの上方に設けられたフィルム中への適当な構造の導入により少なくとも部分的に形成され、その結果、ネットワークを通る流体の流れの少なくとも幾分かが基板の平面の上方で起こるようになる。安定したチャネル構造又はチャンバ構造をフィルム中に形成するために、フィルムを基板に結合したときにフィルム材料の粘性流れによって材料のウェッジを非取り付け領域と取り付け領域との間の縁部ゾーンに形成することが計画され、このウェッジは、チャンバ壁と基板との間の移行部となると共にチャンバ壁を基板の平面の上方に持ち上げる。完成状態のマイクロフルイディック構造体を作製する一実施形態では、平べったい平面状のフィルムを平べったいシート状基板上に積層する。積層の際、少なくとも１つの凹部又は開口部を備えたマスクを圧力下で且つ／或いは熱の作用下でフィルムに押し付けると共に基板に押し付ける。それにより、フィルムは、凹部又は開口部の付近へのフィルム及び／又は基板媒体の粘性流れが生じる温度になり、その結果、材料のウェッジが形成されると共にフィルムが凹部の付近で膨出してチャンバを形成するようになる。本発明は更に、マイクロフルイディックネットワーク内で少なくとも１種類の液体を計量する方法に関し、この方法では、フィルムを作動させることによって毛管作用停止部に打ち勝ち、フィルムは、毛管作用停止部を除去すると浸潤される。
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【課題】長期にわたって優れたシール性能を発揮することができるダイヤフラムバルブを提供する。ダイヤフラムバルブの閉状態において、処理流体配管を確実に閉塞することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】フッ素樹脂（ＰＴＦＥまたはＰＦＡ）製の弁座３０の先端部（ダイヤフラム２５に対向する端部）には環状のシール部材２０が配置されている。弁座３０の上面には、弁座３０の内面に連続する環状の段部４５が形成されており、その段部４５にシール部材２０が収容されている。シール部材２０は、フッ化ビニリデン系樹脂（ＦＫＭ）によって形成されており、比較的高い弾性および耐薬性を有している。流路の閉鎖状態で、ダイヤフラム２５と弁座３０との間にシール部材２０が密着状態で介装される。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムバルブの開動作を速くし、ダストの払い落としの際の衝撃力をより強くするとともに、閉動作も同様に速くすることにより、圧力空気の無駄な使用をなくすことができるダイヤフラムバルブを提供する。
【解決手段】圧力空気室１５ａと弁室１６ａとの間にダイヤフラム１３を設け、ダイヤフラム１３を介して弁座２３に対向するように配設した弁体２４と、弁室１６ａの圧力空気を排気する弁室排気弁１８とからなり、弁体２４の開閉により流路を制御するダイヤフラムバルブ１において、圧力空気室１５ａ側と弁室１６ａ側とを連通するバイパス流路１１を設けるとともに、バイパス流路１１に、ダイヤフラムバルブ１の開動作時に閉状態で、閉動作時に開状態となる均圧調整弁１２を設ける。 （もっと読む）

【課題】スティッキング現象の発生を抑制することで信頼性の高い動作を実現できるマイクロバルブを提供する。
【解決手段】半導体基板を用いて形成され、フレーム１１、弁体部１２、およびビーム１３を有する弁体基板１と、表面に開口する弁孔２１を有し、該弁孔２１に弁体部１２が一致するようにしてフレーム１１を表面に固定することにより弁体基板１が搭載される弁座基板２と、弁体基板１における弁座基板２側とは反対側の表面に搭載される第１基板３と、を具備する。弁体部１２と弁座基板２との互いの対向面の少なくとも一方の表面に、弁孔２１を弁体部１２で閉止した状態において流体リーク量が許容範囲に納まるように高さ設計され弁体部１２と弁座基板２とが固着するのを防止する複数の微小突起８を設けてある。 （もっと読む）

【課題】流体通路の汚染を抑制しつつ、膜部の帯電による絶縁破壊を抑制する。
【解決手段】液体制御弁１０において、フッ素樹脂からなる流路ボディ１４には液体が流通する液体通路３３，３４が形成されている。液体通路３３，３４の周囲の一部は、殻部３８によって形成されている。ヒケ防止のため流路ボディ１４に設けられた肉盗み部３７により、その殻部３８は外部に露出している。このように肉盗み部３７によって外部に露出した殻部３８の外面に、導電層４１が設けられている。導電層４１にはアース線Ｅ１とアース部材Ｅ２とが接続され、それを通じて通路内面に帯電した電子を放出する。 （もっと読む）

【課題】 製造装置に配設されたエアオペレートバルブの動作状態を確認すること。
【解決手段】 製造装置に配設されたエアオペレートバルブ１０の動作状態を確認するためのエアオペレートバルブ診断方法であって、エアオペレートバルブ１０を製造装置に設置して、エアオペレートバルブ１０の操作ポート７に操作流体を供給したとき、もしくは排気したときに、エアオペレートバルブ１０の排気ポート８から吸排出される流体の圧力を計測し、その圧力変化を記憶する第１工程と、エアオペレートバルブ１０が繰返し動作後に、エアオペレートバルブ１０の操作ポート７に操作流体を供給したときに、エアオペレートバルブ１０の排気ポート８から吸排出される流体の圧力を計測し、その圧力変化を記憶する第２工程と、第１工程で計測した圧力変化と、第２工程で計測した圧力変化とを比較して、エアオペレートバルブ１０の動作状態の変化を確認する第３工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】２つの空間の間で微小な圧力差が生じただけで開閉する応答性の良いバルブ、及びそのバルブを備えるインクカートリッジの提供。
【解決手段】インク室１００とバルブ収容室５４が奥壁５３によって区画されている。奥壁５３には、貫通孔２８が形成されている。逆止弁３０の弁体３１は、奥壁５３に密接される筒状の筒体３３を有している。この筒体３３の内部には、内壁３４が設けられている。内壁３４は、中心線４６と交差する方向に延出されており、断面が屈曲形状に形成されている。この内壁３４の中央に球状の蓋体３５が配設されている。また、内壁３４には、インクが流通可能な貫通孔４１が形成されている。内壁３４が可撓性を有しているので、蓋体３５が変位して貫通孔２８を閉塞する。 （もっと読む）

弁と共に使用されるダイヤフラム（１１９）は、外側中央部分を含み且つ外側部分から折曲部分（１１９ｃ）により偏位された中央部分（１１９ｂ）を有する本体（１１９ａ）を含む。中央部分は弁座の近傍に位置し、流体流に作用するために、ずれて弁座に係合する。本体は、弁により中央部分がずれている間、外側中央部分および折曲部分で実質的に変形し、弁座を過ぎて流体が流れる間、ダイヤフラムの振動を防ぐように、実質的に一方的に反応する。 （もっと読む）

圧力作動弁が第１膜１１０を含み、第１膜は、その表面の垂線に対して零ではないドラフト角度θで膜を貫いて延びるスリット１１２を有し、第１膜の材料は、スリットを閉状態に付勢し、その結果、第１膜にかかる流体圧力が閾値レベルより下であるときに、スリットは閉じたままであり、流体圧力が少なくとも閾値レベルであるときに、スリットの縁が互いに分離して流体を第１膜に流通させる。 （もっと読む）