【課題】 大きさにばらつきのあるウェハであっても、その回転中心のずれを測定し、このずれを高速に補正することにより、その平坦度を高速高精度で測定できるようにする。
【解決手段】 板材１４を保持しながら回転させ、その回転角度と外形とを測定して、板材１４の形状をもとに、この板材１４自体の中心からその回転中心までの位置ずれを算出する。板材１４を回転させたときに、この板材１４の面の方向に走査する変位センサによって、板材１４の回転中心を原点とする座標系についての複数の測定点において、変位センサから板材１４の表面までの距離または距離の変化を測定する。前記算出した位置ずれにより、変位センサによる測定点の位置データを、板材１４自体の中心を原点とする座標系に補正する。補正した位置データに基づいて、板材１４の表面における厚さむらおよび反りを算出する。 （もっと読む）

本発明の方法および装置は、プローブ分子を使用する標的分析物の検出および／または同定に関する。本発明の種々の態様において、プローブまたは分析物は1つ以上のカンチレバーに結合される。プローブが分析物に結合すると、カンチレバーが偏向し、検出ユニットによって検出される。カンチレバーを元の位置に戻すために対抗力を適用することができる。対抗力は磁気的、電気的または放射性のものであってもよい。検出ユニットおよび対抗力を発生する機序は、コンピュータなどの情報処理制御ユニットに機能的に接続してもよい。コンピュータは、偏向力と対抗力の均衡をとることによって、カンチレバーを一定の位置に維持するフィードバックループを調節することができる。試料中の分析物の濃度は、カンチレバーを一定の位置に維持するのに必要な対抗力の大きさから求めることができる。 （もっと読む）

タイヤ転がり面の粗さを決定する方法であって、表面上を転動中のタイヤの少なくとも１点の運動を表す第１の信号（Ｓａ）を提供する段階と；タイヤの前記転がり面の粗さを示す出力（ＯＵ_Ｌ）を提供するため第１の信号を処理する段階とを含む。

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本発明は、露光装置での使用を対象とするオブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法であって、表面を備えた厚さＴのオブジェクトをパターン生成装置のステージの上に配置するステップと、表面を多数の測定ポイントに分割するステップであって、隣接する２つの測定ポイントが所定の最大距離を越えない距離Ｐで間を隔てられているステップと、各測定ポイントにおける表面の勾配を決定するステップと、各測定ポイントのｘ−ｙ平面における二次元局部オフセットｄを勾配及びオブジェクトの厚さＴの関数として計算するステップと、前記表面に書き込むパターンを、二次元局部オフセットｄを使用して修正するステップとを含む方法に関する。本発明はまた、パターン生成装置、オブジェクトの表面の物理特性を測定するための方法及び装置に関する。
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【課題】 表面粗さ形状測定の測定条件が容易に設定できる測定条件設定装置を安価に提供する。
【解決手段】 作業者が、測定種別と算出規格を指定する入力手段２１と、該当する各種パラメータが表示される表示部と、その中から必要なパラメータを指定するとそのパラメータが設定されるパラメータ設定部２３と、その後ワークを測定（仮測定）すると、指定されたパラメータと測定データから算出されたパラメータ値とによってカットオフ値を自動設定するカットオフ値設定部２６とを設けた。 （もっと読む）

【課題】 印刷画像の高解像度化の要求に応えるトナー粒子の微小化が図られており、良好な帯電立上り性および流動性を有し、しかもクリーニング性にすぐれたトナー粒子およびその形状の測定方法を提供する。
【解決手段】 平均粒径６〜１０μｍおよび平均円形度０．８５〜０．９８を有し、円形度が０．８５以下の粒子の含有率が１０重量％以下であることを特徴とするトナー粒子、および透明フラットセル２内にトナー粒子３を通過させ、通過中のトナー粒子をカメラ４で撮影し、えられた静止画像に撮像されたトナー粒子の大きさおよび形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の真直形状と移動案内面の真直形状及び移動時の縦揺れ量とを同時に高精度で測定する。
【解決手段】検出器取付台３と測定対象物１との何れか一方が案内面に沿って移動する前記検出器取付台に前記測定対象物との隔たり量を測定する３個の検出器4a，4b，4cを前記移動方向に間隔La及びLbで設置し、検出器取付台若しくは測定対象物を移動して所定移動量Ｐ毎に前記３個の検出器により測定対象物を一斉測定し、測定開始位置から測定終了位置までの間に得られたＮ組のデータ列から演算によって検出器取付台あるいは測定対象物移動時の運動誤差の影響を受けることなく測定対象物の真直形状を求めるとともに、検出器取付間隔La及びLb、所定移動量Ｐ、前記検出器の測定値からなるデータ列の組数Ｎとの間にLa＝n1・Ｐ，Lb＝n2・Ｐ，La／（Ｎ・Ｐ）＝n4／n3，Lb／（Ｎ・Ｐ）＝n5／n3，n3≧Ｎ／２但し、n1，n2，n3，n4，n5：整数、n3とn4，n3とn5は共通の約数を持たない。なる関係が成立するようにLa，Lb，Ｐ，Ｎを設定する。 （もっと読む）

【目的】水中においてＡＣモードのＡＦＭ測定を行なえる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【構成】試料３２は水３０を入れた液体セル２８の底部に配置される。カンチレバー２４は自由端の探針２６が試料表面に正対するように配置される。カンチレバー２４は変位測定器１２の対物レンズ１４の軸方向に移動可能に支持されている。対物レンズ１４の周囲には、発振器２０から供給される信号に従って集束性の超音波を射出するリング状のトランスデューサー１８が設けられている。対物レンズ１４とトランスデューサー１８は測定光と超音波が同一点に集束するように配置されている。液体セル２８は、走査回路３６の信号を受けてｘｙ走査を行なうとともにサーボ回路３８の信号を受けてｚサーボ制御を行なう三次元アクチュエーター３４に固定されている。 （もっと読む）

【目的】カンチレバー先端の振動のみを高精度に検出することができるカンチレバーチップホルダーを提供する。
【構成】支持部１２と、その基端部が支持部１２によって支持された板材（即ちシム）１４と、この板材１４の先端部下面に設けられたカンチレバーチップ１６と、板材１４の先端部上面に設けられ、所定の電圧を印加することによって、板材１４の先端部を所定方向に振動させる振動部材１８と、支持部１２と板材１４との間に介在され、板材１４の先端部で発生した振動が支持部１２に伝達されないように、上記振動を減衰させる振動減衰素材２０とを備えている。 （もっと読む）