【課題】 試料表面の凹凸形状によらず、精度よく探針と試料表面とを近接または接触させることが可能な走査型プローブ顕微鏡及び走査方法を提供すること。
【解決手段】 試料表面Ｓに平行な２方向の走査及び試料表面Ｓの垂直方向の移動を試料表面Ｓに対して相対的に行う探針２と、探針２及び試料表面Ｓの距離に応じて変化する測定量を検出する検出手段４と、探針２が試料表面Ｓに近接または接触した時点における観測データを採取する観測手段６と、２方向の走査及び垂直方向の移動を制御する制御手段５とを備え、探針２を試料表面Ｓに対して相対的に所定距離で接近離間させる接近離間駆動部２４を備え、検出手段４が、接近離間駆動部２４による接近時と離間時とにおける前記測定量の変化率を検出し、該測定量の変化率が、予め設定された閾値を超えるときに、観測手段６が前記観測データを採取する。 （もっと読む）

【課題】 流体から受けるダンピング効果等の影響を極力低減して、試料を高精度に観察すること。
【解決手段】 先鋭化された探針２０を、所定の周波数及び振幅で振動させた状態で試料上を走査されるプローブ２であって、先端に探針２０が設けられ、基端側から先端側に向けて一方向に延出して形成されたカンチレバー２１と、該カンチレバー２１の基端側を、先端側が自由端となるように片持ち状態で固定する本体部２２とを備え、カンチレバー２１が、試料表面に対向する一方の面と該一方の面の逆側に配された他方の面とのうち少なくともどちらかの面に、長手方向に沿って凸状に形成された凸条部２３を有しているプローブ２及び該プローブ２を有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】 計測対象物の表面状態を精度よく計測できる表面状態計測方法、表面状態計測装置を実現する。
【解決手段】 計測対象物１と対向する複数のプローブ２を計測対象物１との相対位置と各プローブ２間の相対位置とをそれぞれ移動させる。計測対象物１および各プローブ２の間の物理現象から生じる検出信号を検出する。上記検出信号から計測対象物１の表面状態を計測する。 （もっと読む）

【課題】 測定データから測定装置の一定の走査方向にのみ特有に出現するノイズ成分を除去し、精度の高い測定データを得られる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡は、探針１３を有するカンチレバー１４と、試料１０に対する探針の位置を相対的に変化させる移動機構１１，１７と、所定物理量を検出する検出手段と、試料表面を測定する測定手段と、移動機構と測定手段の動作を制御する測定制御手段６０を備える。測定制御手段は、任意角度で交差する第１走査方向と第２走査方向を設定する走査方向設定手段６１、第１走査方向と第２走査方向のそれぞれで探針を走査移動して試料表面を測定し、測定データを得る測定実行手段６２、第１ラインデータと第２ラインデータとの間のデータ差を演算する第１減算手段６３と、第１走査方向に係る測定データから上記データ差を減算する第２減算手段６４とを有する。 （もっと読む）

【課題】試料に対するより幅広い解析を行うことを可能とすること。
【解決手段】試料５上のＸＹ座標に対応させてＬＳＭ像とＳＰＭ像とをＣＰＵ１８により画像情報メモリ２２ａに記憶し、ＳＰＭ像のＺ座標位置情報ＤｚをＣＰＵ１８により高さ情報メモリ２２ｂに記憶し、ＣＰＵ１８によって高さ情報メモリ２２ｂからＳＰＭ像のＺ座標位置情報Ｄｚを読み出すと共に、画像情報メモリ２２ａに記憶されたＬＳＭ像に含まれる輝度情報Ｄｐを抽出し、これらＺ座標位置情報Ｄｚと輝度情報Ｄｐとを合わせて試料５の三次元画像情報を作成して表示部２３に表示する。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡の試料台の上に試料の被観察部である中心部がプローブの深針に近接するように設置し、試料の両端部を対向する一対の把持具で把持し、対向位置にある一対の把持具が反対方向に移動可能であり、試料の被観察部である中心部が静止状態を保つように試料に歪みを与えることができる走査型プローブ顕微鏡用試料延伸ホルダーおよび該試料延伸ホルダーを用いた試料の表面状態の観察方法を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡に設置された試料１０を延伸させる試料延伸ホルダー１であって、試料１０の両端部を把持する一対の把持具９と、一対の把持具９を移動可能に支持する支持部材４と、対向位置にある一対の把持具９を互いに離間する方向に移動させる移動機構７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 超高真空中において試料に応力を印加しながらその表面構造の原子レベルの分解能でのその場観察を行うことができる超高真空走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 この出願の発明の超高真空走査型プローブ顕微鏡は、超高真空状態の真空槽内に、板状試料（２）の一端又は両端を支持する試料ホルダー（３）と、垂直方向の変位がナノスケールで制御され、板状試料（２）に対し応力を印加する応力印加機構（６）、（７）、（８）と、応力が印加された板状試料表面の状態を原子レベルの分解能でその場計測するプローブ（１）を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ベルト表面の変形を効率的にかつ精度良く検査する。
【解決手段】光学式の変位測定器１６が、プーリ１２，１４に巻き掛けられたベルト１０の表面の変位を測定する。変位測定器１６で測定された測定データは、ベルト１０の表面の変形量を算出する変形算出部２４に入力される。変形検出装置２０の記憶部２２には、プーリが回転した場合におけるプーリ表面の位置変位情報が予め記憶されている。測定データが入力されると、変形算出部２４は、記憶部２２からプーリ表面の位置変位情報を読み出し、これらの測定データとプーリ表面の位置変位情報とからベルト１０の表面の変形量を算出する。 （もっと読む）

【課題】 被測定物（ワーク）の重量により生じる測定誤差を軽減することが可能な真円度／円柱形状測定装置を提供する。
【解決手段】 真円度／円柱形状測定装置１０を、回転テーブル３０の回転軸が、ベース台２０を支える脚２１の上に位置するようにするか、又は隣接する脚（２１Ａ、２１Ｂ）同士を結ぶ直線上に位置するようにする。 （もっと読む）

【課題】 ピンチャック等のウエハチャックの平面度を、サブミクロンのごみの影響を受けずにナノメートルの超高精度に測定する。
【解決手段】 半導体ウエハ等をチャックするピンチャック１２１等の剣山状のピン１２２先端の包絡線形状を測定する平面度測定装置における測定用プローブ１３１として、先端面形状が、球状面１１と、球状面１１の外側の周囲に球状面１１と滑らかにつながるように形成されたテーパ面１２とを有する測定用プローブ１３１を備え、ピンチャック１２１等に作用する力が一定になるように測定用プローブ１３１に力を加えつつＺ軸方向にフィードバックしながら、ＸＹ方向に走査測定するようにした。 （もっと読む）