【課題】 カンチレバーを容易に交換することができ、かつ光学像の十分な鮮明度および解像度を確保することができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 保持機構４００はカンチレバー保持機構４００Ａおよびミラー保持機構４００Ｂから構成されている。カンチレバー保持機構４００Ａは保持機構保持部１１ｃの下部からＺ方向に延びるように設けられている。カンチレバー保持機構４００Ａは、その下端部においてカンチレバー１００を着脱可能に保持する。ミラー保持機構４００Ｂは側壁部１１Ａの内面１１ｘからＸ方向に延びるように設けられている。ミラー保持機構４００Ｂは、先端部においてミラー固定部材４５０を着脱可能に保持する。ミラー固定部材４５０にはミラー２５が固定されている。カンチレバー保持機構４００Ａとミラー保持機構４００Ｂとは互いに分離されている。 （もっと読む）

【課題】 操作性に優れたテーブル移動機構およびプローブ走査装置を提供する。
【解決手段】 プローブ走査装置１は、原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０を一体的に備える。原子間力顕微鏡１０は試料載置台３０を有する。試料載置台３０は、ＸＹ方向移動機構３０ａおよびＺ方向移動機構３０ｂを含む。ＸＹ方向移動機構３０ａの上部には、試料Ｍを載置するための第３の移動プレート３３０が設けられている。ＸＹ方向移動機構３０ａの側面側からＹ方向に延びるようにＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０が互いに平行に設けられている。使用者がＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０を回転操作することにより、第３の移動プレート３３０がＸ方向およびＹ方向に移動する。第３の移動プレート３３０のＸ方向およびＹ方向への移動時において、Ｘ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０はＸ方向およびＹ方向に移動しない。 （もっと読む）

【課題】 探針部分の振動振幅を微小にすることが可能である一方、カンチレバーの変位をある程度の大きさの振動振幅で検出することができ、かつ微細加工も可能な構成のカンチレバーおよびその利用を提供する。
【解決手段】 一方の端部１１が支持台１２に固定されており、もう一方の端部１３が自由端である片持ち梁構造のレバー部１０と、レバー部１０の自由端１３に力検出部１５と、変位を検出するための変位検出部２０と、を備えており、変位検出部２０は、力検出部１５と共振して振動する構造であり、力検出部１５を振動させた場合、変位検出部２０の振幅が力検出部１５の振幅に比べて大きくなる共振周波数を有するカンチレバー１００によれば、探針部分の振動振幅を微小にすることが可能である一方、カンチレバーの変位をある程度の大きさの振動振幅で検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 断面曲線から粗さ曲線や３次元表示の粗さ形状を抽出する過程で、演算回数を少なくし、処理時間を短縮すると共にエンド効果を無くする。
【解決手段】 断面曲線のデータを間引き率Dでダウンサンプリングして断面曲線の間引きデータを得てから、間引きデータにカットオフ波長λ'_c =λ_c/Dのガウシアンフィルタを適用してカットオフ波長λ_c以上の長波長成分を抽出し、断面曲線からカットオフ波長λ_c以上の長波長成分を減算して粗さ曲線を得る。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、走査プローブ顕微鏡で狭域の走査をする場合における、広域走査でのスキャナ駆動回路の持つノイズやドリフトが観察像の質を悪くしていることである。
【解決手段】探針と試料との間に作用する物理量を検出する走査形プローブ顕微鏡において、探針と試料を相対的に走査するスキャナと、前記スキャナの走査領域に対応した少なくとも２個のスキャナ駆動回路と、前記少なくとも２個のスキャナ駆動回路を切り替える切替手段と、を備えた走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】微生物を検出する方法において、微生物を迅速に、正確に、検出し、検体中の微生物の個数を計測する生物計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】顕微鏡蛍光原子間力微生物検出手段１６をもちいて、蛍光染色を必要としない顕微鏡観察手段３で観察した箇所と同じ箇所を観察できる機構をもつ原子間力顕微鏡観察手段５を用いて微生物の外形や表面形状を詳細に観察データを処理できるようにしたことと、蛍光染色を施し、蛍光観察手段１２により観察した箇所と同じ位置を観察できる機構をもつ原子間力顕微鏡観察手段５を用いて計測しその計測データを処理できるようにして微生物を検出できるようにしたことにより、検体中の微生物を迅速に正確に検出し、微生物の個数を精度よく計測する微生物計測装置が得られる。 （もっと読む）

【課題】 探針の高さ方向の位置制御で試料表面に形成された凹凸による段差の高さを制限して走査時間を短縮し、試料表面における穴等の形・大きさ・寸法・位置等の情報を得る走査型プローブ顕微鏡の探針走査方法を提供する。
【解決手段】 この探針走査方法は、試料１１の表面１１ａをなぞって探針１５を走査し、表面の凹凸形状等の情報を得る走査型プローブ顕微鏡の探針走査方法であって、試料表面での探針の走査範囲での探針の高さ位置の制御で、探針の最低位置を、最高の高さ位置を基準にして当該最高の高さ位置よりも低い任意の下限位置に制限する方法である。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光源とカンチレバーにおける反射部の相対的な位置関係に基づく検出精度の低下を防止できる走査型プローブ顕微鏡及びカンチレバーを得る。
【解決手段】 半導体レーザの光源を構成する発光部５２の半導体層５６から材質的、構造的に連続してカンチレバー５０のレバー部６８を形成し、更に、レバー部６８の先端に材質的、構造的に連続して探針部７４と反射部７０を形成する。これにより、反射部７０と発光部５２の相対的な位置関係が変化することがない。このため、反射部７０と発光部５２の相対的な位置関係に基づく検出精度の低下を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡および光学顕微鏡を有するコンパクト化された顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 顕微鏡装置１は、原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０を備える。光学顕微鏡２０の電動ズーム鏡筒２３は、試料載置台３０の側方においてＺ軸方向に延びるように配置され、光軸変換ミラーは電動ズーム鏡筒２３の上端部に配置されている。光学顕微鏡２０のレンズ格納部２１は、光軸変換部２２に取り付けられ、光軸変換部２２は、電動ズーム鏡筒２３の上端部に取り付けられている。電動ズーム鏡筒２３の下端部にＣＣＤカメラ２４が設けられている。試料Ｍからの反射光はミラーにより反射され、レンズ格納部２１のレンズを通して光軸変換部２２の光軸変換ミラーにより反射される。光軸変換ミラーによる反射光は、電動ズーム鏡筒２３を通してＣＣＤカメラ２４に取り込まれる。 （もっと読む）

【課題】回転体の回転軸受け部の外径の変動と、回転体の測定部の外径の変動と、測定時の測定開始時点からの回転角度とを同時に計測し演算処理を活用することにより、高精度な振れ測定を行うことができ、振れによる悪影響を容易に評価可能にする。
【解決手段】胴部１ｂとジャーナル部１ａとを有する現像ローラ１の振れを測定する装置に関する。現像ローラ１のジャーナル部１ａをチャックするエアーチャック２６と、現像ローラ１をエアーチャック２６を介して回転させるためのモータ２３及びギヤ２３ａと、現像ローラ１の回転角度を検出するロータリエンコード２４と、胴部１ｂの外周の測定基準からの変化量情報及びジャーナル部１ａの外周の測定基準からの変化量情報に基づいて、振れ量を演算処理するコンピュータ２５とを備えている。 （もっと読む）