【課題】 操業に支障を来すことなく、且つ、問題となる曲がりの発生を見逃すことなく検出可能な管材の曲がり検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る管材の曲がり検出方法を実施するための曲がり検出装置１００は、継目無鋼管の製造ラインに配置された定径圧延機Ｍ１及び／又は曲がり矯正機Ｍ２の出側に配設され、管材Ｐの外径を複数の径方向について測定するための外径計１ａ、１ｂと、前記外径計による各径方向についての各外径測定位置に基づいて管材の中心位置を算出し、管材の軸方向に沿った前記中心位置の変動量に基づいて管材の曲がりを検出する演算装置２とを備える。 （もっと読む）

【課題】漏れ信号の少ないＤＡコンバータを提供する。
【解決手段】抵抗値Ｒの抵抗１８ａ，１８ｂ，１８ｃと抵抗値２Ｒの抵抗１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅから成り、基準電圧Ｖｒｅｆを分割する様に成したＲ−２Ｒ型ラダー抵抗網、入力信号であるデジタル信号の各ビット毎に設けられ、抵抗値２Ｒ抵抗の抵抗値Ｒ抵抗と接続されていない端部をアース若しくは演算増幅器ＯＡの反転入力端子の何れかに切り換える切換スイッチを備え、切換スイッチは２段構えとし、１段目の切換スイッチは、前記抵抗値２Ｒ抵抗の抵抗値Ｒ抵抗と接続されていない端部をアース若しくは２段目の切換スイッチの何れかに切り換える様にし、２段目の切換スイッチはアース若しくは演算増幅器ＯＡの反転入力端子の何れかに切り換える様に成す。 （もっと読む）

【課題】 照明光等の、測定用光以外の光がノイズとなって観測に支障をきたすことを防止できる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 試料表面に平行な２方向の走査及び該試料表面の垂直方向の移動を該試料表面に対して相対的に行う探針と、先端に前記探針が設けられたカンチレバーと、カンチレバーへの測定用光を照射する測定用光照射手段と、測定用光の照射されたカンチレバーからの反射光を検出する反射光検出手段と、反射光検出手段の検出結果に基づいて、探針が試料表面に近接または接触した時点でのカンチレバーのたわみ量を観測データとして、採取する観測手段と、２方向の走査及び垂直方向の移動を制御する移動制御手段とを備える走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバーに測定用光以外の光が照射されたときには、移動制御手段による移動、および、観測手段による反射光に基づく観測データの採取を、それぞれ禁止する処理を行う禁止手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 検査の信頼性が向上し、欠陥有無判定の自動化ができ、更に、検査の高速化が可能な検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】 検査対象であるカム７の回転方向周表面を検査する検査装置１は、カム７の表面３次元情報を取得するセンサを備えたセンサヘッド１９を有し、センサがカム７の回転に伴いカム７面に対し常に垂直となるように、Ｚ軸上下駆動モータ１６を介しセンサヘッド１９が上下動できるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 試料表面の微細な溝等の側壁等を測定するとき、探針の磨耗が小さく、測定信頼性が高く、探針走査の移動制御を簡単に行うことができ、試料表面を短時間に走査できる走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡の測定方法は、予め設定された探針移動路について、ＸＹＺ微動機構２９等によって、試料１２上でＺ方向に探針の位置を制御しながら探針２０を試料の表面に沿ってＸＹの両方向またはいずれか一方向に走査させる第１のステップと、第１ステップの間、測定部や変位検出部により試料の表面に係る測定情報を得る第２のステップと、第２のステップで取得した測定情報に基づいて、第２回目の走査における探針移動路と、この探針移動路上での試料表面に対する平行方向成分を含む測定を行う測定場所とを決定する第３のステップと、第２回目の走査に基づき平行方向成分を含む測定を行う第４のステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、効率的に平面度を求めることができる平面度測定方法と装置を提供する。
【解決手段】 互いに直交する方向の傾斜を検知する傾斜計１２と、傾斜計１２が取り付けられた本体１４と、本体１４の下面１４ａから突出した３点の測定子１５，１６，１７と、傾斜計１２により検知した傾斜を記憶しその傾斜の測定子間の距離から測定対象部位の変位を求めるコンピュータ等の演算手段とを備える。傾斜計１２は、傾斜により動く電極間の静電容量の変化を２方向同時に検知する。３点の測定子１５，１６，１７を測定対象面２０に載置し、測定子１５，１６，１７のうちの１点に対する他の２点の平面上での位置と傾斜を検知し、次に本体１４を移動させて、先に検知した２点のうちの少なくとも１点に測定子１６を合わせて、測定対象面２０の他の点の変位を検知する。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、マルチプローブ顕微鏡において、アプローチ時に試料に独立してバイアス電圧が印加できず、電流計測時に試料バイアスを切り離し、探針間の電流計測を行ことができなかったという点である。更にその場合、探針側での電流計測では変位電流の影響を軽減することができなかったという点である。
【解決手段】試料と探針との間に流れる電流を利用して前記試料の表面を観察する試料観察装置であって、前記試料に対向する少なくとも２個の前記探針と、前記試料を置載する試料台と、前記試料台にバイアス電流を印加する試料バイアス電流印加手段と、前記試料バイアス電流印加手段を前記試料台より電気的に切り離すスイッチと、を備え、前記探針が前記試料にアプローチするときには前記スイッチをＯＮとし、前記探針間の電気計測するときには前記スイッチをＯＦＦとする走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 試料を大気暴露させることなく、試料の設置から測定まで制御された環境下で試料の形状情報や物性情報を計測できる装置を提供すること。
【解決手段】 先端に微小な探針を有するカンチレバー６と、カンチレバー６を保持するためのプレート２と、試料７を設置するための試料固定台４と、筺体３などからなる気密性が保たれるロードロック室１と、カンチレバー６の変位を検出する変位検出機構８と、試料７を移動させる試料移動機構である微動機構１８、ＸＹ粗動機構１９、Ｚ粗動機構２０が設けられた密封容器１７と、密封容器１７を真空排気する真空排気機構２１とガス導入機構２２と、密封容器１７にロードロック室１を取付けるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ等のインライン自動検査工程でたとえ試料が帯電していたとしても、短時間で最適にかつ正確に除電することにより、探針の接近を中断することなく、安定した動作で測定・検査を行うことができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】
この走査型プローブ顕微鏡は、カンチレバー２１の先端に設けられた探針２０を試料１２に対して接近させ、探針２０と試料１２の間の作用に基づき試料表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡であり、予め登録した情報に基づき指定される試料の測定位置を測定する測定部（１１，２０，２１，２４，３１，３２，３３，３４等）と、予め登録した情報に基づき試料の測定位置をスポット的に除電する除電部４０１，３０２とを有するように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、液体窒素温度以下の低温でピエゾ素子により試料ステージを駆動する場合、常温に比較し、動作ストロークの減少が著しいという点である。
【解決手段】直交するＸ方向及びＹ方向に移動するＸＹテーブルであって、前記ＸＹテーブルのＸ方向及びＹ方向の少なくとも各方向片側に当接してガス圧によって弾性伸縮する弾性伸縮体を備え、前記ガス圧により前記弾性伸縮体が伸縮することにより前記ＸＹテーブルが移動することを特徴とするＸＹテーブル。 （もっと読む）