【課題】 容易に特異な構造を一意に決めることができ、かつ危険な化学薬品（酸やアルカリなど）などを用いないで校正試料を得ることができる校正試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 この出願の発明による校正試料の作製方法は、（１１０）面を鏡面研磨したＬａ₂ＣｕＯ₄単結晶を２３０から５００℃の温度でアニールした後、徐冷することにより、（１１０）面に断面が鋸歯状の凹凸を有する双晶構造の校正試料を作製することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 大きな凹面および凸面形状をした試料表面に対し、カンチレバーやカンチレバーを保持する部材などの干渉がなく、また、探針表面の接触位置が変わることなく、表面粗さ測定誤差が極力少なくなるようにして、精度よく測定ができる表面情報計測装置を提供すること。
【解決手段】 大きな凹面および凸面形状をした試料５ａまたは５ｂ表面に対して、先端に探針（プローブ）を有するカンチレバー１３を用いて試料形状を測定する表面計測装置において、試料５ａ（５ｂ）側に試料移動ステージとカンチレバー１３側に微動機構回転ステージ１８とを備えて、大きな凹面５ｂおよび凸面５ａ形状の試料表面の位置に関わらず、探針表面状態およびカンチレバーたわみに係わる、探針が受ける原子間力の方向が変わらないように調整して、試料表面形状を測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、１つの検出手段で１種類の探針と試料との間に作用する物理量を検出する場合、試料表面が汚染されていたり、酸化物等が形成されている部分では、正確な試料−探針間距離を検出できないことがあるという点である。
【解決手段】試料に対向する探針と、前記試料と前記探針を相対的に２次元走査すると共に、前記試料と前記探針との間の距離を変化させるスキャナと前記探針と前記試料との間に作用する物理量を検出する少なくとの２個の検出手段と、前記検出手段からの少なくとの２種類の検出結果を比較する比較選定手段と、を備え、前記比較選定手段により選定された一の検出結果に基づいて前記スキャナを制御する走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 従来の表面粗さ測定装置では、評価すべき表面粗さに関する規格に適合するかを解析することができるが、その表面粗さに関する規格以外の他の表面粗さに関する規格に適合するかを評価しようとすると、その表面粗さに関する規格に適合するかの評価試験を最初から行う必要があった。
【解決手段】 表面粗さ測定データ紙に印刷された触針の変化量のグラフを読み取る読取手段と、読取手段により読み取られた触針の変化量のグラフを測定データとして記憶する第１記憶手段と、第１記憶手段に記憶された測定データを所定の数値データに変換する数値データ変換手段と、数値データ変換手段により変換された数値データから表面粗さの解析データを算出する算出手段と、算出手段により算出された解析データを記憶する第２記憶手段と、該第２記憶手段に記憶されている解析データを出力する出力手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 原子間力顕微鏡において、カンチレバーの自励振動の停止を防止でき、カンチレバーの探針が測定対象物と接触することを防止できるカンチレバー制御装置の提供。
【解決手段】 原子間力顕微鏡において、探針１２を有するカンチレバー１０と、カンチレバー１０を自励振動させるアクチュエータ２０と、カンチレバー１０の振動速度を検出する振動速度検出器３０と、カンチレバー１０の振動変位を算出する変位算出器３２と、アクチュエータ２０を駆動するための信号を生成する制御器４０とから、カンチレバー制御装置１を構成し、フィードバック制御信号Ｓを（Ｋ−Ｇ・ｘ²）・ｄｘ／ｄｔとする。ただし、ｘはカンチレバー１０の振動変位、ｄｘ／ｄｔはカンチレバー１０の振動速度、Ｋ、Ｇはともに正値のフィードバックゲインである。 （もっと読む）

【課題】 手間をかけずに短時間で生体分子の長さを正確に測定する（測長）ことができると共に該測長に加え生体分子の構造解析等の各種の観察も同時に行うこと。
【解決手段】 一端Ｎが基板２上に固定され、他端Ｓが自由端とされた生体分子Ｐを巻き取り可能なものであって、生体分子Ｐの他端Ｓを外周面に固定可能であると共に、軸線Ｌ回りの外周が既知の長さとされた棒状の探針１５と、該探針１５を先端に有し、軸線Ｌを回転中心として軸線Ｌ回りに回転可能な探針保持部材１６とを備え、探針保持部材１６と基板２とが、基板表面２ａに平行な方向に向けて相対移動可能とされ、探針１５が、相対移動により生体分子Ｐを外周面の周囲に密着させた状態で螺旋状に巻回するプローブ４を提供する。 （もっと読む）

【課題】
対象物の濃度が希薄な試料であっても、対象物を容易に見つけることができ、観察時間を短縮できるようにする。
【解決手段】
好ましい形態では、プローブ１２ａを用いてＤＮＡが置かれている基板全体を走査し、プローブ１２ａがＤＮＡを検出すると、プローブ１２ａのカーボンナノチューブ配置領域内でＤＮＡの存在する領域を特定する。次に、プローブ１２ｂに切り替えて、その特定した領域に位置決めし、そのプローブ１２ｂのカーボンナノチューブ配置領域内でＤＮＡの存在する領域を特定する。次に、プローブ１２ｃに切り替えて、同様にしてＤＮＡの存在領域をさらに狭く特定する。最後に先端に１つのカーボンナノチューブが取り付けられているプローブ１２ｄに切り替え、プローブ１２ｃが検出したＤＮＡ存在領域を、制御部２２によって順次走査しながら測定する。 （もっと読む）

【課題】 容易且つ高精度に形状公差を検査することが可能な電機子コアの検査方法を提供すること。
【解決手段】 波形計測部１５は、各コアシートの切断面、詳しくはその厚み方向において異なる複数の計測箇所に臨むように各々配置された複数のセンサ２の出力する各波形信号Ｓａ〜Ｓｃに基づいて、各計測箇所における各々の凹凸変化を示す複数の計測データＤａ〜Ｄｃを生成する。演算部１６は、波形計測部１５から入力された各計測データＤａ〜Ｄｃをそれぞれ予め設定された複数の区間に区分し、その各区間毎に破断部に起因するノイズ成分の有無を判定することにより、その有効／無効を評価する。そして、かかる評価に基づいて各区間毎の有効な区間データを抽出し、その各区間データを合成することにより破断部に起因するノイズを含まない検査データＤｔを生成する。 （もっと読む）

【課題】 原子間力顕微鏡のＡＣモード使用時において、試料の解析精度を向上させることができる原子間力顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 略板形状を成すベース部３４から延設されたカンチレバー３５の先端側に探針３６が形成され、前記ベース部３４は、取付手段３０によって振動体２６が設けられた台座部２８に取り付けられており、前記振動体２６によって前記カンチレバー３５を共振振動させることで、前記探針３６が上下動しながら試料１４を走査し、該探針３６が前記試料１４に接触することで生じる前記カンチレバー３５の上下振動の変化を検出器２１によって検出することで、前記試料１４を解析する原子間力顕微鏡１３において、前記振動体２６の振動によって前記ベース部３４に発生する共振振動を抑制するベース部振動抑制手段を、前記ベース部３４および前記取付手段３０の少なくともいずれかに設ける。 （もっと読む）

【課題】この発明の目的は、画像処理を用いないで照射光の影響を受けないで済み、しかも被検査物に余分な負荷をかけないで正確な平坦度の測定ができるようにした端子の平坦度測定方法を提供することにある。
【解決手段】ワーク台に搭載した、側面に多数の金属端子を設けた非検査物における金属端子の平坦度を測定するに当たり、
金属端子と同数のスイッチング機能を備えたコンタクトプローブを、駆動機構により金属端子に向けて前進させ、
コンタクトプローブを金属端子に接触させてそのスイッチング機能を作動させ、
基準面から金属端子にコンタクトプローブが接触してスイッチング機能が作動した位置までの距離を測定するようにしたことを特徴とする端子の平坦度測定方法。 （もっと読む）