【課題】計測光を反射するプローブに光学系の焦点を追従させることで測定精度を向上させる。
【解決手段】プローブ２２の反射面で計測光を反射させ、プローブ２２と被測定物１の間に作用する原子間力を利用して被測定物１の表面形状を測定する。プローブ２２を駆動する第１のスキャナ１０とは別に、光学系の焦点位置を移動させる第２のスキャナ２６を設けて、第１、第２のスキャナ１０、２６の制御量の相関を表わす位置変換データをあらかじめ求めておく。第１、第２のスキャナ１０、２６を同期的に制御することで、プローブ２２に光学系の焦点を追従させる。 （もっと読む）

【課題】走査ステージあるいは探針の駆動ステージを交換するたびに操作者による校正の手間を要することなく、これらのステージに発生する慣性力を適正に相殺することができる走査型プローブ装置を提供する。
【解決手段】探針と、試料を保持する試料保持台５０５を移動させるための駆動素子５００と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部５１０、５１５とを備えた走査ステージと、
を有し、前記探針と前記試料とを相対的に移動させ、前記試料の情報を取得し、または前記試料に情報を記録し、または前記試料を加工する走査型プローブ装置をつぎのように構成する。
すなわち、前記走査ステージが、該走査ステージを駆動する駆動回路５を備え、前記試料保持台を含む前記駆動素子と前記可動部が前記走査型プローブ装置本体１に対して着脱交換可能とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、高い感度のトンネル電流検出部でトンネル電流を検出すると、探針−試料間に生じる浮遊容量による影響も大きく増幅されてしまい、測定結果が補正しきれない悪影響を受けてしまうという点である。
【解決手段】 試料に対向した探針と前記試料の間隔を固定した状態で、前記探針と前記試料間に印加するバイアス電圧を走引し、前記探針と前記試料間に流れるトンネル電流を検出して前記試料の局所領域の分析を行うトンネルスペクトロスコピー装置において、前記バイアス電圧の極性を反転して増幅し、それを微分した信号を前記トンネル電流に加算して、前記探針と前記試料間に生じる浮遊容量による影響を打ち消すよう構成したことを特徴としたトンネルスペクトロスコピー装置。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、走査形プローブ顕微鏡等でのヒートサイクルにおいて、チューブ型圧電素子の破損が発生するという点である。
【解決手段】 円筒状に形成され、一方の端部に切欠部が形成された圧電素子体と、前記圧電素子体の前記一方の端部を固定し、前記圧電素子体と温度変化による変形率が異なる固定台と、前記圧電素子体に設けられた電極と、を備えた前記圧電素子体の他方の端部を微動させる微動装置であって、前記圧電素子体と前記固定台との温度変化による変形量の違いを前記切欠部を形成することにより生ずる前記圧電素子体の弾性変形で吸収することを特徴とする微動装置。 （もっと読む）

【課題】測定位置にかかわりなく一定圧の安定した微小接触圧を創成でき、それにより、傾斜部分でも誤差の少ない正確な精密測定を実現することができ、しかも構造が簡単で安価に実施できる極低測定圧接触式測長装置を提供する。
【解決手段】被測定物に測定端子を接触させて測長する形式の測定装置において、測定端子を並進させるための駆動シリンダを有し、かつ、前記駆動シリンダが、微小圧力創成用のために内部に吹き込まれる駆動用気体の一部を流出させる気体流出機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】対象物を容易かつ迅速に観察することができる顕微鏡システム、顕微鏡システムを用いた観察条件調整方法および観察条件調整プログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵは、カンチレバーのたわみ量を初期値に設定し（ステップＳ２１）、そのたわみ量を保つように試料の表面にカンチレバーを往復走査させる（ステップＳ２２）。ＣＰＵは、表示装置における同一のピクセルに対応する往路高さデータと復路高さデータとを１ピクセル毎に比較し、それらの差分の絶対値（差分値）を算出し、さらに算出された複数の差分値の総和を算出し（ステップＳ２３）、算出された差分値の総和が予め定められたしきい値以下であるか否かを判別する（ステップＳ２４）。ＣＰＵは、総和がしきい値以下である場合に現在のたわみ量を基準たわみ量として設定し（ステップＳ２５）、総和がしきい値以下でない場合にたわみ量を再設定する（ステップＳ２６）。 （もっと読む）

【課題】広範囲に渡る試料の観察を容易に行うことができるとともに、迅速かつ正確な観察を行うことが可能な顕微鏡システム、観察方法および観察プログラムを提供する。
【解決手段】試料上の走査単位領域および観察対象領域を設定する。ＣＰＵは観察対象領域内の走査単位領域の個数および位置を設定し、各走査単位領域の形状情報を取得する（ステップＳ２１）。ＣＰＵは、取得した形状情報に基づいて全ての走査単位領域の上面視画像を表示装置に表示させる（ステップＳ２２）。複数の走査単位領域の上面視画像を使用者が手動で連結する場合、ＣＰＵは選択された上面視画像に対するオフセット処理を行う（ステップＳ２７）。オフセット処理は、隣接する走査単位領域の上面視画像の重複領域の画像のピクセルの階調がほぼ等しくなるように一方の上面視画像のピクセルの階調をオフセットすることにより行われる。 （もっと読む）

【課題】 表面の凹凸による輪郭が明瞭でない検査対象物であっても、感度の調整具合を適切に判断することができる走査型プローブ顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 カンチレバーに取り付けられた探針を検査対象物上で往復走査させる走査制御部２４と、カンチレバーに作用する押圧力の目標値に対する偏差に基づいて探針の高さを制御する高さ制御部２６と、探針の走査位置情報及び高さ情報に基づいて走査線上の表面形状を検出する表面形状検出部２７ａと、走査位置情報及び偏差に基づいて走査線上の偏差分布を求める偏差分布検出部２７ｂと、往復走査の往路及び復路においてそれぞれ得られた表面形状を重ねて２次元表示するとともに、往路及び復路においてそれぞれ得られた偏差分布を重ねて２次元表示する表示制御部２９と、ユーザが指定するオフセット量に基づいて往路及び復路における走査位置情報をオフセットさせるオフセット調整部２８により構成される。 （もっと読む）

【課題】試料の振動を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡は、ＡＦＭスキャナおよび試料載置台を備える。試料載置台は、移動プレート、Ｚ方向移動機構およびＸＹ方向移動機構３０ｃを含む。ＸＹ方向移動機構３０ｃは、２つのモータＭａ，Ｍｂ、Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０を有する。Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０には、あり溝ガイド方式が用いられている。 （もっと読む）

【課題】振動の発生を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０は、顕微鏡連結部材４０に取り付けられる。顕微鏡連結部材４０は、弾性部材５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄを介してベース筐体部５０により保持される。顕微鏡連結部材４０に、おもりＷが取り付けられる。おもりＷの取り付け位置は、顕微鏡装置の各構成要素の重量、設置位置等を考慮して、各構成要素に発生する振動を確実に減衰できるように設定されている。 （もっと読む）